SU433250A1 - Вакуумнаяустановка для покрытийнанесения - Google Patents

Description

Изобретение отноои.тс  к аппаратуре дл  .изготовлени  иакрытпй, наноснмых путем терм;ического испарени  веществ в ва кууме, и может найти TiipHMCHeHne три создании одпоп Многослойных 0|ПТ|И цес.ких покрытий, например , лазерных зеркал, спектроделителей и т. п.

Известны вакуумные установки дл  lianeсени  пОКрытмй, содержащие вак умную камеру с испарител ми и держателем образцов, на .которые нанос тс  покрыти , п систему контрол  толщины наноспмых слоев с источнпком излучени , формирующей оптикой, фотодриемннком -и регИСтратором.

Целью изобретени   вл етс  повыщение надежности и точности контрол  толщины наноОИ .м.ого покрыти .

Это достигаетс  тем, что перед фотопрпемни1ком размещен непрозрачный axipan с отверстием , не превыщающим размера изображенп  источника излучени , установленный с возможностью перемещени  по двум взаимноперпендпкул рньгм направлени м в плоскости ортогональной оси форм1фующей оптики.

Иа чертеже представлена прлнципиальна  схема 1Л|рсдлагаемой установки.

Установка содержит ггспарители /, держатель 2 образцов 3, на которые с испарителей напыл ютс  вещества, образующие покрытие, и сИСтемы контрол  толщин паноспмых слоев . Система cocTOiiT из источ.цика света - ламны 4 накаливани , элемента фо;рмирующей оптики 5, ;1роектирующей :излучепие источника через окно 6 на образец 3, элемента формирующей оптики 7, котора  после .ождеи .ИЯ света через окно 8 создает изображение нити на.кала лам.пы 4 в п.тоскоети экрана 9 с отверстием. Экран выполнен подвнжным в плоскости , :1ерпенд:1лул р-ной осп формирующей .оптики. За экра.ном по ходу луча 1рас 1оложен светофильтр W п фото::|рпемн1 к // - cjioioумножптель , в аноднхчо ue:ib кото;}ого включеп отсчетпый 1реги:тратор 12.

В ва.куу.мной камере 13 с испарителей /, иредстаБл ющ;1х собой ва.нночки ил.и спирал.и, на образцы 3 путем термического испарени  .нанос т в требуемой последовательности вещестВа , образуюпше слои, вход щие в покрытие . Образцы 3 уста;1авлпваютс  с 1юмоп1ью Олрав в держателе 2. Дл  обсспечен ч  равномер 1ой толщины пленок на o6pa:uiax держатель обычно врапитетс  вокруг ос.и камеры. Кроме того, иногда образцы в оправах Bpauuiютс  вокруг своего центра. В проце.ссе пзготавленп  покрыти  п)оизводитс  фотоэлектрический контроль пле:нок, составл ющих покрытие . Система контрол  регистрпр -ег .ину свето:ВОГО потока, про.пшдщего через образец или отражеизого пм. Использу  известную зависимость пропускан   (отражени ) от

толщины сло , по показани м регистратора однозначно суд т о толщине .напыл ем,ой ллевки.

Световой поток, измер емый системой контрол , создаетс  ламной 4 накаливани . Излучение .источника через Оптическое окно 6 в основанни ва:куумной ка;мары проецируетс  «а образец 3 с цадос;п1ымн сло ми. Прошедший образец нотока, .величина которого тгролорциональна коэффициенту тропускали   .изготавливаемого покрыти , через окно 8 в кол паже камеры 13 попадает на элемент формируюш:ей оптики 7, который соз1дает .изображение нити накала лам.пы 4 в плоскости лод)вижного экрана 9 с отверстием .диаметром 1-2 мм. Увеличе .ние оптической схемы системы контрол  пор дка . С ломощью пары винтов М и другой пары .винтов добиваютс  перемещением 9 совмещени  отверсти  С .изображением «итп накала. Экран в таком положении фиксируетс  с помощью обоих пар винтов.

За экранам по ходу луча расположен светофильтр 10, выдел ющий световой поток с

ДЛ.ИНОЙ волны, при которой производитс  КОНтроль . Монохроматическое излучение вызывает 3 фотоприемнике // и фототак, величина которого пропорцио.нальна коэффициенту пропускани  образца с кант.рол,Ируемым (покрытием . Фотото.к измер етс  .регистратором J2, показани  которого характеризуют толщину очередного наиосимого сло .

Предмет и з .о б р е т е н .и . 

Вакуумна  установка дл  нанесени  но .крытий, содержаща  ва.куум.ную камеру с исдар1ител м;и и держателем образ.цов, на которые нанос тс  по:крыти , и систему контрол  толщины наносимых слоев с источником излучени , формирующей Опти.кой, фотошриемпиком и регистратором, отличающа с  тем, что, с .целью повышенп  надежности и точ .ности Контрол  толщины наносимого покрыти , перед фотОПрпемником размещен непро .зрачйый экран с отверстие.м, не превышающим размера изобрал ениЯ источника излучени , установленный с возможностью пе|ре.мещени  по двум взал.мно иерпеидижул рным направлени м в плоскости ортогональной оси форми .рующей оптики.