SU463803A1 - Вакуумна установка - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к области вакуумной техники, а именно к вакуумным установкам , в которых в качестве откачных средств применены адсорбционные насосы.

Известны вакуумные установки, содержащие р д подключенных к реципиенту адсо)бционных насосов.

Однако в известных установках насосы соединены с реципиентом посредством трубопроводов и вентилей, и корпусы всех насосов воепринимают атмосферное давление. Это ириЁодит к ограничению скорости откачки насосов и повышению натекани  в установку.

В предлага-емой установке рециниент помещаетс  под р дом колпаков, в промежутках между которыми устанавливают охлаждаемые адсорбционные насосы.

На чертеже представлена вакуумна  установка , продольный разрез.

Реципиент 1 расположен иод р дом колнаков 2, 3 и 4, между которыми установлены охлаждаемые адсорбционные насосы 5, 6 и 7. Подача хладагента в насосы и перемещение колпаков производитс  с помощью распределительно-подъемного устройства 8.

Процесс откачки реципиента осуществл етс  следующим образом.

На плиту 9 опускаетс  колпак 2 вместе с распределительно-подъемным механизмом, и стык уплотн етс  с помощью прокладки 10. Все внутренние колпаки наход тс  в верхнем положении. В насос Б подаетс  хладагент, и в установке достигаетс  предельный вакуум этого насоса. Затем опускаетс  колиак 3V и захолаживаетс  насос 6. По достижении им предельного вакуума аналогичным образом запускаетс  пасос 7, и реципиент 1 откачиваетс  до предельного вакуума.

Предмет изобретени 

Claims (2)

1.Вакуумна  установка, содержаща  подключенные к реципиенту адсорбционные насосы , отличающа с  тем, что, с целью уменьшени , натекапи  и увеличени  скорости откачки , насосы установлены один в другом и разделены колнаками, а рециниент размещен внутри наименьшего насоса.

2.Установка по п. 1, отличающа с  тем, что насосы снабжены распределительно-подъемным механизмом дл  подачи в насосы хладагента и перемещени  колпаков.