SU284308A1 - OPTICAL DEVICE FOR PROJECTION CONTROL OF DETAIL LINEAR SIZES - Google Patents

OPTICAL DEVICE FOR PROJECTION CONTROL OF DETAIL LINEAR SIZES

Info

Publication number
SU284308A1
SU284308A1 SU1362522A SU1362522A SU284308A1 SU 284308 A1 SU284308 A1 SU 284308A1 SU 1362522 A SU1362522 A SU 1362522A SU 1362522 A SU1362522 A SU 1362522A SU 284308 A1 SU284308 A1 SU 284308A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
optical device
photodetector
increase
optical
projection control
Prior art date
Application number
SU1362522A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Д. Д. Артамонов Ю. Г. Городецкий
Original Assignee
Всесоюзный научно исследовательский конструкторско технологический
институт подшипниковой промышленности
Publication of SU284308A1 publication Critical patent/SU284308A1/en

Links

Description

Насто щее изобретение относитс  к области измерительной техники и может быть ЕСПОЛЬзовано , в частности, -при автоматическом контроле раз меров. Известно оптическое устройство дл  Проекц|ио«ного контрол  линейных размеров деталей , Содержащее источник света, Освещающий контролируемую деталь, систему оптического увеличени  изображени  детали, зеркала дл  Совмещени  изображений ПротиВоположных учаСтков границ контролируемой детали и )рвгист1рируЮЩий узел. С целью повышени  точности конт|рол  в предлагаемом устройстве сиютема ю-птического увеличени  изображени  детали выполнена двухступенчатой и анаморфотной и состоит из микроскола и цилиндрических линз, установленных в ходе Световых лучей таким образом , чтобы дать большое увеличение изображени  (предмета вдоль линии измерени , например 1000-, и малое, например близкое к , в 1пе рпендикул рном ей натаравленин, а В качестве регистрирующего узла использован фотоприемник. Дл  повышени  стабильности работы устройства фотоириемниК может быть включен в мостовую схему с уравновешивающим плечом , содерл ащим компенсационный фотоприемник . На чертеже показана схема описываемого устройства. Устройство содержит источник света /, ОСвещающий контролируемую деталь 2, систему оптического увеличени  изображени  детали , зеркала 3 дл  совмещени  изображений противоположных учаСтков границ контролируемой детали и регистрирующий узел 4, в качестве которого испольЗОван фотоприемник. Система оптического увеличени  изображени  детали выполнена двухступенчатой и анаморфотной и состоит из миКрОСкойа (объективы 5 и б) и цилиндрических Л1инз 7, 8, 9 и 10, установленных в ходе световых лучей таким образо.м, чтобы дать большое увеличение изображени  предмета вдоль лвнии измерени , например 1000-, и малое, например близкое к 1-, в перпендикул рном ей направлении . ФотоприеМНик может быть включен в мостовую Схему с уравновешивающим плечом, содержащим компенсационный фотоприемник (мостова  схема не показана). Устройство работает следуЮЩим образом. Источник света создает равномерную оовещенность .плоскости детали, а система оптичеlOKoro увеличени  проектирует деиСтвительное увеличенное изображение предмета. Это изображение оптически разрезаетс  при помощи зеркала, и границы свод тс  на фотоприемнике , пОМещенном в плоскости изображени  11, образуетс  темНа  полоса, ширина которой пропорциональна изменению контролируемого размера.The present invention relates to the field of measurement technology and can be USED, in particular, for the automatic control of dimensions. An optical device for projecting the linear dimensions of parts, containing a source of light, illuminating a controlled part, an optical image magnification system of a part, mirrors for combining images of opposite parts of a monitored part and a hub, is known. In order to increase the accuracy, the control in the proposed device, the zoom of the detail image is made two-stage and anamorphic and consists of a micro-chip and cylindrical lenses installed during the Light rays in such a way as to give a large magnification of the image (object along the measurement line, for example 1000 -, and small, for example, close to, in the first line it is nataravlenin, and a photodetector is used as a recording unit. To improve the operation stability of the device, the photo recorder can be b is included in the bridge circuit with a balancing arm containing a compensating photodetector. The drawing shows the circuit of the device being described. node 4, in which the photodetector is used. The optical zoom system of the part is made in two stages and anamorphic from mikroskoy (lenses 5 and b) and cylindrical lenses 7, 8, 9 and 10, installed in the course of the light rays in such a way as to give a large magnification of the image of the object along the surface of the measurement, for example 1000, and small, for example, close to 1 - in the direction perpendicular to it. A photosensor can be included in a bridge circuit with a balancing arm containing a compensating photodetector (the bridge circuit is not shown). The device works as follows. The light source creates a uniform annotation. The part planes, and the zoom optical system designs the actual magnified image of the object. This image is optically cut by a mirror, and the boundaries are reduced on a photodetector, placed in the image plane 11, a dark band is formed, the width of which is proportional to the change in the size being monitored.

