SU467698A1 - Устройство дл обработки объектов лазерных излучением - Google Patents

Abstract

УСТЮЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ОБЪЕКТОВ ЛАЗЕРНЫМ ИЗЛ>&'ЧЕНИЕМ, содержащее лазер, в резонаторе которого установлены обрабатывающий объект,  вл ющийс  одновременно одним из зеркал, и фокусирующа  оптическа  система, расположенна  Между активным элементом и обрабатываемым объектом, и систему.наблюдени  за обрабатываемым объектом, о т- .личающеес  тем, что, с целью увеличени  точности обработки, система наблюдени  выполнена в виде проектора, состо щего из экрана, фокусирующей оптической системы и усиливающей среды, которыми  вл ютс  соответственно фокусирующа  оптическа  система и активный элемеит лазера, а экран установлен в плоскости, сопр женной с плоское- тъю обрабатываемого объекта, в одном из двух пучков, на которые делит излучение лазера светоделителъна  пластина, расположенна  в резонаторе за активным элементом, при этом в другом пучке установлено рруто^ зеркало резонатора с оптическим затвором.S

Description

4 f S / s4---i- : ---П I /rt ,. j у:

в n т в

Уйл14 Изобретение относитс  к области приборостроени . Известны устройства дл  обработки объек тов лазерным излучением, содержащие лазер li систему наблюдени  за обрабатываемым объектом. Последн   обычно  вл етс  автоно мной системой, с помощью которой трудно осуществить непрерывное наблюдение за . обрабатываемым объектом из-за высокой концентрации лазерного излучени  в месте обработки. Кроме того, с помощью известных устройств нельз  получить изображ ни  с большим увеличением и хорошей  ркостью , что особенно желательно при микрообработке , Цель изобретени  - повысить точность обработки объектов с помощью лазерного излучени . Это достигаетс  тем, что система наблюдени  выполнена в виде лазерного проектора, усиливающа  среда которого  вл етс  одновременно активным элементом обрабатывающего лазера. Изобретение реализуетс  с помощью лазера работающего в режиме сверхсветимости, например лазера на парах меди. На чертеже приведена схема предлагаемого устройства. На схеме показаны лазер i, система 2 наблюдени  за обрабатываемым объектом, обрабатьшаемый объект 3,  вл ющийс  одновременно зеркалом резонатора, фокусирующа  оптическа  система 4, активный элемент 5 . лазера,  вл ющийс  одновременно усиливающе средой системы наблюдени , светоделительна  пластина 6, оптический затвор 7, зеркало 8 резонатора и экран 9. Предлагаемое устройство работает следующим образом. Обрабатываемый объект 3 располагаетс  в плоскостт вблизи фокуса фокусирующей системы 4. Дл  создани  мощного лазерного луча, используемого дл  обработки, примен етс  активный элемент 5, оптическа  фокусиоующа  система 4, а также оптический резонатор , образованный зеркалом 8 и самим, обрабатьтаемым объектом 3. Установленный ; перед зеркалом 8 оптический затвор 7, например , типа фотозатвора, позвол ет включать резонатор в любой заданный момент и на любое врем . При включении резонатора образуетс  мощный лазерный луч, который фокусируетс  оптической системой 4 на поверхности объекта в п тно малых размеров, что и дает возможность обрабатьшать объект путем локального испарени , плавлени  или нагрева малых областей объекта. Зеркало 8 резонатора может быть плоским или сферическим. Его форма и положение выбираютс  в зависи- мости от необходимых размеров п тна фокусировки . В некоторых случа х можно использовать более сложные отражатели, состо щие из нескольких элементов. Контроль обрабатываемой поверхности осуществл етс  с помощью лазерного проектора, состо щего из экрана 9, фокусирующей оптической системы 4 и усиливающей среды причем последние  вл ютс  соответственно фокусирующей оптической системой и автивным элементом обрабатываемого лазера. На экране 9 получаетс  изображение объекта 3 больщой  ркости, что позвол ет получать больщое увеличение объекта и проецировать его на большой экран, в том числе и на удаленный на значительное рассто ние от объекта. Так как оптические каналы формировани  мощного лазерного луча и формировани  изображени  объекта разделены с помощью светоделител  6, наблюде(гае за объектом осуществл етс  непрерывно и независимо отвключени  и выключени  обрабатывающего лазерного луча. При использовании в качестве фокусирующей оптической системы стандартного микрообъектива с увеличением 8 удаетс  получить увеличение объекта до 1000 раз. Разрещающа  способность близка к дифракционной. Устройство моукеу быть особенно эффективно при микрообработке объектов с высокой точностью.

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ОБЪЕКТОВ ЛАЗЕРНЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ, содержащее лазер, в резонаторе которого установлены обрабатывающий объект, являющийся одновременно одним из зеркал, и фокусирующая оптическая система, расположенная между активным элементом и обрабатываемым объектом, и систему. наблюдения за обрабатываемым объектом, о тличающееся тем, что, с целью увеличения точности обработки, система наблюдения выполнена в виде проектора, состоящего из экрана, фокусирующей оптической системы и усиливающей среды, которыми являются соответственно фокусирующая оптическая система и активный элемент лазера, а экран установлен в плоскости, сопряженной с плоскостью обрабатываемого объекта, в одном из двух пучков, на которые делит излучение лазера светоделительная пластина, расположенная в резонаторе за активным элементом, при этом в другом пучке установлено другое* зеркало резонатора с оптическим затвором.

   1 467698 2