SU312166A1 - Зеркальный умножитель - Google Patents
Зеркальный умножительInfo
- Publication number
- SU312166A1 SU312166A1 SU1435622A SU1435622A SU312166A1 SU 312166 A1 SU312166 A1 SU 312166A1 SU 1435622 A SU1435622 A SU 1435622A SU 1435622 A SU1435622 A SU 1435622A SU 312166 A1 SU312166 A1 SU 312166A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- mirrors
- wedge
- mirror
- angle
- collimator
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000006011 modification reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 1
Description
Известны зеркальные умножители, содержащие осветитель с коллиматором, систему зеркал и выходную систему регистрации.
Онисываемое устройство отличаетс от известных тем, что за коллиматором установлена диафрагма с двум отверсти ми, ортогональна проекци одного из которых на плоскость , перпендикул рную главному сечению объекта, перекрыта следом объекта на этой плоскости, а проекци другого отверсти лежит вне указанного следа.
Такие отличи позвол ют повысить точность измерени клиновидности объекта, размещенного в пространстве между зеркалами.
На фиг. 1 показана оптическа система устройства; на фиг. 2-то же, вид по стрелке Л.
Контролируемый клин / установлен между двум плоскими параллельными зеркалами
2,3. В качестве источника, создающего параллельный световой пучок, мол-сет быть использован , например, точечный источник 4 с коллиматором 5 или лазер. За зеркалом 3 установлена фокусирующа система 6 и измерительный блок, состо щий, например, из измерительных клиньев 7 и окул ра 8.
Устройство содержит также элементы дл регулировани угла нодени излучени на зеркало 2, схематично изображенные в виде пары вращающихс клиньев 9, элементы дл регулировани рассто ни между зеркалами 2,
ны, например, микрометрические винты. Между коллиматором 5 и зеркалом 2 установлена диафрагма 10, выдел юща в падающем излучении два узких световых пучка //, 12. Пучок 11 испытывает преломлени в клине, поэтому угол между пучками постепенно возрастает на величину, завис щую только от величины угла р между зеркалами 2, 3 и от угла контролируемого клина а. Рассто ние между
пучками 11, 12 в фокальной плоскости системы определ етс непосредственно углом контролируемого клина.
Таким образом, измерение угла клина в данном устройстве заключаетс в измерении
в фокальной плоскости .F системы 6 рассто ни между пучками 11, 12, углова величина Y которого равна
Y 2(/г-1)а + 2р N - ,
где п - показатель преломлени клина, N - число отражений от зеркала 2. Дл того, чтобы обеспечить оптимальное число отражений Л , угол падени пучков в на зеркало 2 или рассто ние между зеркалами t регулируют таким образом, чтобы выдержать соотнощение
sinQ:
2tN
Помимо приведенной, возможны и другие модификации устройства. В частности, коллиматор 5 и фокусирующа система 6 могут быть объединены, т. е. выполнены в виде ав-. токоллиматора; возможно применение различных вариантов регулировочных и измерительных элементов и т. д.
Повышение точности измерений достигаетс наличием в устройстве элементов дл разделени падающего излучени на два параллельных пучка, взаимно смещенных в направлении , перпендикул рном главному сечению контролируемого клина, таким образом, что при многократном отрал ении от зеркал через клин проходит только один пучок. При этом угол между .обоими пучками на выходе определ етс только углом контролируемого клина и не зависит от томности изготовлени и юстировки зеркал.
Предмет изобретени
Зеркальный умножитель, содержащий осветитель с коллиматором, систему зеркал и выходную систему регистрации, отличающийс тем, что, с целью повышени точности измерени клиновидностн объекта, размещенного в нространстве меладу зеркалами, за коллиматором установлена диафрагма с двум отверсти ми, ортогональна проекци одного из которых на плоскость, перпендикул рную главному сечению объекта, перекрыта следом объекта на этой плоскости, а проекци другого отверсти лежит вне указанного следа.
-1Z
|;4N4VNVxXV NSXX v
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU312166A1 true SU312166A1 (ru) |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2913984B2 (ja) | 傾斜角測定装置 | |
EP0632292B1 (en) | Velocimeter and position information detection apparatus | |
JPH073344B2 (ja) | エンコ−ダ− | |
JPH05322911A (ja) | ドップラー速度計及び変位情報検出装置 | |
CA2033194A1 (en) | Wavelength detecting apparatus | |
US20070146724A1 (en) | Vibration-resistant interferometer apparatus | |
JPH0652170B2 (ja) | 光結像式非接触位置測定装置 | |
CN109975990A (zh) | 一种4f系统精确调节装置和调节方法 | |
SU312166A1 (ru) | Зеркальный умножитель | |
JPH06288735A (ja) | 放物面鏡形状検査測定用の位相共役干渉計 | |
JP3044865B2 (ja) | 変位情報検出装置及び速度計 | |
JPH07294231A (ja) | 光学式表面粗度計 | |
JPS60253945A (ja) | 形状測定装置 | |
CN115755420B (zh) | 一种衍射光栅干涉光路合束装置及方法 | |
CN218066329U (zh) | 一种超长距离高精度微纳位移测量装置 | |
CN115388765B (zh) | 用于椭偏量测系统的自动聚焦装置 | |
JP2990891B2 (ja) | 変位情報検出装置及び速度計 | |
EP0458274B1 (en) | Apparatus and method for detecting an information of the displacement of an object. | |
US5256885A (en) | Doppler velocimeter having a diffraction grating and dual lens groups with identical focal distances | |
JP2014085158A (ja) | 透明体の平行度測定装置および透明体の平行度測定方法 | |
RU2621477C1 (ru) | Способ определения пространственного положения пучка инфракрасного излучения | |
SU1582039A1 (ru) | Устройство дл определени положени фокальной плоскости объектива | |
US5099116A (en) | Optical device for measuring displacement | |
RU166346U1 (ru) | Инфракрасное лазерное устройство | |
JPH07169071A (ja) | 焦点エラー検出用光ピックアップシステム |