SU419719A1

SU419719A1 - INTERFERENCE METHOD OF RADIATION / ERENIA OF LINEAR DIMENSIONS OF SAMPLE OPTICAL DETAILS

Info

Publication number: SU419719A1
Application number: SU1819014A
Authority: SU
Inventors: изобретен
Original assignee: А. И. Крицын
Priority date: 1972-08-10
Filing date: 1972-08-10
Publication date: 1974-03-15

Description

1one

Изобретение относитс к нзмеритель(оГ1 техннке н может найтн применение в оптикомеханической промышленности дл измереии высоты образцовых деталей, имеющих вид конуса, усеченного конуса, нирамгаы или нрнзмы с углом при вершине 90°.The invention relates to a measuring instrument (OG1 tehnnke N may find application in the optomechanical industry for measuring the height of exemplary parts having the shape of a cone, a truncated cone, nirams or lines with an apex angle of 90 °.

Известен интерференционный способ пзл;ерепи линейных размеров образцовых опгпческнх деталей, например длины нлоскопараллельных концевых мер, на интерферометре с источником белого света, заключающийс в сравнении измер емой детали с исходиой, при котором разность длины определ етс непосредственно но величине смещенп полос нулевого пор дка, наблюдаемых на измерительных поверхност х сравниваемых деталей. При этом измер ема разность определ етс в длинах световых воли. Погрешность измерени пор дка ±0,1 мкм. Однако непосредственно использовать способ дл измерени высоты конусов и призм из прозрачного материала с угло.м при вершине 90° не представл етс возможным вследствие отсутстви второй измерительной плоскости у конической детали.The interference method is known; the linear displacement of exemplary optical parts, for example, the length of the nloscopic parallel terminal measures, on an interferometer with a white light source, consists in comparing the measured part with the origin, in which the difference in length is determined directly by the magnitude of the zero order bands observed on measuring surfaces of compared parts. In this case, the measured difference is determined in the lengths of the light will. The measurement error is on the order of ± 0.1 µm. However, directly using the method for measuring the height of cones and prisms from a transparent material with an angle of 90 ° at the apex is not possible due to the absence of a second measuring plane on the conical part.

С целью возможности измерени высоты конусов и призм из прозрачного материала с углом при вершине 90° ло предлагаемому способу используют в качестве и-сходпои детали аттестованную плосконараллельную пластину , изготовленную из того же материала, что н измер ема деталь, а рассто ние между ее плоскими поверхност ми равно удвоелпойвысоте конуса или нризмы.In order to measure the height of the cones and prisms from a transparent material with an apex angle of 90 ° to the proposed method, an accredited flat-parallel plate made of the same material as the measured part is used as the part and the distance between its flat surfaces mi equals twice the height of the cone or nrizma.

5 На фиг. 1 изображеиа схема дл изме;)ени высоты конусов и призм из прозрачного материала с углом при вершине 90° на дкухлучевом «нтерферО:метре; на . 2 - в.ид пол зрени интерферометра при измеренил,5 In FIG. Figure 1 is a diagram for changing the height of cones and prisms from transparent material with an apex angle of 90 ° at the duster InterferO: meter; on . 2 - v.id interferometer field of view when measured,

0 В рабочую ветвь интерферометра устанавливают измер емый конус / с предварительно притертой к иижнему основанию зеркала 2. В эталонную ветвь интерферометра к зеркалу 5 притирают аттестованную цлоскоиараллель5 ную пластину 4 с размером удвоенной высоты конуса н 1зготовлеииую из того же материала .0 The measured cone / is inserted into the working branch of the interferometer / with mirror 2 previously ground to the base of the interferometer. A certified closure aaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaaut the doubled height of the cone and 1 made from the same material are rubbed into the reference branch of the interferometer.

Лучи белого света, идущие от источника (иа схеме не ноказаи), падают на поверхность светоделптельной пластины 5, где раздел ютс на два пучка.White light rays coming from the source (not a nakazai scheme) fall on the surface of the light-splitting plate 5, where they are divided into two beams.

Предлагаемый способ осуществл ют следующим образом. Один пучок света отражаетс от пластиныThe proposed method is carried out as follows. One beam of light is reflected from the plate.

5 5 и надает но нормали на прозрачную аттестованную нластииу 4. Одна часть этого пучка отражаетс от вер.хней поверхности пластины , друга часть проходит пластину и отражаетс от зеркала 3, затем обе части пучка5 5 and butts normal to the transparent certified section 4. One part of this beam is reflected from the top of the plate surface, the other part passes the plate and is reflected from mirror 3, then both parts of the beam

0 идут в обратном направлении, проход т пла0 go in the opposite direction, pass t pla