SU382981A1

SU382981A1 - DEVICE FOR MEASURING THE WEAKNESS PARAMETERS OF SEMICONDUCTOR PRODUCTS

Info

Publication number: SU382981A1
Application number: SU1602938A
Authority: SU
Inventors: В. К. Камуз Н. М. Блакитный
Priority date: 1970-12-11
Filing date: 1970-12-11
Publication date: 1973-05-25

Description

1one

Изобретение относитс к контактным устройствам и предназначено дл использовани при измерении слаботочных параметров изделий в полупроводниковой промышленности.The invention relates to contact devices and is intended for use in the measurement of low-current parameters of products in the semiconductor industry.

Известны электромагнитные измерительные устройства, состо щие из катушки электромагнита и подвижного сердечника любой формы. Такие электромагнитные устройства с подвижным сердечником характеризуютс ИЕ1тенсивным износом из-за частого срабатывани .Electromagnetic measuring devices are known, consisting of an electromagnet coil and a moving core of any shape. Such a moving-core electromagnetic device is characterized by its intense wear and tear due to frequent operation.

Дл ускорени процесса измерени контактные стержни предложенного устройства расположены внутри электромагнита неподвижно и отделены от его сердечника прокладкой.To speed up the measurement process, the contact rods of the proposed device are located inside the electromagnet stationary and separated from its core by a gasket.

На чертеже изображено предлагаемое устройство .The drawing shows the proposed device.

Устройство состоит из двух катушек 1, 2 электромагнита. Кажда катушка имеет неподвижный сердечник, состо щий из втулки 3, выполненной из магнитного материала (прижимна часть), контактного стержн 4 из материала с малым удельным сопротивлением (измерительна часть) и прокладки 5 из диэлектрика дл устранени токов утечки.The device consists of two coils 1, 2 electromagnet. Each coil has a fixed core consisting of a sleeve 3 made of magnetic material (pressure part), a contact rod 4 of a material with low resistivity (measuring part) and a dielectric gasket 5 to eliminate leakage currents.

Стержни 4 подключены к электроизмерительному прибору 6.The rods 4 are connected to an electrical measuring device 6.

При подаче контролируемой детали 7 к устройству запитываютс катушки 1, 2 электромагнита и прижимают деталь к стержн м 4, через которые подаетс коммутируемый ток от электроизмерительного прибора 6. Происходит измерение параметра. По окончании измерени катушки 1, 2 элек7ромагнита обесточиваютс , и изделие попадает в устройство сортировки.When the monitored part 7 is supplied, the coils 1, 2 of the electromagnet are fed to the device and the part is pressed to the rods 4, through which the switched current from the electrical measuring device 6 is supplied. The parameter is measured. At the end of the measurement, the coils 1, 2 of the electromagnet are de-energized, and the product enters the sorting device.

Предмет изобретени Subject invention

Устройство дл измерени слаботочных параметров полупроводниковых изделий, содержащее удерживающее устройство, выполненное в виде электромагнита, и измерительное устройство, состо щее из контактов, выполненных в виде стержней, соединенных с измерительным прибором, отличающеес тем, что, с пелью ускорени процесса измерени , упом нутые контактные стержни расположены внутри электромагнита неподвижно и отделены от его сердечника прокладкой.A device for measuring low-current parameters of semiconductor products, comprising a holding device made in the form of an electromagnet, and a measuring device consisting of contacts made in the form of rods connected to a measuring device, characterized in that with the acceleration of the measuring process, said contact The rods are located inside the electromagnet motionless and separated from its core by a gasket.