SU245937A1 - Электрод-инструмент для электрохимической обработки - Google Patents
Электрод-инструмент для электрохимической обработкиInfo
- Publication number
- SU245937A1 SU245937A1 SU1251411A SU1251411A SU245937A1 SU 245937 A1 SU245937 A1 SU 245937A1 SU 1251411 A SU1251411 A SU 1251411A SU 1251411 A SU1251411 A SU 1251411A SU 245937 A1 SU245937 A1 SU 245937A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electrode
- electrode tool
- electrochemical treatment
- tool
- electrolyte
- Prior art date
Links
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Description
Известны конструкции электродов-инструментов , нерабоча поверхность которых имеет электроизол ционное покрытие.
Но в них по мере углублени электрода в деталь, вследствие протекани ионизированного электролита и из-за наличи тока утечки по электролиту происходит растравливание боковой поверхности детали. Бокова поверхность получаетс шероховатой; точность обработки невысока.
Целью насто щего изобретени вл етс повышение точности обработки.
Дл этого на нерабочей поверхности электрода-инструмента установлен изолированный от него токопровод щий экраи, к которому подведен положительный потенциал, больший, чем потенциал обрабатываемого издели .
На чертеже изображен предлагаемый электрод-инструмент.
На нерабочей поверхности электрода-инструмента / поверх изол ции 2 установлен экран 3. По мере углублени электрода в деталь электролит вытекает через боковой зазор , образованный поверхностью детали и экраном, где происходит деионизаци электролита . Так как экран имеет более высокий положительный потенциал по отношению к электроду-инструменту, чем деталь, ток утечки замыкаетс на экран 3. Таким образом, растравливани боковой новерхности детали не .происходит, что повышает точность и чистоту обработки.
Выполнение экрана из материала, стойкого к растравливанию в используемом дл обработки электролите, обеспечивает многократное использование электрода-инструмента.
Предмет изобретени
Электрод-инструмент дл электрохимической обработки, отличающийс тем, что, с целью повышени точности обработки, на нерабочей поверхности . электрода-инструмента установлен изолированный от него токопровод ший экран, к которому подведен положительный потенциал, больший чем потенциал обрабатываемого издели .
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU245937A1 true SU245937A1 (ru) |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4385971A (en) | Electrolytic etch for eliminating shorts and shunts in large area amorphous silicon solar cells | |
SU245937A1 (ru) | Электрод-инструмент для электрохимической обработки | |
GB1162648A (en) | Improvements in Electrolytic Material Removal Method | |
US2823175A (en) | Semiconductive devices | |
JPWO2022264794A5 (ru) | ||
US2258435A (en) | Electrode | |
CN107910237B (zh) | 大气压辉光放电离子源 | |
KR100563487B1 (ko) | 반도체 소자의 금속배선 형성방법 | |
KR101009183B1 (ko) | 전해가공용 전극공구 및 그 제조방법 | |
SU1134323A1 (ru) | Способ электрохимической обработки профильных поверхностей типа щели вращающимс электродом-инструментом в среде проточного электролита | |
SU823054A1 (ru) | Электрод-инструмент | |
SU320862A1 (ru) | ВСЕСОЮЗНАЯ МШШ4?Х;-;^'^Г-ШБ'ТИсг';--"^ | |
WO2018100359A1 (en) | Electrode and electrochemical cell comprising the same | |
CN107946158B (zh) | 介质阻挡放电离子源 | |
SU390194A1 (ru) | Приспособление для электролитической | |
GB2557181A (en) | Electrode and electrochemical cell comprising the same | |
KR0134559Y1 (ko) | 플라즈마 에칭장치의 애노드 | |
RU2127175C1 (ru) | Катод-инструмент для размерной электрохимической обработки | |
SU984080A1 (ru) | Электрод-инструмент дл изготовлени печатных кабелей с параллельными проводниками на фольгированной подложке | |
SU383135A1 (ru) | ||
JPS5811780A (ja) | グロ−放電装置のための絶縁体 | |
JP2889029B2 (ja) | よこ糸検知用の電極 | |
SU295642A1 (ru) | Способ электрохимической размерной обработки | |
TW202121579A (zh) | 晶圓夾持裝置和電漿處理設備 | |
JP2017139423A (ja) | 半導体装置 |