SU446921A1

SU446921A1 - Device for transporting and orienting circular substrates

Info

Publication number: SU446921A1
Application number: SU1884787A
Authority: SU
Inventors: Владимир Васильевич Белицкий; Яков Иванович Точицкий
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6495
Priority date: 1973-02-20
Filing date: 1973-02-20
Publication date: 1974-10-15

Description

Изобретение относитс к области микроэлектроники и может найти применение при производстве полупроводниковых приборов, например, дл фэтогравировки,The invention relates to the field of microelectronics and can be used in the manufacture of semiconductor devices, for example, for phtogravure,

Известна автоматическа система дл подачи и предварительного ориентировани подложек.A known automatic system for feeding and pre-orienting substrates.

Подложки подаютс на воздр ной подзпдке (на линейных воздушных подшипниках) на поворотный столик. Ориентировка производитс по плоскости срезанного сегмента при помощи двух фотоэлектричесшх головок, управл ющих вращением столика. Эта система из-за своей сложности.ненадежна в эксплуатации и требует . применени средств автоматики и управлени .Substrates are supplied on an air support (on linear air bearings) to the turntable. The orientation is made along the plane of the cut segment using two photoelectric heads controlling the rotation of the table. This system because of its complexity. Is unreliable in operation and requires. the use of automation and control.

Известны также устройства дл ориентировани и сортировки деталей , принцип действи которых основан на пршенении вибрации. Однако эти устройства не позвол ют, ориентировать детали круглой формы, уAlso known are devices for orienting and sorting parts, the principle of action of which is based on vibrating vibration. However, these devices do not allow the orientation of round-shaped parts,

которых в качестве ключа ориентации служит плоскость срезанного сегмента.which as the orientation key is the plane of the cut segment.

Дл повьппени надежности ори5 ентавди подложек со срезанным сегменторй в Предлагаемом устройстве ориентируюший механизм содержит подвижную оазовую опору, выполненную в виде плоской пластины с упругим шарниром, расположенную перпендикул рно оси транспортировани , консольно закрепленную на корпусеориентирующего механизма и кинематически св занную с виброприводом,To ensure the reliability of the orientavdi of the substrates with the cut segment, in the proposed device, the orienting mechanism comprises a movable oaz support, made in the form of a flat plate with an elastic hinge, perpendicular to the transport axis, cantilever mounted on the housing-oriented mechanism and kinematically connected with the vibrodrive,

5 и базовый упор, жестко закрепленный на корпусе ориентирующего механизма , на рассто нии от подвижной базовой опоры, равном 1-1,2 радиуса подложки.5 and a base stop rigidly mounted on the body of the orienting mechanism, at a distance from the movable base support equal to 1-1.2 of the substrate radius.

0 На чертеже показан общий вид предлагаемого устройства. Устройство содержит основание I; пневмотранспортер 2 с бортами 3; ориентирующий механизм, содержащий корпус 4, с прикрепленными к нему бортом 5 и базовым жесткщй упором 6, подвижную базовую опору 7, прик- , репленную к кортусу 4 через.пружинный шарнир 8 и вибропривод 9.0 The drawing shows a general view of the proposed device. The device contains a base I; pneumatic conveyor 2 with sides 3; the orienting mechanism, comprising a housing 4, with a side 5 and a base rigid support 6 attached to it, a movable basic support 7, a pin - inserted to the cortus 4 via a spring hinge 8 and a vibrodrive 9.

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

Приподаче воздуха к пневмотранспортеру 2 и корпусу 4 ориентирующего механизма подложка, подан нал на пневмотранспортер, движетс на воздушной подушке по направлению к ориентирующему механизму. Попада на ориентирующий механизм, сопла 10 которого расположены так, что выход щий из них воздух прижИмает подложку к подвижной базовой опоре 7, упору 6 и создает вращающий момент, подложка оставливаетс . Момент сил трени подложки об упор 6 и подвижную базовута опору 7 превышает вращающий момент. Привключении вибропривода 9 подвижна базова опора 7 начинает вибрировать , и момент, вращающий подложку , превышает мог/ент сил трени во врем отрыва ее от подвижной базовой опоры 7. Подложка поворачиваетс до тех пор, пока плоскость ере занного сегмента не совпадает с вибрирующей базовой опорой 7. Такое Supply of air to the pneumatic conveyor 2 and the casing 4 of the orienting mechanism, the substrate, fed to the pneumatic conveyor, moves on the air cushion towards the orienting mechanism. Hitting the orienting mechanism, the nozzles 10 of which are arranged so that the air coming out of them presses the substrate to the movable base support 7, the support 6 and creates a torque, the substrate is left. The moment of friction forces of the substrate against the support 6 and the movable base of the support 7 exceeds the torque. When the vibrodrive 9 is switched on, the movable base bearing 7 begins to vibrate, and the moment rotating the substrate exceeds the capacity of the friction force during its detachment from the moving base support 7. The substrate rotates until the plane of the interrupted segment coincides with the vibrating base support 7 Such

фиксированное положение подложки позвол ет при выключенном приводе вибратора выполн ть такие технолотические операции, как перенесение .изображени фотошаблона на подложку , измерени параметров приборов на неразрезанной подложке и др; .the fixed position of the substrate allows, when the vibrator drive is turned off, to perform such tehnolotic operations, such as transferring the image of a photomask to the substrate, measuring the parameters of the instruments on an uncut substrate, and others; .

ПРЕДОЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ Устройство дл транспортировани и ориентировани круглых подложек , например, полупроводниковых, состо щее из пневмотранспортера с соплами и ориентирующего механизма отличающе ес тем, что, с целью повышени надежности ориентации подложек со срезанным сегментом , ориентирущий механизм содержит подвижную базовую опору, выполненную в виде плоской пластины с .упругим шарниром, расположенную перпендикул рно оси транспортировани , консольно закрепленную на корпусе ориентирующего механизма и кинематически св занную с виброприводом , и базовый упор, жестко закрепленный на корпусе ориентирующего механизма на рассто нии от подвижной базовой опоры, равном 1-1,2 радиуса подложки.PROVISIONS OF THE INVENTION A device for transporting and orienting circular substrates, for example, semiconductor ones, consisting of a pneumatic conveyor with nozzles and an orienting mechanism, is characterized by the fact that, in order to increase the reliability of orientation of the substrates with a cut segment, the orienting mechanism contains a movable basic support made in the form of a flat plates with an elastic hinge, located perpendicular to the axis of transportation, cantilever-mounted on the body of the orienting mechanism and kinematically connected th with shakers and a base stop rigidly mounted on the body of the orienting mechanism at a distance from the movable support base equal to 1-1.2 substrate radius.