SU436319A1

SU436319A1 - CLAMP FOR FLAT PRODUCTS

Info

Publication number: SU436319A1
Application number: SU1711186A
Authority: SU
Original assignee: Г. О. Захар Н. П. Замбровский, И. М. Семенов , Э. К. Лапин
Priority date: 1971-11-01
Filing date: 1971-11-01
Publication date: 1974-07-15

Description

1one

Изобретение относитс к конструкции зажима дл плоских изделий, например к механизмам двухстороннего совмещени рисунков подложки с рисунками фотошаблонов.The invention relates to a clip design for flat products, for example, mechanisms for double-sided alignment of substrate patterns with photomask patterns.

Известен зажим дл плоских изделий, содержащий две подвижные У-образные пластины дл захвата и удержани подложки по ее периметру, и механизм перемещени пластин.A clamp for flat products is known, comprising two movable Y-shaped plates for gripping and holding the substrate around its perimeter, and a mechanism for moving the plates.

Однако такой зажим ненадежен в работе.However, such a clamp is unreliable in operation.

С целью повышени надежности зажима изделий различной конфигурации предлагаемый зажим снабжен двум П-образными скобами , расположенными в одной плоскости, на которых закреплены У-образные пластины. Одна из скоб неподвижна. Механизм перемещени другой скобы выполнен в виде двух подпружиненных рычагов, которые своими концами шарнирно соединены с подвижной П-образной скобой и установлены в пазах неподвижной скобы.In order to improve the reliability of clamping products of various configurations, the proposed clamp is provided with two U-shaped brackets located in the same plane on which the U-shaped plates are fixed. One of the brackets is fixed. The movement mechanism of the other bracket is made in the form of two spring-loaded levers, which are pivotally connected to the movable U-shaped bracket with their ends and are installed in the slots of the fixed bracket.

На фиг. 1 изображен предлагаемый зажим, общий вид; на фиг. 2 - разрез по А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез «о Б-Б на фиг. 1; на фиг. 4 - взаимное расположение У-образных пластин П-образных скоб; на фиг. 5 и б- схема захвата пр моугольной пластины и круглой со срезом.FIG. 1 shows the proposed clamp, a general view; in fig. 2 is a section along A-A in FIG. one; in fig. 3 is a section “about BB in FIG. one; in fig. 4 - mutual arrangement of the U-shaped plates of the U-shaped brackets; in fig. 5 and b is a diagram of the gripping of a rectangular plate and a round with a cut.

Зажим содержит две П-образные расположенные в одной плоскости скобы 1 и 2, наThe clamp contains two U-shaped brackets 1 and 2 located in one plane, on

которых закреплены У-образные пластины 3 и 4 дл удержани подложки 5.which the U-shaped plates 3 and 4 are fixed to hold the substrate 5.

Скоба. 1 подвижна и на ней закреплены две пластинчатые пружины 6, а на- неподвижной скобе 2 установлены ограничительные планки 7, удерживающие пластины 3 и 4 в одной плоскости .Staple 1 is movable and two lamellar springs 6 are fixed on it, and on the fixed bracket 2 there are installed limiting strips 7, holding plates 3 and 4 in one plane.

В отверсти х неподвижной скобы 2 расположены две цилиндрические пружины 8 иIn the holes of the fixed bracket 2 are two coil springs 8 and

пальцы 9. В этой же скобе имеютс пазы а, в которых с зазором расположены подпружиненные рычаги 10, шарнирно соединенные своими концами с подвижной П-образной скобой 1 дл ее перемещени . Пластина 3 закреплена на шарнирах рычагов 10. Неподвижна скоба 2 вл етс направл ющей дл движени скобы 1, перемещающейс в плоскости захвата подложки 5. Усилие захвата подложек создаетс пружинами 8 и передаетс на подвижную скобу 1 через пальцы 9 и рычаги 10. Регулировка усили захвата осуществл етс с помощью винтов И, воздействующих на пружины 8. Работает зажим следующим образом.fingers 9. In the same bracket there are grooves a in which spring-loaded levers 10 are located with a gap, pivotally connected at their ends with a movable U-shaped bracket 1 for moving it. The plate 3 is fixed to the hinges of the levers 10. The stationary bracket 2 is a guide for moving the bracket 1 moving in the pickup plane of the substrate 5. The gripping force of the substrates is created by springs 8 and is transmitted to the movable bracket 1 through the fingers 9 and levers 10. The gripping force is adjusted with screws And, acting on the springs 8. The clamp works as follows.

Зажим устанавливают на устройство совмещени рисунка подложки с фотошаблоном, которое снабжено столиком 12. Столик подводитс к пластинам 3 и 4 до соприкосновени их поверхностей, после чего скоба 1 продвигаетс , и на столике размещаетс подложка 5The clamp is mounted on the device combining the pattern of the substrate with the photomask, which is equipped with a table 12. The table is brought to the plates 3 and 4 until the surfaces touch them, after which the bracket 1 advances and the substrate 5 is placed on the table

между пластинами 3 и 4. После этого скоба 1 опускаетс до полного контакта паза У-образной пластины 3 с подложкой, удерживаемой в пазу У-образной пластины 4, и подложка фиксируетс .between plates 3 and 4. Thereafter, the bracket 1 is lowered until the groove of the U-shaped plate 3 is completely in contact with the substrate held in the groove of the U-shaped plate 4, and the substrate is fixed.

Предмет изобретени Subject invention

Зажим дл плоских изделий, например, к механизмам двухстороннего совмещени рисунков подложки с рисунками фотошаблонов, содержащий две У-образные пластины и механизм перемепдени этих пластин, отличающийс тем, что, с целью повышени надежности зажима изделий различной конфигурации , он снабжен двум П-образными скобами , расположенными в одной плоскости, на которых закреплены У-образные пластины, причем одна из скоб неподвижна, а механизм перемещени другой выполнен в виде двух подпружиненных рычагов, которые своими концами шарнирно соединены с подвижной П-образной скобой и установлены в пазах неподвижной скобы.A clamp for flat products, for example, to mechanisms for double-sided alignment of substrate patterns with photomask patterns, containing two Y-shaped plates and an interchangeable mechanism for these plates, characterized in that, in order to increase the reliability of clamping products of various configurations, it is equipped with two U-shaped brackets located in the same plane on which the Y-shaped plates are fixed, one of the brackets fixed, and the other moving mechanism is made in the form of two spring-loaded levers that are articulated with their ends oedineny with a movable U-shaped bracket, and mounted in a fixed bracket slots.

77

X.и- /5X.- / 5

/ f - f/ f - f

,/ , /

,--:rabr-.-2::s:s, -: rabr- .- 2 :: s: s