SU382771A1

SU382771A1 - VIEWING WINDOW FOR A VACUUM CAMERA

Info

Publication number: SU382771A1
Application number: SU1617632A
Authority: SU
Inventors: Ю. А. Екимов А. Ю. Абеле
Priority date: 1971-02-01
Filing date: 1971-02-01
Publication date: 1973-05-25

Description

1one

Изобретение относитс к области нанесени покрытий в вакууме -и может быть использовано дл наблюдени за процессами в вакуумной камере.The invention relates to the field of vacuum coating - and can be used to observe the processes in a vacuum chamber.

Известно CMOTipOBoe окно дл вакуумной камеры, содержащее корпус, смотровое стекло , перфО|рированный диск и привод.A CMOTipOBoe window for a vacuum chamber is known, comprising a housing, a sight glass, a perforated disc and a drive.

Однако смотровое окно имеет короткий промежуток времени незапыл емости смотрового стекла, что ограничивает срок службы смотрового окна в установках длительного действи .However, the viewing window has a short period of time without the sight glass, which limits the service life of the viewing window in long-term installations.

Цель изобретени -увеличение срока службы смотрового окна.The purpose of the invention is to increase the service life of the viewing window.

Предлагаемое смотровое окно отличаетс тем, что оно снабжено конденсатором, выполненным в виде конфузора, и смонтировано на камере посредством шаровой опоры, вписанной в вакуумоплотный корпус.The proposed viewing window is characterized in that it is provided with a condenser made in the form of a confuser, and mounted on the chamber by means of a ball bearing fitted into a vacuum-tight housing.

На чертеже изображена предлагаема конструкци смотрового окна.The drawing shows the proposed design of the viewing window.

Окно состоит из корпуса /, смотрового стекла 2, перфорированного диска 3, привода 4, конденсатора 5, выполненного в виде конфузора . Оюго смонтировано на камере 6 посредством шаровой onoipbi 7, вписанной в вакуумаплотный корпус 8.The window consists of a housing /, a sight glass 2, a perforated disk 3, a drive 4, a condenser 5, made in the form of a confuser. Oyugo mounted on the chamber 6 by means of a ball onoipbi 7, inscribed in a vacuum-tight housing 8.

В корпусе / выполнена камера 9 охлаждени , имеюща охладительную «рубашку 10, внутренн noBespxHOCTb которой выполненаIn the housing / made cooling chamber 9, which has a cooling jacket 10, which is internally noBespxHOCTb

оребренной. К внешней стороне смотрового стекла 2 может быть присоединено оптическое устройство (на чертеже не показано). Работает вакуумна камера следующимribbed. An optical device can be connected to the outside of the sight glass 2 (not shown). Vacuum chamber works as follows

образам.images.

Во врем испарени материала из нагревательного источника (тигл ), часть потока иара , облада запасом кинетической энергии и пр молинейным движением, направл етс вDuring the evaporation of the material from the heating source (crucible), a portion of the flow of the vapor, which has a reserve of kinetic energy and linear motion, is directed to

сторону смотрового окна. Достигнув поверхности конфузара 5, имеющего температуру меньше (Критической температуры конденсации паров испар емого материала, последние конденсируютс на наружной поверхностиside of the viewing window. Having reached the surface of the embarrassing 5, which has a temperature lower (The critical condensation temperature of the vapors of the evaporated material is condensed on the outer surface

конфузора 5. Молекулы пара, попавшие в полость конфузора 5, конденсируютс на его внутренней пове|рхности. Часть молекул рного потока, не встретив преп тствий «а своем пути, проникает че1рез узкое сечение конфузора 5 в 1камеру охлаждени 9.confuser 5. Molecules of vapor trapped in the cavity of confuser 5 condense on its internal surface. A part of the molecular flow, without encountering obstacles in its path, penetrates through a narrow cross section of the confuser 5 into 1 cooling chamber 9.

Наличие в корпусе / устройства камеры 9 охлаждени позвол ет создавать в ней область с низкой темлературой. В этой области мюлекулы испар емого материала теплоизлучением тер ют значительную часть своей энергии и конденсируютс на оребренной поверх1ности «рубашки 10. Теплоотвод в охлаждающем приспособлении осуществл етс циркулирующим в охладителыной «рубашке 10The presence in the housing / device of the cooling chamber 9 allows creating an area with a low temperature in it. In this region, the mulecules of the vaporized material are radiated by thermal radiation, and a considerable part of their energy is condensed on the ribbed surface of the jacket 10. The heat sink in the cooling device is circulated in the cooling jacket 10.

хладагентом. Не сконденсировавша с частьrefrigerant. Not condensed part

молекул пара задерживаетс вращающимс со акоростью, намного превышающей скорость молекул , перфО;рпрованным диском .Л преп тствующим прон 1кнове)ию пара на поверхпость смотрового стекла 2.molecules of steam are retained by rotating with a speed much higher than the speed of the molecules, perforated; a repetitive disk. An obstacle that passes through the first pair of vapor on the surface of viewing glass 2.

В нерабочем положении смотровое окно установлено так, что конфузор 5 отзеден Б сторону от пСПарител (тигл ), преп тству таким образом пр мом попаданию молекул пара в полость смотрового oiKna. В случае необходпмости наблюдени за работой исиарительных устройств, оператор, благодар наличию щарнириого соединени , ираисением смотрового окна наводит конфузор 5 на объект наблюдени .In the non-working position, the viewing window is set so that the confuser 5 is separated B from the evaporator (crucible), thus preventing direct penetration of vapor molecules into the cavity of the oiKna. If it is necessary to monitor the operation of the internal devices, the operator, due to the presence of a hinged connection, by irradiating the viewing window, leads the confuser 5 to the object of observation.

Если в вакуумной камере размеи1ены несколько источников испарени (тиглей), а соответствеННО , и механизмов подач: праволоки , то несмотр на посто н ный угол обзора устройства, наличие сферического щарнирного соед Н1ен: нозвол ет оператору вращением устройства относительно двух осей осматривать об1нирную часть камеры с механизмами , смонтированными не только р дом с испарителем , но и в стороне от них.If several sources of evaporation (crucibles) are placed in the vacuum chamber, and, respectively, and feed mechanisms: pravoloki, despite the constant viewing angle of the device, the presence of a spherical hinge connection H1en: allows the operator to rotate the device relative to two axes to inspect the inner part of the camera mechanisms mounted not only next to the evaporator, but also away from them.

Предмет изобретени Subject invention

СмотрОВое окно дл вакуумной камеры, содержащее кор.пус, .смотровое стекло, пе рфорнрованный диск н привод, отличающеес itt.i, что, с целью увеличени срока службы, окно снабжено конденсатором, выполненным в виде ;конфузора, и смонтировано на камере посредством щаровой Опо,ры, вписанной в вакуумоплотный корпус.Inspection window for vacuum chamber containing housing, sight glass, rotary disk and drive, characterized by itt.i, which, in order to increase service life, the window is equipped with a condenser, made in the form of an adapter, and mounted on the chamber by means of spherical Opo, ry, inscribed in a vacuum-tight housing.

JOJO

99