Фототриемник преобразует ширину полосы в электрический сигнал.The photoreceiver converts bandwidth into an electrical signal.

Границы увеличенного изображени  детали несколько не довод тс  до оптической оси, и номиналу контролируемого размера соответствует черна  лолоса .некоторой ширины. При отклонении от номинала полоса суживаетс  или расшир етс , контраст ее однозначен.The boundaries of the enlarged image of the part are somewhat not adjusted to the optical axis, and the nominal size to be monitored corresponds to a black lolos of some width. In the event of a deviation from the nominal, the band narrows or widens, its contrast is unambiguous.

Предмет и з о б р е т е н и  Subject and title

Claims (2)

1. Оптическое устройство дл  гароекционного контрол  линейных размеров деталей, содержащее источник света, освещающий контролируемую деталь, систему оптического увеличени  изо:бражени  детали, зеркала дл 1. An optical device for the harmonic control of the linear dimensions of parts, containing a light source illuminating the part being monitored, an optical zoom system from: a part, a mirror for совмещени  изображений противоположныхcombining images of opposite участков гра иц контролируемой детали и регистрирующий узел, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности контрол , система оптического увеличени  изображанн-и  детали выполнена двухступенчатой и анаморфотной и состоит из адикроскопа и цилиндрических линз, установленных в ходе световых лучей так, чтобы дать большое увеличениеsections of the controlled part of the detail and the registering node, characterized in that, in order to increase the control accuracy, the optical zoom system is depicted and the parts are made in two stages and anamorphic and consist of an adicroscope and cylindrical lenses installed during the light rays so as to give a large increase изображени  предмета вдоль линии изимерени , например 1000, и малое, например близкое к 1, в перпендикул рном ей наП:равлении , а в качестве регист|рирующе,го узла иопол ьзов ан фотапр ием н и к.images of the object along the line of isimer, for example, 1000, and small, for example, close to 1, in its perpendicular direction, and as a registering node, and using an image. 2. Оптическое устройство по п. 1, отличающеес  тем, что, с целью повышени  стабильности работы уст ройства, фотоприемник включен в мостовую схему с уравновешивающим плечом, содержащим комиенсациоиный фотоприемник .2. An optical device according to claim 1, characterized in that, in order to increase the stability of the device, a photodetector is included in a bridge circuit with a balancing arm containing a com- monzioin photodetector.
SU1362522A OPTICAL DEVICE FOR PROJECTION CONTROL OF DETAIL LINEAR SIZES SU284308A1 (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU284308A1 true SU284308A1 (en)

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101999906B1 (en) Amplitude monitoring system, focusing and leveling device, and defocusing amount detection method
US4769530A (en) Focusing degree-detecting device with a reduction optical system
SU284308A1 (en) OPTICAL DEVICE FOR PROJECTION CONTROL OF DETAIL LINEAR SIZES
KR970018644A (en) Aligner using CD camera in exposure equipment
JP2542754B2 (en) Positioning method and apparatus for probe for electric field measurement of integrated circuit
FR2502354A1 (en) AUTOMATIC FOCUSING APPARATUS FOR A VIEWING APPARATUS SUCH AS A VARIABLE FOCAL TELEVISION CAMERA
US4183641A (en) Focus detecting device
JPH11304651A (en) Lens inspecting method
SU699477A1 (en) Device for monitoring the operation of jump mechanism in motion-picture camera
JP3061758B2 (en) Automatic focusing device for microscope
SU1532808A2 (en) Device for monitoring linear dimensions
JP2847933B2 (en) Reader printer
SU257794A1 (en) AUTO-COLLIMATION SHADOW DEVICE
SU809030A1 (en) Device for monitoring film axial instability in motoion picture cameras
SU261560A1 (en) AUTO-COLLIMATION SYSTEM FOR RECORDING VARIABLE PARAMETERS
JPH11304652A (en) Lens inspecting device
JPH11304650A (en) Lens inspecting device with device for adjusting quantity of light
SU236779A1 (en) OPTICAL ELECTRONIC THIN-MEASURING DEVICE
SU883840A1 (en) Optical electronic device for sperimposing lens focal plane with preset plane
JP2815463B2 (en) Optical measuring device
SU164964A1 (en) LIGHT PROJECTION PHOTODAL NUMBER
SU177634A1 (en) DEVICE FOR MEASUREMENT OF DEVELOPMENT DIMENSIONS OF PRODUCTS FROM NOMINAL
KR100194619B1 (en) Wafer autofocusing device and autofocusing method using external optical feedback method of semiconductor laser
SU211825A1 (en) PHOTOELECTRIC DEVICE FOR RESEARCH
SU1076862A1 (en) Device for automatic lens focusing