SU371612A1

SU371612A1 - THERMAL VACUUM INSTALLATION UNIT FOR HEATING SUBSTRATES IN CASSETTE

Info

Publication number: SU371612A1
Application number: SU1470061A
Authority: SU
Priority date: 1970-08-25
Filing date: 1970-08-25
Publication date: 1973-02-22

Description

1one

I ;к)и)етен11с относнтс -к области технологли изготовлени заномипаютцнх устройств дл электронных вычислительных машии.I; k) i) eten 11s relative to the field of manufacturing technology of home-made devices for electronic computers.

Известны тепловые блоки вакуумных установок дл нагреваБи подложек в -кассетах, которые содержат массивный полый параллелепипед с горизонтальными нанравл юш,ими пазами дл перемещеии кассет с нодлож-ками , сиаружи Которого располоукен нагреватель . Весь тепловой блок деподвижно закренлеп внутри вакуумной установки в ее вакуумной камере.Thermal blocks of vacuum installations for heating the substrates in cassettes are known, which contain a massive hollow parallelepiped with horizontal frames, with grooves for moving the cassettes with the holders, which surround the heater. The entire thermal unit is fixedly closed inside the vacuum unit in its vacuum chamber.

Однако такие тепловые блоки не обеспечивают из-за их массивнОСТ и больпюй теплоемкости (т. е. тепловой инерции) быструю омеиу температуры иодложек с матрицами при их термообработке, что сказываетс на качестве , а длительный процесс перехода при термообработке от одной температуры к другой приводит к неконтролируемым изменени м свойств тонких магнитных пленок и не позвол ет эффективно н оперативно управл ть процессом термообработки. Все это снижаег производительность вакуумных установок и качество пленок. Кроме того, к снижению нроизводительности приводит и непроизводительна затрата времени на самопроизвольное остывание теплового блока.However, such thermal blocks do not provide, due to their massive HEAT and large heat capacity (i.e., thermal inertia), to rapidly heat the temperature of the molds with the matrices during their heat treatment, which affects the quality, and the long transition process during heat treatment from one temperature to another leads to uncontrolled changes in the properties of thin magnetic films and does not allow effective and efficient control of the heat treatment process. All this reduced the performance of vacuum systems and the quality of films. In addition, the unproductive expenditure of time on the spontaneous cooling of the thermal unit also leads to a decrease in productivity.

Цель изобретени - улучшение качества подложек.The purpose of the invention is to improve the quality of the substrates.

Это дост1ггаетс тем, что тепловой блок содержит систему принудительного охла/1 де11И5г в виде трубок, встроенную в боковые стенк; полого параллелепипеда.This is achieved by the fact that the heat block contains a system of forced cooling / 11115G in the form of tubes, built into the side walls; hollow parallelepiped.

На чертеже покаазна конструктивна схема вакуумной установки с предлагаемым теп/ювым блоком.The drawing shows a constructive diagram of a vacuum installation with the proposed heat / water unit.

Она состонт пз вакуумной камеры /, испарителей 2, теплового блока 3 с нагревателем 4, кассетами 5 дл креплени подложек и системой 6 принудительного охлалсдени в виде трубок , встроенной в боковые степкн, кассетонриемника 7, катушек 8 Гельмтольца и аппаратуры 9 дл контрол параметров технологического процесса.It is composed of vacuum chamber /, evaporators 2, thermal unit 3 with heater 4, cassettes 5 for attaching substrates and forced cooling system 6 in the form of tubes embedded in the side stems, cassette receiver 7, Helm tolz coils 8 and equipment 9 for monitoring process parameters .

Предлагаемый тепловой блок 3 вакуумнойThe proposed thermal unit 3 vacuum

установки выполнен в виде массивного пологоinstallation is designed as a massive hollow

параллелеиииеда из медн пли нержа веющейcopper and copper paed

стали с горизонтальными напраат ющп.мн пазамп дл перемепдени кассет с подложками.steel with horizontal napraat yasm pazamp for interleaving cassettes with substrates.

Нагреватель 4, установленный снаружи теплового блока, изготовлен в виде электрической опирали в керамических изол торах, на которую надет тепловой экран - медный или молибденовый кожух.The heater 4, installed outside the heat block, is made in the form of an electric one supported in ceramic insulators, on which a heat shield is put - a copper or molybdenum casing.

В боковые стенки параллеленипеда с внешней стороны встроена система 6 принудительного охлаждени в виде трубок. Трубки могут быть приварены к боковым стенкам лнбо размещены в выборках внутри стенок, выполненных из двух половин.A forced cooling system 6 in the form of tubes is built into the side walls of the parallelepiped from the outside. Tubes can be welded to the side walls of the lingo placed in samples inside the walls, made of two halves.

Другой вариант системы принудительною охлаждени - это азотно-или водоохлаж аема рубашка, расположенна под нагреваголбм вокруг массивного полого параллелепипеда .Another variant of the forced cooling system is a nitrogen-or water-cooled jacket located under a heated hollow around a massive hollow parallelepiped.

Весь тепловой блок неподвижно закреплен внутри вакуумной установки в ее вакуумной камере.The entire thermal unit is fixed inside the vacuum unit in its vacuum chamber.

Предлагаемый тепловой блок имеет однородную зону нагрева, в которой размещаетс большое количество подложек илп образцов, позвол ет эффективно и оперативно управл ть термообработкой (температурным режимом) пленок, исключив длительные процессы перехода от одной температуры к другой, снизитьThe proposed thermal unit has a uniform heating zone, in which a large number of substrates or samples are placed, allows for efficient and efficient control of heat treatment (temperature regime) of films, eliminating long processes of transition from one temperature to another, reducing

к минимуму неконтролируемые изменени свойств пленок, улучшить их качество и увеличить выход годных матриц, т. е. повысить производительность , а также снизить непроизводительные затраты времени на окончательное охлаждение теплового блока.to a minimum, uncontrolled changes in the properties of films, to improve their quality and increase the yield of matrices, i.e., to increase productivity and also to reduce the overhead of the time for the final cooling of the thermal unit.

Предмет изобретени Subject invention

Тепловой блок вакуумной установки дл нагревани подложек п кассетах, состо щи из полого параллелепипеда с горизонтальными маправл юпщми назами, отличающийс тем, что, с целью улучшени качества подложек, ои содержит систему принудительного охлаждени в виде трубок, встроенную в боковые стенки полого параллелепипеда.A thermal unit of a vacuum unit for heating the substrates in cassettes consisting of a hollow parallelepiped with horizontal channels, characterized in that, in order to improve the quality of the substrates, it comprises a forced cooling system in the form of tubes embedded in the side walls of the hollow parallelepiped.