SU389641A1

SU389641A1 -

Info

Publication number: SU389641A1
Application number: SU1742733A
Authority: SU
Inventors: В. В. Гаврилов А. В. Пермин А. П. Лапин
Priority date: 1972-01-31
Filing date: 1972-01-31
Publication date: 1973-07-05

Description

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНТНОГОMETHOD OF MANUFACTURING ELECTROLUMINESCENT

УСТРОЙСТВАDEVICES

1one

Изобретение относитс к радиоэлектронной технике, в частности к област1И разработки технологии получени электролюминесцентных устройств, которые могут быть применены в качестве источников света, и ди-каторов, в устройствах дл обработки информации, дл подсветки шкал приборов и дл р да других целей .The invention relates to electronic equipment, in particular to the field of development of technology for producing electroluminescent devices that can be used as light sources and reflectors, in information processing devices, for illuminating instrument scales and for a number of other purposes.

Известен способ изготовлени электролюминеспентиых устройств путем вакуумного испарени исходных веществ и активирующих примесей 1на стекл нную подложку с проз.рачным электродом с дальнейщей температурной обработкой либо без .нее. В качестве непрозрачного электрода используют некото1рые 1матерпалы, наиболее эффективным и.з которых вл етс алюминий.A known method of making electroluminescent devices by vacuum evaporation of precursors and activating impurities is 1 on a glass substrate with a transparent electrode with a further temperature treatment or without it. Some opaque grades are used as the opaque electrode, the most effective of which is aluminum.

Недостатком известного способа вл етс то, что полученные по известной технологии электролюминесцентлые устройства имеют относительно небольшой срок служ-бы. В первую очередь это относитс к устройствам на основе сублимированных пленок ZnS, излучающих свет под действием посто нного напр жени . Вследствие этого электролюминесцентные пленки, работающие на посто нном токе, пока не наход т практического применени в промышленност1И .The disadvantage of this method is that electroluminescent devices obtained by known technology have a relatively short service life. First of all, this refers to devices based on sublimated ZnS films emitting light under the action of a constant voltage. As a result, electroluminescent films operating on direct current have not yet found practical application in industry.

Целью предлагаемого способа вл етс увеличение ркости свеченй и срока службы электролюминесцентных уст ройств, работающих .на .посто нном токе.The aim of the proposed method is to increase the brightness of the candles and the service life of electroluminescent devices operating at a constant current.

Новизна предложенного способа заключаетс в том, что после напылени иа прозрачный электрод лю.мипофора на основе сульфида цинка, активированного медью и марганцем, на полученную пленку IB качестве непрозрачного электрода нанос т испарением в вакууме марганец, который покрывают слоем металла, например алюмини , либо оставл ют его без покрыти .The novelty of the proposed method lies in the fact that after sputtering a transparent electrode of a limphore based on zinc sulfide activated by copper and manganese, the resulting IB film as an opaque electrode is applied by evaporating in vacuum manganese, which is coated with a layer of metal, for example aluminum, or left they are not coated.

В вакууме тор на пленку электролюминофора , полученного, например, путем .последовательного испарени в вакууме на провод щее стекло сернистой меди и светосостава ЭЛС-580, ;напыл ют из танталовой или вольфрамовой ЛОДОЧК1И непрозрачный слой .марганца, толщиной пор дка 0,2-0,4 мкм. Температура лодочки в процессе пылени поддерживаетс равной 1700-1800°С, при этом подложка со слоем электролюминофора специально не подогреваетс . Плотные и однород ные слои марга.нца получаютс в том случае, когда скорость напылени не слишком велика.In a vacuum, a torch on an electroluminophore film, obtained, for example, by successive evaporation in vacuum on conductive glass of copper sulfide and ELS-580 light composition, sputtered from tantalum or tungsten LODOCCHI an opaque layer of manganese, of a thickness of 0.2-0 , 4 microns. The temperature of the boat in the process of dusting is maintained at 1700-1800 ° C, while the substrate with a layer of electroluminescent material is not specifically heated. Dense and uniform layers of margenese are obtained when the spraying rate is not too high.

Дл улучшени контакта слой марганца может быть дополнительно покрыт слоем металла .по соответствующей методике.In order to improve the contact, the manganese layer may be further coated with a metal layer according to an appropriate method.