SU258462A1 - Способ определения резонансных частот - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к способам измерени  эксплуатационных характеристик полупроводниковых приборов.

В насто щее врем  резонансные частоты механических колебаний элементов ко струкции полупроводниковых приборов определ ют либо путем визуального наблюдени  под микроскопом , либо с помощью датчика неремещений . В том и другом случае корпус испытуемого прибора вскрывают дл  обеспечени  доступа к исследуемым элементам конструкции и удал ют в зкий наполнитель (если ол имеетс ). Элементы конструкции полупроводникового прибора поочередно размещают в поле зрени  микроскопа или в поле датчика. При1бор подвергают воздействию вибрации плавно измен ющейс  частоты. При этом путем наблюдени  амплитуды колебаний или амллитуды сигнала, поступающего с датчика, фиксируют увеличение амплитуды колебаний в момент резонанса.

Недостатками указанных способов  вл ютс  больща  трудоемкость и сложность процесса измерени , обусловленные необходимостью вскрыти  корпуса испытуемого прибора с об зательным сохранением целостности внутренних элементов.

образцах приборов, которые станов тс  непригодными дл  дальнейшего применени . того, вскрытие кориуса полупроводникового прибора не всегда осуществимо и может приводить к искажению результатов измерений .

Цель изобретени  - ускорить и удешев1ить способ определени  резонансных частот механических колебаний различных элементов

конструкции полупроводниковых приборов и, кроме того, исключить необходимость вскрыти  корпуса испытуемого прибора. Дл  осуществлени  этого контролируют переменное электрическое напр жение на Полупроводниковом приборе, подвергающемс  воздействию вибрации плавно мен ющейс  частоты, и фиксируют частоты, на которых амплитуда напр жени  возрастает. В основу способа положен эффект резкого

увеличени  электрического напр жени  «а испытуемом полупроводниковом приборе при резонансе того или иного элемента конструкции .

Определение резонансных частот производитс  следующим образом.

Испытуемый полупроводниковый прибор устанавливают на вибростенде, подк. ючают к электрической схеме, задающей электрический режим прибора и осуществл ющей усиление

пр жени  на нриборе. Лри .плавном изменении частоты вибрации фиксируют частоты, на которых амплитуда неременного .напр жени  на нриборе возрастает. Эти частоты  вл ютс  резонансными дл  каких-либо элементов конструкции иснытуемого полупроводникового прибора.

Предложенный снособ определени  резонансных частот механических колебаний полупроводниковых .нриборов применим дл  контрол  всех полупроводниковых приборов без вскрыти  их корпуса, что позвол ет упростить, ускорить и удешевить измерение резонансных частот, а также повысить достоверность результатов измерени  и сохранить прибор пригодным дл  последующего применени .

Предмет и з о б .р е т е .н и  

Способ определени  резонансных частот механических колебаний элементов конструкции полупроводниковых нриборов, основанный на воздействии на них вибрации .плавно мен ющейс  частоты, отличающийс  тем, что, с целью ускорени  и удешевлени  процесса определени  резонансных частот, повышени  достоверности результатов измерени  и сохранени  испытуемых приборов в рабочем состо нии , производ т фиксацию частот, на которых возрастает уровень переменного электрического напр жени  на полупроводниковом приборе .