SU432241A1

SU432241A1 - Устройство для контроля скорости нанесения вакуумных покрытий на изделия

Info

Publication number: SU432241A1
Application number: SU1725098A
Authority: SU
Original assignee: Ю. Д. Клебанов , В. Н. Сумароков
Priority date: 1971-12-16
Filing date: 1971-12-16
Publication date: 1974-06-15

Description

1

Изобретение относитс к нанесению вакуумных покрытий на издели .

Известно устройство дл контрол скорости нанесени вакуумных покрытий на издели , содержащее приемник конденсата и измеритель толщины конденсата на приемнике. Известное устройство характеризуетс малой точностью контрол толщины покрыти , скоростью конденсации и равномерностью покрыти . При этом точность контрол , обеспечиваема известным устройством, уменьшаетс с увеличением толщины вакуумных покрытий и повышением скорости конденсации.

Целью изобретени вл етс повышение точности контрол скорости конденсации и обеспечение равномерности нокрыти . Это достигаетс тем, что приемник конденсата выполнен в виде ленты, установленной с возможностью перемещени относительно измерител толщины -покрыти .

На чертеже показано описываемое устройство .

Оно устанавливаетс в рабочей камере 1, установки дл нанесени покрытий. В рабочей камере 1 смонтированы также механизм 2 креплени и перемещени (вращени ) обрабатываемого издели 3, испаритель, содержащий электронную пущку 4, магнитную отклон ющую систему 5 и жаростойкий тигель б с испар емым материалом. Собственно устройство дл контрол скорости нанесени вакуумных покрытий смонтировано в кожухе 7, в стенке которого, обращенной к тиглю 6, выполнена щель 8. В кожухе помещен рулон 9

ленты 10, выполненной из прозрачного материала (например, лавсановой пленки). Ленту 10 с помощью роликов 11 перемещают перед щелью 8 и сматывают на барабан 12. За щелью 8 на некотором рассто нии по ходу

перемещени ленты 10 смонтирован измеритель толщины конденсата на ленте 10, выполненный из установленного с одной стороны ленты коллимированного источника света 13 и ориентированного на него фотоприемника 14, установленного с другой стороны ленты.

При испарении металла из тигл 6 часть потока паров достигает поверхности издели 3 и конденсируетс на ней. Друга часть

этого потока паров через щель 8 достигает Поверхности ленты 10, перемещаемой с посто нной скоростью.

Скорость перемещени ленты 10 устанавливают такой, чтобы на ее поверхности получалс сплошной полупрозрачный слой конденсата .

После прохождени щели 8 лента 10 проходит мимо изл1ерител толщины конденсата . Луч света от коллимированного источника света 13 просвечивает ленту 10 с полупрозрачным слоем конденсата. Интенсивность прошедшего света регистрируетс фотоприемником 14, в качестве которого могут быть использованы фотосопротивление, фотоэлемент и др.

Интенсивность светового луча, прошедшего через слой конденсата, характеризует толш,ину этого сло , а следовательно, скорость нанесени покрыти в момент конденсации этого сло .

Возможно также использование ленты из любых других (непрозрачных) материалов, в частности металлической ленты. Могут примен тьс самые различные измерители толщины конденсата на ленте - магнитные, рентгеновские , радиационные и др.

Описываемое устройство относитс к устройствам дифференциального типа. Обеспечиваема им точность контрол скорости нанесени вакуумных покрытий посто нна во времени и определ етс точностью измерени толщины конденсата на ленте.

Предмет изобретени

Устройство дл контрол скорости нанесени вакуумных покрытий на издели , содержащее приемник конденсата и измеритель толщины конденсата на приемнике, отличающеес тем, что, с целью повышени точности контрол скорости конденсации и обеспечени равномерности покрыти , приемник конденсата выполнен в виде ленты, установленной с возможностью перемещени относительно измерител толщины конденсата.

-;