SU441245A1 - Стекло дл спаивани с кремнием - Google Patents

Description

I

Изобретение относитс  к составам стекол дл  спаивани  с кремнием и может использоватьс  дл  герметизации полупроводниковых приборов и в качестве стекла специального назначени  дл  радиоэлектроники.

Известно стекло дл  спаивани  с кремнием, включающее SiOs, AljOa, MgO.

Цель изобретени  - повышение температуры разм гчени  и обеспечение коэффициента термического расширени  близкого к коэффициенту термического расширени  монокристаллического кремни .

Достигаетс  это тем, что стекло содержит указанные компоненты в следующем количестве , мол.%:

SiOa60-85

АЬОз5-25

MgO5-20.

Пример. Стекло содержит, мол.%: SiOg 75; 15; MgO 10. Технологи  изготовлени  стекла обычна .

Стекло обладает следующими физико-химическими свойствами.

Температура варки, °С1600

Температура выработки , °С1350-1400 Кристаллизационна  способность , °С:

верхний предел кристаллизации1300 нижний предел кристаллизации1150 Температура разм гчени , С940 Температура деформации

без нагрузки, °С1100

Коэффициент теплового

расширени , а-10 град-28,4

Термостойкость, °С290

Плотность, ,47

Микротвердость, кг/мм 585

Модуль упругости, кг/мм 7800

Удельное электрическое

сопротивление при 200°С, ом-см10

12

Тангенс угла диэлектрических потерь при 20°С

и частоте 10 гц20-10

Диэлектрическа  проницаемость при 20°С и частоте 10 ГЦ5,3 Химическа  устойчивость (потери веса в %) по отношению к

НгО0,035

1 н. НС10,025

I н. НОз0,055

1 н. NaOH0,740

441245

. , . , . : . . 4 ;.

Предмет изобретени циенту термического расширени  монокриСтекло дл  спаивани  с кремнием, вклю-вые компоненты в следующем количестве,

чающее SiO2, А12Оз, MgO, отличающеес мол.%:

тем, что, с целью повыщени  температуры5 SiO2 60-85

разм гчени  и обеспечени  коэффициента тер-АЬОз 5-25

мического расщирени  близкого к коэффи-MgO 5-20. сталлического кремни , оно содержит указаи