SU194340A1 - PIEZOELECTRIC MIRROR INDICATOR - Google Patents
PIEZOELECTRIC MIRROR INDICATORInfo
- Publication number
- SU194340A1 SU194340A1 SU1048334A SU1048334A SU194340A1 SU 194340 A1 SU194340 A1 SU 194340A1 SU 1048334 A SU1048334 A SU 1048334A SU 1048334 A SU1048334 A SU 1048334A SU 194340 A1 SU194340 A1 SU 194340A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- mirror
- piezoelectric mirror
- indicator
- mirror indicator
- spring
- Prior art date
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001264 neutralization Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
Description
Известные пьезоэлектрические зеркальныеFamous piezoelectric mirror
индикаторы, содержащие две пьезопластины, к которым подведены унравл ющие напр жени , фиксирующее зеркальце, прижимаемое пружиной к концам пьезопластин, оптическую систему с осветителем и носитель, не фиксируют процессы, протекающие в двух координатах .The indicators containing two piezoplates, to which the equating voltages are applied, fixing the mirror pressed by the spring to the ends of the piezoplates, the optical system with the illuminator and the carrier, do not fix the processes occurring in two coordinates.
Описываемый прибор устрап ет указанный недостаток и позвол ет проводить индикацию измер емого параметра в двух координатах. Дл этого в нем измерительный механизм выполнен в виде трех идентичных пьезонластин, несущих на своих концах керны и расположенных таким образом, что плоскости симметрии этих пластин пересекаютс под углом 120 друг к другу, причем липи пересечени плоскостей проходит через центр фиксирующего зеркальца, укрепленного с двум степен ми свободы на диске, снабженном трем подщипниками .The described device satisfies this drawback and allows displaying the measured parameter in two coordinates. For this purpose, the measuring mechanism in it is made in the form of three identical pezone plates, carrying cores at their ends and arranged in such a way that the symmetry planes of these plates intersect at an angle of 120 to each other, and the intersection of the plane passes through the center of the fixing mirror, reinforced with two degrees Freedom on the disk, equipped with three support.
На фиг. 1 изображена конструкци подвижной системы описываемого индикатора; на фиг. 2 - схема пьезоэлектрического зеркального индикатора.FIG. 1 shows the structure of the moving system of the indicator described; in fig. 2 is a diagram of a piezoelectric mirror indicator.
стин 2 и пружины 3, прил имающей зеркальце к наконечникам пластин.Stein 2 and spring 3, adding a pocket mirror to the tips of the plates.
Круглое зеркальце поверхностного отражени укреплено на металлическом диске 4, вThe round surface reflection mirror is mounted on a metal disk 4, in
центре которого имеетс скоба 5 дл креплени к пружине 3, а по периферии диска 4 закреплены в трех плоскост х, пересекающихс на оси симметрии под углом 120°, три агатовых или других нодшипника 6.the center of which has a bracket 5 for fastening to the spring 3, and on the periphery of the disk 4 is fixed in three planes intersecting on the axis of symmetry at an angle of 120 °, three agate or other bearings 6.
Основание состоит из неподвижной металлической платы 7 и двух подвижных плат 8, укрепленных с одной стененью свободы на двух призмах 9, .прикрепленных, в свою очередь , к плате 7.The base consists of a fixed metal plate 7 and two mobile plates 8, fortified with one wall of freedom on two prisms 9, attached, in turn, to the plate 7.
Полол ение плат 8 относительно платы 7 фиксируетс при помощи плоской 10 и регулировочных винтов //, с помощью которых можно точно регулировать положение двух ньезопластин. Пружина 10 прикрепл етс к неподвижной плате 7 винтами 12, которыми регулируетс необходимое давление пружины 10 на платы 8.The polishing of the board 8 relative to the board 7 is fixed by means of the flat 10 and adjusting screws //, with which you can precisely adjust the position of the two nuisoplates. The spring 10 is attached to the fixed plate 7 with screws 12, which regulate the required pressure of the spring 10 on the board 8.
3 закреплена в металлическом основании прибора на шпильке 13. Дл креплени пружины 3 в плате 7 имеетс круглое отверстие 14 с пазами под шпильку 13. 3 is fastened in the metal base of the device to the stud 13. For mounting the spring 3, the plate 7 has a round hole 14 with grooves for the stud 13.
ны металлические накоиечники 16 с изол ционными прокладками 17, а в центре каждого наконечиика 16 жестко закреплен стальной керн 18 (см. фиг. 2).There are 16 metal lugs with insulating gaskets 17, and a steel core 18 is rigidly fixed in the center of each tip 16 (see Fig. 2).
5 создает одинаковое давление в трех подшинниках 6 на три стальных керна 18, что исключает возникновение воздушных люфтов. 5 creates the same pressure in the three shafts 6 on three steel cores 18, which excludes the occurrence of air play.
