SU284306A1 - Двухлучевой интерферометр для измерения линейных перемещений - Google Patents

Двухлучевой интерферометр для измерения линейных перемещений

Info

Publication number
SU284306A1
SU284306A1 SU1359966A SU1359966A SU284306A1 SU 284306 A1 SU284306 A1 SU 284306A1 SU 1359966 A SU1359966 A SU 1359966A SU 1359966 A SU1359966 A SU 1359966A SU 284306 A1 SU284306 A1 SU 284306A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
interferometer
double
linear displacements
measuring linear
block
Prior art date
Application number
SU1359966A
Other languages
English (en)
Original Assignee
М. Л. Бржезинский , Г. В. Симахина
Publication of SU284306A1 publication Critical patent/SU284306A1/ru

Links

Description

Насто щее изобретение относитс  к области И31мерительной техники и может найти применение дл  измерени  длин, деформаций и других аналогмчных величин. Известен двухлучевой интерферометр дл  измерени  линейных -перемещений, построенный по схеме Майкельсона и содержащий основание , источник Монохроматического Света, коллиматор, зеркала, полупрозрачную пластину дл  разделени  светового пучка ма две ветви и наблюдательную систему. С целью повыгнени  точности и расширени  дианазона измерени  предлагаемый двухлучевой интерферометр снабжен двум  парами регулируемых между собой блоков отражательных призм, расположенных иа основании во взаимно перпендикул рных (Плоскост х, и -плоским зеркалом с отверстием, установленным в одной из ;ветвей интерферометра. Па чертеже показана схеу.а олисываемого двухлучевого интерферометра. Интерферометр содержит основание /, источник монохроматического с,вета 2, коллиматор 3, зеркала 4-10, полупрозрачную пластину 11 дл  разделени  световогс пучка на две ветви и наблюдательную систему 12. Две пары регулируемых между собой блоков , отражательных призм 13-16, расположены на основании во 1ВзаимНо перпендикул рных плоскост х, а плоское зеркало J7 с отверстием установлено в одной из ветвей интерферометра . Работает интерферометр следующим образом . Свет от источника направл етс  в коллиматор , выходит из него параллельным пучком, зеркалом 4 направл етс  на пластину, где делитс  на два пучка. Один из пучков падает ь;а зеркало 6, установленное на подвижной регулируемой платформе 18, а второй пучок зеркалами 7, 8 и призмами 13 направл етс  на призму 14. После многократного отражени  этот .пучО|К возвращаетс  в пластину, интерфериру  с Пучком ветвп зеркала 6. Интерференционна  картина повыщенной чувствительности наблюдаетс  в системе 12. Провер емый прибор 19 своим наконечником может контактировать с торцовой плоскостью каретки 20, и тогда провер ют inorpemность его показаний при вертикальном положении . Если же он своим наконечником контактирует с кареткой 21, то происходит его проверка в горизонтально плоскости. Предмет изобретени  Двухлучевой интерферометр дл  измерени  линейных перемещений, построенный по схеме Майкельсона и с-одержащий основание, источник .монохроматического света, коллиматор , зе(ркала, полупрозрэчную пластину дл  разделени  светового пучка на две венви и наблюдательную систему, отличающийс  тем, что, С целью повышени  точиости и расширени  диапазона измерени , он снабжен двум 
парами регулируемых между собой блоков отражательных призм, рдапвложенных на ODHOваиии Бо; вз8ШЙ5 ,пер|пщ1ди:14л рных плоскост х , н илоскчм зеркало1М с отверстием, установленным в одной ИЗ 1ветвей интерферометра
SU1359966A Двухлучевой интерферометр для измерения линейных перемещений SU284306A1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU284306A1 true SU284306A1 (ru)

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4784490A (en) High thermal stability plane mirror interferometer
US5596409A (en) Associated dual interferometric measurement method for determining a physical property of an object
EP0733877A2 (en) Associated dual interferometric measurement apparatus and method
KR101959341B1 (ko) 위치 측정 장치와 복수의 위치 측정 장치를 구비하는 시스템
US6226092B1 (en) Full-field geometrically desensitized interferometer using refractive optics
US5995224A (en) Full-field geometrically-desensitized interferometer employing diffractive and conventional optics
JPH03504643A (ja) 偏光干渉計
CN112444194B (zh) 二自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法和六自由度干涉仪
SU284306A1 (ru) Двухлучевой интерферометр для измерения линейных перемещений
GB2301885A (en) Fabry-perot interferometric strain measurement
CN110274551B (zh) 一种基于白光零差干涉的高灵敏表面形貌测量系统
KR100996294B1 (ko) 마이켈슨 간섭계를 이용한 익스텐소미터
CA2552465C (en) Optical apparatus and method for distance measuring
US7502121B1 (en) Temperature insensitive low coherence based optical metrology for nondestructive characterization of physical characteristics of materials
Franze et al. Multiple wavelengths in oblique-incidence interferometer for rough-surface measurement using laser diodes
Doerband High precision testing of optical components
RU2769885C1 (ru) Устройство для измерения деформации
SU1163140A1 (ru) Устройство дл измерени линейных размеров детали
Shafir et al. Thermally independent fibre optic absolute distance measurement system based on white light interferometry
Bitou et al. High-precision, low-coherence Fizeau interferometer using a pulsed laser diode for measurement of transparent plates
JPH03156305A (ja) 非球面形状測定装置
SU1270555A1 (ru) Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций
Kozhevatov et al. Interferometric methods for surface testing. high-order white-light interferometer
SU712654A1 (ru) Интерферометр
KR890002568B1 (ko) 구조물의 시험에 있어서 평면 변형율 측정 방법과 장치