SU395926A1

SU395926A1 - ELECTRON MICROSCOPE

Info

Publication number: SU395926A1
Application number: SU1647901A
Authority: SU
Inventors: В. В. Мосеев П. А. Сто нов
Priority date: 1971-04-23
Filing date: 1971-04-23
Publication date: 1973-08-28

Description

1one

Известны электронные микроскопы, содержащие колонну, включающую в себ осветительную систему, объектив с магнитопроводом . Нижн часть матнитопровода обычно крепитс накидной гайкой или винтами к нижней части колонны, а верхн - аналогичным образом сочлен етс с осветителем. При этом внешн часть магнитоировода объектива несет на себе массу всей верхней части колонны. Однако при вибраци х колонны электронного микроскопа из-за значительной массы осветител (около 100 кг) внешн часть магнитонровода объектива периодически деформируетс . Возникающие при деформаци х механические напр жени в магнитопроводе периодически измен ют магнитные свойства материаша магнитопровода . Возникающие вибрации порождают переменную составл ющую магнитного потока Объектива, что приводит к размытию изображени и ухудшению разрешающей способности электронного микроскопа.Electron microscopes are known that contain a column including an illumination system, a lens with a magnetic core. The lower part of a matnitophone is usually fastened with a cap nut or screws to the lower part of the column, and the upper part is likewise joined to the illuminator. At the same time, the external part of the lens magnetic circuit carries the mass of the entire upper part of the column. However, with the vibrations of the electron microscope column, due to the considerable mass of the illuminator (about 100 kg), the outer part of the objective magnetic core is periodically deformed. The mechanical stresses arising from the deformations in the magnetic circuit periodically change the magnetic properties of the material magnetic circuit. The resulting vibrations produce a variable component of the Lens magnetic flux, which leads to image blurring and deterioration of the resolution of the electron microscope.

В микроскопах при вибраци х за счет деформации внешней его части происход т колебани полюсов полюсного наконечника, что размывает изображение и снижает разрешающую способность электронного микроскопа . При вибраци х возникают колебани механизма перемещени столика объекта, так как мехаиизм перемещени крепитс кIn microscopes with vibrations due to the deformation of the outer part of it, the poles of the pole tip oscillate, which blurs the image and reduces the resolution of the electron microscope. When vibrations occur, the mechanism for moving the object's table oscillates, since the mechanism of movement is attached to

периодически деформируемому магнитопроводу объектива. В результате возникают колебани каретки столика с объектом, что ухудшает разрешающую способность микроскопа.periodically deformed magnetic circuit of the lens. As a result, the table carriage oscillates with the object, which degrades the resolution of the microscope.

Цель изобретени - повышение разрешающей способности электронного .микроскопа за счет исключени вли ни недостаточной деформационной стойкости материала магнитопровода объектива на его работу при вибраци х и устранени 1колебаний нолюсоз объектива и механизма перемещени столика объектов, возникающих при вибра.ци х.The purpose of the invention is to increase the resolution of the electronic microscope by eliminating the effect of insufficient deformation resistance of the objective lens magnetic material on its operation during vibrations and eliminating oscillations of the objective lens zero and the mechanism for moving the table of objects arising during vibration.

Это достигаетс введением дополнительного опорного элемента, установленного концентрично с магнитопроводом объектива и отделенна1Я от него зазором, приче.м верхний конец опорного элемента соединен с осветителем микроокопа, а нижний - с нижней частью колонны микроокопа.This is achieved by introducing an additional support element mounted concentrically with the objective magnetic core and separated by a gap from it, and the upper end of the support element is connected to the illuminator of the micro-cop, and the lower one - to the lower part of the micro-cop column.

На чертел е представлена схема предлагаемого микроскопа.The diagram shows the proposed microscope.

Магнитное поле линзы образуетс между полюсами 7 и 2 полюсного наконечника. Каретка 3 столика объектов с исследуемым объектом 4 приводитс -в движение механизмом 5. Дл исключени деформации магнитопровода и возникновени в нем механических напр жений, порождающих переменную составл ющую магнитного потока в объективе,The magnetic field of the lens is formed between the poles of the 7 and 2 pole tips. The carriage 3 of the table of objects with the object under study 4 is driven by the mechanism 5. To eliminate the deformation of the magnetic circuit and the occurrence of mechanical stresses in it, generating a variable component of the magnetic flux in the lens

имеетс специальный наружный опорный элеthere is a special outdoor support element