SU271430A1

SU271430A1 - IONIZATION MANOL1IR SENSOR FOR MEASURING A SUPERHIGH VACUUM

Info

Publication number: SU271430A1
Application number: SU1155048A
Authority: SU
Inventors: Януш Грошковски Иностранец; Пародна Республика Польска; фирма Политехника Варшавска Пностранна

Description

Изобретение относитс к области измерени оверхвысокого вакуума ионизационными манометрическими датчиками типа Бай рдаАльперта , работающими ниже рентгеновского предела ( тор). Конструкци ионизационного манометрического датчика Бай рда-Альеерта непрерывно совершенствуетс с целью расширени ижнего предела измерений и повышени чувствительности. Пижний предел измерений определ етс величиной фоновых коллекторных токов, обусловленных фотоэлектронной эмиссией с коллектора.The invention relates to the field of measurement of over-high vacuum ionization pressure sensors of the type Bai Rda Alpert, operating below the x-ray limit (torus). The design of the Baird-Aliert ionization gauge sensor is continuously being improved to extend the maximum measurement range and increase sensitivity. The pizhny measurement limit is determined by the magnitude of the background collector currents caused by photoelectron emission from the collector.

Пежелательный фототок может быть обусловлен излучением от следуюш;их источников: от пр мого наружного освещени аппаратуры; от накаленного катода; от рентгеновских лучей, испускаемых сеткой нод воздействием электронной бомбардировки.An incident photocurrent can be caused by radiation from the following; their sources: from direct outdoor illumination of the equipment; from the heated cathode; from the X-rays emitted by the grid of the nodes by the impact of electronic bombardment.

Известные конструкции ионизационных манометрических датчиков содержат катод, аиодную цилиндрическую сетку с торцовой крышкой и удаленный коллектор, окруженный экраном. Однако эти датчики имеют малую чувствительность, сложную систему электродов , затрудн ющих их полную дегазацию, сложные измерени и т. п.Known designs of ionization gauge sensors contain a cathode, a cylindrical grid with an end cap and a remote collector surrounded by a screen. However, these sensors have low sensitivity, a complex system of electrodes that impede their complete degassing, complicated measurements, etc.

С целью снижени фотоэлектронного тока и повышени чувствительности в предлагаемом датчике анодна цилиндрическа сетка снабжена дополнительной торцовой крышкой.In order to reduce the photoelectron current and increase the sensitivity in the proposed sensor, the anodic cylindrical grid is provided with an additional end cap.

выполненной в .виде сетки или металлической пластины, с отверстием дл выхода ионов; дополнительна торцова крышка снабжена экраном с внешним диаметром, равным внутреннему диаметру колбы, что обеспечивает экранирование коллектора от видимого излучени катода.made in the form of a mesh or metal plate with an opening for the release of ions; the additional end cap is provided with a screen with an outer diameter equal to the inner diameter of the bulb, which provides shielding of the collector from visible radiation of the cathode.

С целью защиты коллектора от излучени , возникающего от торцовой крышки, и возможности использовани модул ционного способа измерени вакуума между отверстием ионизационной камеры и коллектором установлен дополнительный экран. С целью обезгаживани экрана, окружающего коллектор, последнийIn order to protect the collector from radiation arising from the end cover and the possibility of using a modulation method of vacuum measurement, an additional screen is installed between the opening of the ionization chamber and the collector. In order to defuse the screen surrounding the collector, the latter

выполнен в виде термокатода.made in the form of a thermal cathode.

Па фиг. 1 изображен предлагаемый продольный разрез датчика; на фиг. 2 - схема установки экрана к торцовой крышке; на фиг. 3 - схема установки дополнительного экрана .Pa figs. 1 shows the proposed longitudinal section of the sensor; in fig. 2 - diagram of the installation of the screen to the end cover; in fig. 3 - installation of an additional screen.

Предлагаемый датчик состоит из анодной цилиндрической сетки (анода) / с торцовой крышкой 2 и дополнительной торцовой крышкой 3, выполненной в виде сетки (фиг. 1 и 2)The proposed sensor consists of an anodic cylindrical grid (anode) / with an end cover 2 and an additional end cover 3, made in the form of a grid (Fig. 1 and 2)

или металлической пластины (фиг. 3), которые образуЕОт закрытую ионизационную камеру с отверстием 4 дл выхода ионов; катода 5, удаленного коллектора 6, окруженного экраном 7, выполненным из металла (см. фиг. 1or a metal plate (FIG. 3), which forms a closed ionization chamber with an opening 4 for the release of ions; the cathode 5, the remote collector 6, surrounded by a screen 7 made of metal (see Fig. 1

На фиг. 2 показана схема установки экрана 9 к торцовой крышке 3.FIG. 2 shows the installation of the screen 9 to the end cover 3.