В исходном состо нии индикатора зеркальце 1 находитс в нейтральном положении, и нить накала лампы осветител 19 проецируетс при помощи линзы 20 и зеркальца / ъ центральную точку носител - полупрозрачной шкалы 21.In the initial state of the indicator, the mirror 1 is in the neutral position, and the filament of the lamp of the illuminator 19 is projected with the help of a lens 20 and the mirror / ′ is the center point of the carrier - a translucent scale 21.
При подведении управл ющих иацр л еннй Цгпр к пьезопластинам зеркальце / отклон етс , и световой «зайчик перемещаетс по шкале 21. В результате одновременного воздействи трех напр жений Ui , Un, Uni «зайчик может принимать любое ноложеиис в плоскости шкалы.When leading a control center adapter to the piezoplates, the mirror / deflects and the light beam moves on a scale of 21. As a result of the simultaneous action of three voltages Ui, Un, Uni, the beam can accept any number in the scale plane.
Дл nOvTy4eHHH отклонени в пр моугольных координатах измер емые или развертьг ваюидие напр жени преобразуютс с помощью заторможенного вращающегос трансформатора ,имеющего две статорные обмотки.For nOvTy4eHHH, the deviations in rectangular coordinates are measured or developed, and the voltage is converted using a retarded rotary transformer having two stator windings.
; .5; .five
сдвинутые под углом 90°, и три роторные обмотки , намотанные со сдвигом 120°. В качестве управл ющих напр жений могут быть использованы три напр жени специальной формы. ,shifted at an angle of 90 °, and three rotor windings, wound with a shift of 120 °. Three voltages of a special form can be used as control voltages. ,
Предмет изобретени Subject invention
Пьезоэлектрический зеркальный индикатор, содержащий измерительный механизм, к пьезочувствительным элементам которого подведены управл ющие напр л ени , фиксирующее зеркальце, прил имаемое прз жиной к концам пьезочувствительных элементов, оптическую систему с осветителем и носитель, отличающийс тем, что, с целью обеспечени двухмерной индикации, в ием измерительный механизм выполнен в виде трех идентичных пьезонластин , несущих на своих концах керны и расположенных таким образом, что плоскости симметрии этих пластин пересекаютс под углом 120° друг к другу, причем лини пересечени плоскостей проходит через центр фиксирующего зеркальца, укрепленного с двум степен ми свободы на днске, снаблсенном трем нодшипниками.A piezoelectric mirror indicator containing a measuring mechanism, to the piezosensitive elements of which control lines, a fixing mirror, applied to the ends of the piezosensitive elements, an optical system with an illuminator and a carrier, characterized in that, in order to provide a two-dimensional indication, are provided, In this case, the measuring mechanism is made in the form of three identical pezonelins, carrying cores at their ends and arranged in such a way that the planes of symmetry of these plates intersect OD at 120 ° to each other, wherein the lines of intersection of planes passing through the center of the fixing mirrors, fortified with two degrees of freedom for dnske, snablsennom three nodshipnikami.
2121
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU194340A1 true SU194340A1 (en) |
Family
ID=
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4025203A (en) * | 1975-12-11 | 1977-05-24 | Eastman Kodak Company | Mirror-type beam steerer having a virtual pivot |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4025203A (en) * | 1975-12-11 | 1977-05-24 | Eastman Kodak Company | Mirror-type beam steerer having a virtual pivot |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW399145B (en) | Method and apparatus for repetitively projecting a mask pattern on a substrate, using a time-saving height measurement | |
US9891051B2 (en) | Self-leveling multi-line laser device | |
JP4800730B2 (en) | Interferometer system for displacement measurement and exposure apparatus using the same | |
US3765764A (en) | Coordinate measuring instrument | |
US4955718A (en) | Photoelectric measuring system with integrated optical circuit including and illuminating system | |
KR20190031550A (en) | Lattice measuring device | |
CN108775878B (en) | Grating heterodyne interference system and roll angle measuring method thereof | |
US20140368836A1 (en) | Positioning device comprising a light beam | |
US3552859A (en) | Optical instrument for determining the parallelism or nonparallelism of two reflecting surfaces | |
SU194340A1 (en) | PIEZOELECTRIC MIRROR INDICATOR | |
US4090781A (en) | Mirror orienting device for a laser levelling instrument | |
JP5693840B2 (en) | Optical fiber interferometric grating encoder capable of detecting a reference signal | |
US2363877A (en) | Theodolite | |
US3145250A (en) | Moire fringe constructions including a phase change | |
CN1854679A (en) | Discrete quarter wave plates for displacement measuring interferometers | |
US4451148A (en) | Optical angular interval marker | |
JPS631221Y2 (en) | ||
JPH09171954A (en) | Position measuring equipment | |
SU1668864A1 (en) | Laser interfering flatness meter | |
SU1322088A1 (en) | Method of measuring radius of curvature of optical part surface | |
SU1283574A1 (en) | Optical-mechanical animator | |
SU1298529A1 (en) | Variable-sensitivity interferometer for monitoring deviation of a surface from planarity | |
JP6094313B2 (en) | Encoder, driving device, stage device, and exposure device | |
RU2146373C1 (en) | Fiber-optical acceleration transducer | |
SU1330455A1 (en) | Distance-measuring interferometer |