SU375709A1

SU375709A1 - Всесоюзная \

Info

Publication number: SU375709A1
Application number: SU1605665A
Authority: SU
Priority date: 1970-12-30
Filing date: 1970-12-30
Publication date: 1973-03-23

Description

1

Изобретение относитс к электронной технике , в частности к технике изготовлени холодных катодов дл газоразр дных приборов с инертным наполнением, например оптических квантовых генераторов.

В газоразр дных приборах в качестве холодных катодов используют металлические катоды , изготовленные из алюмини , железа, никел , тантала, молибдена и других металлов или их сплавов.

Известны способы повышени эксплуатационной стойкости металлических холодных катодов , которые заключаютс в предварительном окислении рабочей поверхности катодов путем термического окислени в кислородсодержащей среде.

Однако известный способ не обеспечивает достаточной стойкости катодов при повышенных токовых нагрузках.

Цель изобретени - повышение устойчивости холодного катода в процессе его эксплуатации при повышенных удельных токовых нагрузках .

Согласно изобретению поставленна цель достигаетс путем окислени катодов в среде кислорода пониженного давлени 0,1 - 30 мм. рт. ст. при одновременном наложении внешнего высокочастотного электромагнитного пол .

Внешнее высокочастотное электромагнитное поле в выбранном интервале давлений кислорода воздействует на процесс окислени таким образом, что уже на первоначальных стади х

процесса на поверхности окисл емого при контролируемой температуре металла или сплава образуетс пленка оптимальной структуры , что обуславливает ее ценные заш,итные свойства: высокую электропроводность и повышенную стойкость к катодному распылению в услови х аномального тлеюш;его разр да.

Конкретные параметры процесса окислени : давление кислорода, температура окислени , врем выдержки при температуре окислени ,

частота внешнего электромагнитного пол и. т. д.,- определ ютс природой металлического катода и конструктивными особенност ми издели . Пример изготовлени по предлагаемому

способу холодных катодов газовых ОКГ.

Полые цилиндрические катоды изготовл ют из алюмини , берилли , магни и сплавов на их основе. После механической и технохимической обработки образцы загружают в стекл нные или кварцевые трубы, обезгаживают в вакууме и дополнительно очищают разр дом в среде неона. Затем производ т напуск кислорода до давлени 3-5 мм рт. ст. и провод т окисление во внешнем высокочастотном электромагнитном поле. Дл катодов, изготовленных из алюмини , магни и их сплавов, температуру окислени выбирают в пределах 420-460° С, а дл бериллиевых катодов в пределах 550-770° С. Врем выдержки при температуре окислени составл ет 30-60 мин. Частоту колебаний внешнего электромагнитного пол , в котором производ т окисление катодов, измен ют в зависимости от типа катодов в пределах от 0,5-1 Мгц. После окислени катоды монтируют в газоразр дные приборы . Режимы последующей обработки и тренировки катодов не отличаютс от общеприн тых дл холодных катодов.

Испытани холодных катодов, изготовленных по предлагаемому способу, в газоразр дных приборах с наполнением гелийнеоновой смесью (с соотнощением 5:1 и ГО: 1) при давлении 3-5 мм рт. ст. показали, что срок

службы катодов при плотности тока 0,7 ма/см составл ет не менее 1100 час. Катоды, изготовленные известным способом, обеспечивают в указанных услови х срок службы не более 50-100 час.

Предмет изобретени

Способ изготовлени холодных металлических катодов дл газоразр дных приборов, преимущественно с инертным наполнением, путем их термического окислени в кислородсодержащей среде, отличающийс тем, что, с целью увеличени срока службы катодов при повышенных токовых нагрузках, окисление катодов производ т при давлении кислорода 0,1-30 мм рт. ст. в высокочастотном электромагнитном поле.