SU341117A1

SU341117A1 - VACUUM METHOD FOR MONITORING THE TIGHTNESS OF SEMICONDUCTOR DEVICES

Info

Publication number: SU341117A1
Application number: SU904141A
Authority: SU
Original assignee: Ю. Герман

Description

1 .one .

Изобретение относитс к полупроводниковой технике, в частности к способам контрол герметичности полупроводниковых приборов .J ,The invention relates to semiconductor technology, in particular to methods for monitoring the tightness of semiconductor devices .J,

Известны способы определени герметичности с иопользованиеч тест-газа, например масс-спектрометрическнй способ с использованием гели или способ с использованием радиоактивного газа.Methods are known for determining a leaktightness using a test gas, for example a mass spectrometric method using gels or a method using radioactive gas.

Основным недостатком известных способов вл етс невозможность определени грубых течей (более 0,1 - 1 л-мкм/сек; ггл. как тестгаз , в среде которого герметизировано или опрессовано контролируемое изделие, быстро выходит «3 него через грубую течь.The main disadvantage of the known methods is the impossibility of detecting coarse leaks (more than 0.1-1 l-μm / s; ggl. As a test gas in which the controlled product is sealed or pressed together, quickly exits through a coarse leak.

Дл замедлени выхода тестгаза из прибора используют специальные газопоглотители (.геттеры). Геттер, пасыщеппый тестгазЬ м,.лможет выдел ть его в течеппе длительного времели , что позвол ет инди.цировать как тонкую, так и грубую течь. Однако этот способ не позвол ет определить велпчипу течи (грубую течь можно прин ть за тонкуго), а геттер постепенно истощаетс , что делает невозмолсной про.верку герметичности приборов через большой промежуток времени после герметизации. Кроме того, размещение геттера внутри изделий нежелательно по конструктивным и технологическим соображени м.To slow the release of test gas from the device, special getters are used (.getters). The getter, the passive test gas, can release it over a long period of time, which allows indi- cation both thin and coarse flow. However, this method does not allow to determine the velpchip leak (a coarse leak can be taken as a thin one), and the getter is gradually depleted, which makes it impossible for the gauge to check the tightness of the instruments after a long period of time after sealing. In addition, the placement of the getter inside the products is undesirable for structural and technological reasons.

Поэтому нар ду с высокочувствителы ыми методами контрол на тонкие течи (епее 0,1 л-мкмсек) примен ют контроль на грубую течь с помощью погружени контролируемого издели в нагретую илп вакуумируемую жидкость с тем, чтобы ло вы ел юшимс пузырь гам определить течь.Therefore, along with highly sensitive methods of monitoring for thin leaks (more than 0.1 L-msec), a control is applied to the coarse leakage by immersing the controlled product into a heated or vacuum pumped liquid so as to allow the bubbles to leak.

В полупроводниковой промьпиленпости примен етс также метод контрол , заключаюш .ийс в выдерживании контролируемых приборов в жидкости или паре. При этом в случае попад.ани влаги внутрь прибора он выходит из стро и отбраковываетс по 1 змепившимс параметрам. Однако жидкостные методы контрол крайне неэффективным из-за ухудшени качества, сииженн срока службы и надежности Приборов, выдержавших контроль герметичности, но имеющих микрокапилл ры , 1 евозможности повторной герметизации нли использоаапи вышедшего в брак прибора, необъективности и петехнологичности методов ввиду необходимости дополнительных оатераинй обезжиривани и сутки.In semiconductor industry, a control method is also used, consisting of keeping controlled devices in a liquid or a pair. In this case, if moisture gets inside the device, it gets out of order and is rejected according to 1 snaked parameters. However, liquid control methods are extremely inefficient due to the deterioration in quality, lifetime of the device and reliability of the Instruments that withstand tightness control, but have microcapillaries, 1 because it is possible to re-seal the device, the bias and pettechnology of methods due to the need for additional degreasing options and days .

Предлагаемый способ позвол ет провер ть издели с замкнутым объемом на грубую течь от 0,1 .1-л1км сек и более и свободен от недостатков известных методов.The proposed method allows testing products with a closed volume for a coarse flow of 0.1 .1-1 km or more and free from the drawbacks of the known methods.