SU449322A1 - Способ измерени параметров полупроводниковых приборов - Google Patents

Description

(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

1

I Пзобретоние отиосшс  к электронной технике и может быть применено дл  автоматического измерени  параметров изго- товл емых полупроводниковых приборов.

Извес;тен способ контрол  11естабильности обратных токов переходов, заключающийс  в том, что испытуемому транзистору задают режим измерени  по посто нному току, измер ют значени  обратного тока в фиксированные моменты времени и, сравнива  эти зр)ачени , опреде1  ют вели«шну } естабильности.

При известном способе измс-;рени  невозможио получить информацию об изменени х обратного) тока межщ ;момен1-ами отсчеюв , что необходимо дл  более характеристики поведени  транзистора.

Кроме того, дл  реализации известно ij способа требую1с  регул торы носго ипо -о тока, магнитные усилите И, усилители посто нного тока и другие узлы, критичные к воздействию дестабилизирующих факторов .

Цель изобретени  - повышение точности измерений.

Поставленна  цель дости1 ае-1х.  lei.i, что формируют фазоманипу шрованный сигнал с посто нной амплитудой, имеющий скачки фаз велишной 9Г в точках равенства контролируемой и образцовой , и периодический сигнал, совпадаюин1Й по амплитуде, форме и Д}иг1ельности с первыми двум  дискретами фазоманицуш1рованно1Ч) сигнала, вычитают с({)Ормированные сигаалы и по по- луче1Н10й разности определ ют нестабильность .

На фиг, 1 представлена блок-схема дл  реализации предложенногх) способа; на фиг. 2 - напр жени  на выходе узлов блок-схе- . мы,

Блок-схема содержит блок 1 задашш исходных ренсимов испытуемому прибору, подкл1С).1й к блоку развертывающего преобразовател  2, который соединен с формирователем фазс}манипу)и1рованно1х сигнала 3 и 4зг шрователем нериодического сиг- иала 4, Формирователи подключены к блоку 5 измерении мощности разностно1о сигнала и прин ти  решени . С блока Задани  исходных режимов 1, в котором помещен испытуемый прибор, изме р емый сигнал подаетс  на вход блока 2, где измер емый сигнал развертываетс  образцовым сигналом, имеющим периодический характер (фиг. 2, а). Формирователь 3 формирует фазоманипухшрованный Ьигнал с заданной амплитудой, имеющий скачки фаз на 5Г в точках уравновешивани  контроли«руемой и образцовой величин (фиг. 2, б), а формирователь 4 формирует периодический сигнал, период которого совпадает по амплитуде , форме и длительности с первыми двум  дискретами фазоманипулированного сигнала (фиг. 2,в). Выходные сигналы формирователей подаютс  на блок 5, где производитс  вычитание периодического сигнала из фазоманипулированного и разность приводитс  к виду исходного фазома- нипулированного сигнала. По разности вычисл ют распределение нестабильности во времени. Затем определ ют спектральную i мощность разностного сигнала, котора  позвол ет судить о величине нестабильности п ее распределении по частотному диапазону . Описываемый способ позвол ет получить более полную информащ1Ю о поведении транзистора во врем  испытаний. Формиро- вание фазоманипулирозанного сигнала обеспечивает высокую точность и помехоустойчивость последующих преобразований; фазомани улированный сигнал  вл етс  хорощим приближением дл  теоретически оптимального сигнала, обеспечивающего при измерении ыаибольщее отношение сигнал/помеха; использование простых преобразователей развертывани , вычитани  упрощает аппаратурную реализацию способа. Предмет изобретени  Способ измерени  параметров полупроводниковых приборов, например нестабильности , путем сравнени  контролируемой и образцовой величин, отли чающийс   тем, что, с целью повьсдени  точности измерений, формируют фазоманипулированный сигнал с посто нной амплитудой, имеющий скачки фаз величиной 5Г в точках равенства контролируемой и образцовой вегличин , и периодический сигнал, совпадающий по амплитуде, форме и дхштельностн с uqpвыми двум  дискретами фазоманипулированного сигнала, вычитают пернодичесль-й сиги;: нал из фазоманипулированного и по полученной разности опреде/шют нестабильность.

(Put. 1