SU284308A1 - OPTICAL DEVICE FOR PROJECTION CONTROL OF DETAIL LINEAR SIZES - Google Patents
OPTICAL DEVICE FOR PROJECTION CONTROL OF DETAIL LINEAR SIZESInfo
- Publication number
- SU284308A1 SU284308A1 SU1362522A SU1362522A SU284308A1 SU 284308 A1 SU284308 A1 SU 284308A1 SU 1362522 A SU1362522 A SU 1362522A SU 1362522 A SU1362522 A SU 1362522A SU 284308 A1 SU284308 A1 SU 284308A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- optical device
- photodetector
- increase
- optical
- projection control
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 title claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
Description
Насто щее изобретение относитс к области измерительной техники и может быть ЕСПОЛЬзовано , в частности, -при автоматическом контроле раз меров. Известно оптическое устройство дл Проекц|ио«ного контрол линейных размеров деталей , Содержащее источник света, Освещающий контролируемую деталь, систему оптического увеличени изображени детали, зеркала дл Совмещени изображений ПротиВоположных учаСтков границ контролируемой детали и )рвгист1рируЮЩий узел. С целью повышени точности конт|рол в предлагаемом устройстве сиютема ю-птического увеличени изображени детали выполнена двухступенчатой и анаморфотной и состоит из микроскола и цилиндрических линз, установленных в ходе Световых лучей таким образом , чтобы дать большое увеличение изображени (предмета вдоль линии измерени , например 1000-, и малое, например близкое к , в 1пе рпендикул рном ей натаравленин, а В качестве регистрирующего узла использован фотоприемник. Дл повышени стабильности работы устройства фотоириемниК может быть включен в мостовую схему с уравновешивающим плечом , содерл ащим компенсационный фотоприемник . На чертеже показана схема описываемого устройства. Устройство содержит источник света /, ОСвещающий контролируемую деталь 2, систему оптического увеличени изображени детали , зеркала 3 дл совмещени изображений противоположных учаСтков границ контролируемой детали и регистрирующий узел 4, в качестве которого испольЗОван фотоприемник. Система оптического увеличени изображени детали выполнена двухступенчатой и анаморфотной и состоит из миКрОСкойа (объективы 5 и б) и цилиндрических Л1инз 7, 8, 9 и 10, установленных в ходе световых лучей таким образо.м, чтобы дать большое увеличение изображени предмета вдоль лвнии измерени , например 1000-, и малое, например близкое к 1-, в перпендикул рном ей направлении . ФотоприеМНик может быть включен в мостовую Схему с уравновешивающим плечом, содержащим компенсационный фотоприемник (мостова схема не показана). Устройство работает следуЮЩим образом. Источник света создает равномерную оовещенность .плоскости детали, а система оптичеlOKoro увеличени проектирует деиСтвительное увеличенное изображение предмета. Это изображение оптически разрезаетс при помощи зеркала, и границы свод тс на фотоприемнике , пОМещенном в плоскости изображени 11, образуетс темНа полоса, ширина которой пропорциональна изменению контролируемого размера.The present invention relates to the field of measurement technology and can be USED, in particular, for the automatic control of dimensions. An optical device for projecting the linear dimensions of parts, containing a source of light, illuminating a controlled part, an optical image magnification system of a part, mirrors for combining images of opposite parts of a monitored part and a hub, is known. In order to increase the accuracy, the control in the proposed device, the zoom of the detail image is made two-stage and anamorphic and consists of a micro-chip and cylindrical lenses installed during the Light rays in such a way as to give a large magnification of the image (object along the measurement line, for example 1000 -, and small, for example, close to, in the first line it is nataravlenin, and a photodetector is used as a recording unit. To improve the operation stability of the device, the photo recorder can be b is included in the bridge circuit with a balancing arm containing a compensating photodetector. The drawing shows the circuit of the device being described. node 4, in which the photodetector is used. The optical zoom system of the part is made in two stages and anamorphic from mikroskoy (lenses 5 and b) and cylindrical lenses 7, 8, 9 and 10, installed in the course of the light rays in such a way as to give a large magnification of the image of the object along the surface of the measurement, for example 1000, and small, for example, close to 1 - in the direction perpendicular to it. A photosensor can be included in a bridge circuit with a balancing arm containing a compensating photodetector (the bridge circuit is not shown). The device works as follows. The light source creates a uniform annotation. The part planes, and the zoom optical system designs the actual magnified image of the object. This image is optically cut by a mirror, and the boundaries are reduced on a photodetector, placed in the image plane 11, a dark band is formed, the width of which is proportional to the change in the size being monitored.
Фототриемник преобразует ширину полосы в электрический сигнал.The photoreceiver converts bandwidth into an electrical signal.
Границы увеличенного изображени детали несколько не довод тс до оптической оси, и номиналу контролируемого размера соответствует черна лолоса .некоторой ширины. При отклонении от номинала полоса суживаетс или расшир етс , контраст ее однозначен.The boundaries of the enlarged image of the part are somewhat not adjusted to the optical axis, and the nominal size to be monitored corresponds to a black lolos of some width. In the event of a deviation from the nominal, the band narrows or widens, its contrast is unambiguous.
Предмет и з о б р е т е н и Subject and title
Claims (2)
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU284308A1 true SU284308A1 (en) |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101999906B1 (en) | Amplitude monitoring system, focusing and leveling device, and defocusing amount detection method | |
US4769530A (en) | Focusing degree-detecting device with a reduction optical system | |
SU284308A1 (en) | OPTICAL DEVICE FOR PROJECTION CONTROL OF DETAIL LINEAR SIZES | |
KR970018644A (en) | Aligner using CD camera in exposure equipment | |
JP2542754B2 (en) | Positioning method and apparatus for probe for electric field measurement of integrated circuit | |
FR2502354A1 (en) | AUTOMATIC FOCUSING APPARATUS FOR A VIEWING APPARATUS SUCH AS A VARIABLE FOCAL TELEVISION CAMERA | |
US4183641A (en) | Focus detecting device | |
JPH11304651A (en) | Lens inspecting method | |
SU699477A1 (en) | Device for monitoring the operation of jump mechanism in motion-picture camera | |
JP3061758B2 (en) | Automatic focusing device for microscope | |
SU1532808A2 (en) | Device for monitoring linear dimensions | |
JP2847933B2 (en) | Reader printer | |
SU257794A1 (en) | AUTO-COLLIMATION SHADOW DEVICE | |
SU809030A1 (en) | Device for monitoring film axial instability in motoion picture cameras | |
SU261560A1 (en) | AUTO-COLLIMATION SYSTEM FOR RECORDING VARIABLE PARAMETERS | |
JPH11304652A (en) | Lens inspecting device | |
JPH11304650A (en) | Lens inspecting device with device for adjusting quantity of light | |
SU236779A1 (en) | OPTICAL ELECTRONIC THIN-MEASURING DEVICE | |
SU883840A1 (en) | Optical electronic device for sperimposing lens focal plane with preset plane | |
JP2815463B2 (en) | Optical measuring device | |
SU164964A1 (en) | LIGHT PROJECTION PHOTODAL NUMBER | |
SU177634A1 (en) | DEVICE FOR MEASUREMENT OF DEVELOPMENT DIMENSIONS OF PRODUCTS FROM NOMINAL | |
KR100194619B1 (en) | Wafer autofocusing device and autofocusing method using external optical feedback method of semiconductor laser | |
SU211825A1 (en) | PHOTOELECTRIC DEVICE FOR RESEARCH | |
SU1076862A1 (en) | Device for automatic lens focusing |