SU284306A1 - Двухлучевой интерферометр для измерения линейных перемещений - Google Patents
Двухлучевой интерферометр для измерения линейных перемещенийInfo
- Publication number
- SU284306A1 SU284306A1 SU1359966A SU1359966A SU284306A1 SU 284306 A1 SU284306 A1 SU 284306A1 SU 1359966 A SU1359966 A SU 1359966A SU 1359966 A SU1359966 A SU 1359966A SU 284306 A1 SU284306 A1 SU 284306A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- double
- linear displacements
- measuring linear
- block
- Prior art date
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title description 3
- 230000002452 interceptive Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Description
Насто щее изобретение относитс к области И31мерительной техники и может найти применение дл измерени длин, деформаций и других аналогмчных величин. Известен двухлучевой интерферометр дл измерени линейных -перемещений, построенный по схеме Майкельсона и содержащий основание , источник Монохроматического Света, коллиматор, зеркала, полупрозрачную пластину дл разделени светового пучка ма две ветви и наблюдательную систему. С целью повыгнени точности и расширени дианазона измерени предлагаемый двухлучевой интерферометр снабжен двум парами регулируемых между собой блоков отражательных призм, расположенных иа основании во взаимно перпендикул рных (Плоскост х, и -плоским зеркалом с отверстием, установленным в одной из ;ветвей интерферометра. Па чертеже показана схеу.а олисываемого двухлучевого интерферометра. Интерферометр содержит основание /, источник монохроматического с,вета 2, коллиматор 3, зеркала 4-10, полупрозрачную пластину 11 дл разделени световогс пучка на две ветви и наблюдательную систему 12. Две пары регулируемых между собой блоков , отражательных призм 13-16, расположены на основании во 1ВзаимНо перпендикул рных плоскост х, а плоское зеркало J7 с отверстием установлено в одной из ветвей интерферометра . Работает интерферометр следующим образом . Свет от источника направл етс в коллиматор , выходит из него параллельным пучком, зеркалом 4 направл етс на пластину, где делитс на два пучка. Один из пучков падает ь;а зеркало 6, установленное на подвижной регулируемой платформе 18, а второй пучок зеркалами 7, 8 и призмами 13 направл етс на призму 14. После многократного отражени этот .пучО|К возвращаетс в пластину, интерфериру с Пучком ветвп зеркала 6. Интерференционна картина повыщенной чувствительности наблюдаетс в системе 12. Провер емый прибор 19 своим наконечником может контактировать с торцовой плоскостью каретки 20, и тогда провер ют inorpemность его показаний при вертикальном положении . Если же он своим наконечником контактирует с кареткой 21, то происходит его проверка в горизонтально плоскости. Предмет изобретени Двухлучевой интерферометр дл измерени линейных перемещений, построенный по схеме Майкельсона и с-одержащий основание, источник .монохроматического света, коллиматор , зе(ркала, полупрозрэчную пластину дл разделени светового пучка на две венви и наблюдательную систему, отличающийс тем, что, С целью повышени точиости и расширени диапазона измерени , он снабжен двум
парами регулируемых между собой блоков отражательных призм, рдапвложенных на ODHOваиии Бо; вз8ШЙ5 ,пер|пщ1ди:14л рных плоскост х , н илоскчм зеркало1М с отверстием, установленным в одной ИЗ 1ветвей интерферометра
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU284306A1 true SU284306A1 (ru) |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4784490A (en) | High thermal stability plane mirror interferometer | |
US5596409A (en) | Associated dual interferometric measurement method for determining a physical property of an object | |
EP0733877A2 (en) | Associated dual interferometric measurement apparatus and method | |
KR101959341B1 (ko) | 위치 측정 장치와 복수의 위치 측정 장치를 구비하는 시스템 | |
US6226092B1 (en) | Full-field geometrically desensitized interferometer using refractive optics | |
US5995224A (en) | Full-field geometrically-desensitized interferometer employing diffractive and conventional optics | |
JPH03504643A (ja) | 偏光干渉計 | |
CN112444194B (zh) | 二自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法和六自由度干涉仪 | |
SU284306A1 (ru) | Двухлучевой интерферометр для измерения линейных перемещений | |
GB2301885A (en) | Fabry-perot interferometric strain measurement | |
CN110274551B (zh) | 一种基于白光零差干涉的高灵敏表面形貌测量系统 | |
KR100996294B1 (ko) | 마이켈슨 간섭계를 이용한 익스텐소미터 | |
CA2552465C (en) | Optical apparatus and method for distance measuring | |
US7502121B1 (en) | Temperature insensitive low coherence based optical metrology for nondestructive characterization of physical characteristics of materials | |
Franze et al. | Multiple wavelengths in oblique-incidence interferometer for rough-surface measurement using laser diodes | |
Doerband | High precision testing of optical components | |
RU2769885C1 (ru) | Устройство для измерения деформации | |
SU1163140A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров детали | |
Shafir et al. | Thermally independent fibre optic absolute distance measurement system based on white light interferometry | |
Bitou et al. | High-precision, low-coherence Fizeau interferometer using a pulsed laser diode for measurement of transparent plates | |
JPH03156305A (ja) | 非球面形状測定装置 | |
SU1270555A1 (ru) | Лазерный интерферометр дл измерени динамических деформаций | |
Kozhevatov et al. | Interferometric methods for surface testing. high-order white-light interferometer | |
SU712654A1 (ru) | Интерферометр | |
KR890002568B1 (ko) | 구조물의 시험에 있어서 평면 변형율 측정 방법과 장치 |