На фиг. 3 показана схема установки дополнительного экрана 10 между отверстием 4 ионизационной камеры и коллектором, выполвенным в виде термокатода 11.FIG. 3 shows the installation of an additional screen 10 between the hole 4 of the ionization chamber and the collector, performed in the form of a thermal cathode 11.

Датчик работает следующим образом. Под воздействием электронов, испускаемых катодом 5, в ионизационной камере происходит ионизаци газа. Положительные ионы, созданные в камере, концентраци которых пропорциональна давлению газа, выход т через отверстие 4 в сторону удаленного коллектора 6, потенциал которою ниже потенциала анода 1. Коллекторный ток (ток положительных ионов) служит мерой вакуума.The sensor works as follows. Under the influence of electrons emitted by the cathode 5, gas is ionized in the ionization chamber. Positive ions created in the chamber, the concentration of which is proportional to the gas pressure, exit through the opening 4 to the side of the remote collector 6, the potential of which is lower than the potential of the anode 1. The collector current (positive ion current) serves as a measure of vacuum.

За счет ирименени дополнительных экранов , уменьшени габаритов коллектора 6 и расположени его снаружи ионизационной камеры , против отверсти 4, действие рентгеновских лучей анода 1 на коллектор 6 значительно уменьшаетс .Due to the introduction of additional screens, the reduction of the dimensions of the collector 6 and its location outside the ionization chamber, against the opening 4, the effect of the x-rays of the anode 1 on the collector 6 is significantly reduced.

В тех случа х, когда торцова крышка 3 выполнена из металла (см. фиг. 3) или, если примен етс дополнительный экран 9 с внешним диаметром, равным внутреннему диаметру колбы 8 (см. фиг. 2), то коллектор 6 экранируетс от видимого излучени катода 5.In cases where the end cap 3 is made of metal (see Fig. 3) or, if an additional screen 9 is used with an external diameter equal to the internal diameter of the bulb 8 (see Fig. 2), then the collector 6 is shielded from the visible cathode radiation 5.

Дл обезгаживани экрана 7 путем электронной бомбардировки коллектор 6 выполн етс в виде термокатода 11 (см. фиг. 3). Дл дальнейшего уменьшени действи рентгеновских лучей на термокатод-коллектор 11, возникающего от торцовой крышки 3, может бытьTo defuse the screen 7 by electron bombardment, the collector 6 is made in the form of a thermal cathode 11 (see Fig. 3). To further reduce the effect of X-rays on the thermal cathode collector 11 arising from the end cap 3,

применен дополнительный экран 10 (см. фиг. 3).applied additional screen 10 (see Fig. 3).

Экраны 9 и 10 могут быть использованы в качестве модул торов при модул ционном способе измерени вакуума.Screens 9 and 10 can be used as modulators in the modulation method of vacuum measurement.

Предмет изобретени Subject invention

1.Ионизационный манометрический датчик дл измереии сверхвысокого вакуума, содержащий катод, анодную цилиндрическую сетку с торцовой крышкой и удаленный коллектор , окруженный экраном, отличающийс тем, что, с целью снижени фотоэлектронного тока и новыщени чувствительности, анодна цилиндрическа сетка сиабжена дополнительной торцовой крышкой, выполненной в виде сетки или металлической пластины, с отверстием дл выхода ионов.1. An ionization gauge sensor for measuring ultrahigh vacuum, containing a cathode, an anodic cylindrical mesh with an end cap and a remote collector surrounded by a screen, characterized in that, in order to reduce photoelectron current and increase sensitivity, the anodic cylindrical mesh of a sabragna with an additional end cap made in in the form of a grid or metal plate, with a hole for the release of ions.

2.Датчик по н. 1, отличающийс тем, что, с целью экранировани коллектора от видимого излучени катода, дополнительна торцова крышка снабжена экраном с внешним диаметром , равным внутрепиему диаметру колбы.2. Sensor by n. 1, characterized in that, in order to shield the collector from the visible radiation of the cathode, the additional end cap is provided with a screen with an external diameter equal to the inside diameter of the flask.

3.Датчик по пп. i и 2, отличающийс тем, что, с целью защиты коллектора от излучени , возникающего от торцовой крышки и возможности использовани модул ционного способа измерени вакуума, меж;ду отверстием иоиизационной камеры и коллектором установлен дополнительный экран.3. The sensor PP. i and 2, characterized in that, in order to protect the collector from radiation arising from the end cover and the possibility of using a modulation method of vacuum measurement, an additional screen is installed between the opening of the ionizing chamber and the collector.

4.Датчик по пп. 1, 2 и 3, отличающийс тем, что, с целью обезгаживани экрана, окружающего коллектор, последний выполнен в виде термокатода.4. The sensor PP. 1, 2 and 3, characterized in that, in order to degass the screen surrounding the collector, the latter is made in the form of a thermal cathode.

Фиг /Fig /

7 7

L.L.