SU365609A1 - Способ испытаний вакуумных систем на герметичность - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к области испытаний на герметичность в вакуумной технике.

Известен способ иснытаний на герметичность вакуумных систем, заключающийс  в том, что испытываемую систему подсоедин ют к течеискателю, вакуумируют ее внутреннюю нолость и прерывисто обдувают предполагаемые .места неплотностей пробным газом , понада:ние которого в систему фиксируетс  регистрирующи.м прибором.

Недостатком известного способа  вл етс  то, что с увеличением частоты прерывани  (модул ции) потока пробного газа (практически более 0,5 гц), обдувающего испытываемую вакуумную систему, уменьшаетс  амплитуда периодической составл ющей сигнала. Это объ сн етс  тем, что с увеличением частоты прерывани  потока начинает сказыватьс  посто вша  диффузи  пробного газа, например гели , у входа в микронеплотность, т. е. концентраци  молекул пробного газа пра.ктически мало измен етс .

Предлагаемый способ отличаетс  от известного тем, что дл  повышени  чувствительности испытаний обдув предполагаемых мест неплотностей производ т попеременно двум  различными пробными газами с носто нной продолжительностью периода прерывани .

Повышение чувствительности испытаний достигаетс  за счет увеличени  амплитуды

периодической составл ющей сигнала при инфразвуковых частотах прерывани , так как при прерывистом попеременно.м обдуве двум  пробными газами предполагаемых мест неплотностей, во-первых, резко мен етс  концентраци  таза у входа в микропеплотность и, во-вторых, через канал микронеплотности проход т поочередно как бы пакеты молекул разных газов.

10

На чертеже схе.матично изображено устройство дл  осуществлени  предлагаемого способа.

Прерыватель 1 сообщаетс  с двум  объемами 2 и 3, в которых наход тс  различные пробные газы. Испытываема  вакуумна  система 4 соедин етс  с течеискателем 5, выход которого через узконолосный частотный усилитель 6 соединен с регистрирующим прибором 7.

Управление обмотки прерывател  производитс  импульсным генератором 8.

При испытани х на герметичность из прерывател  1 попеременно подаютс  два пробных газа на .места предполагаемых микронеплотностей испытываемой системы 4. Продолжительность /1 выхода из прерывател  1 одного пробного газа и продолжительность выхода /2 другого пробного газа вместе соста;вл ют период прерывани  потока Т, т. е. T const.

При наличии в ионытываемой системе 4 микронбплотности с выхода течеискател  5 поступает сигнал, содержании и нернодическую составл ющую с частотой, ра.вной ча1

стоте прерывани  / - . Периодическа  составл юща  сигнала частоты / выдел етс , усиливаетс  узко полосным частотным усилителем 6 и регистрируетс  прибором 7, по которому определ етс  негер метичность системы .

Предмет изобретени 

Снособ испытаний вакуум ных систем иа герметичность, заключающийс  в том, что испытываемую систему подсоедин ют к течеискателю , вакуумируют ее внутреннюю полость и прерывисто обдувают предполагаемые места неплотностей пробным газом, попадание которого в систему фиксируетс  регистрирующим прибором,, отличающийс  тем, что, с целью повышени  чувствительности испытаний , обдув лредполагае,мых мест ненлотпостей производ т поиеремеш-ю различными пробными газами с посто нной нродолжительностью периода прерывани .