SU180377A1

SU180377A1 -

Info

Publication number: SU180377A1
Application number: SU925844A
Authority: SU

Description

В известных интерферометрах отсутствие достаточно монохроматического источника излучени приводит к необходимости введени в схему ветви сравнени .In the known interferometers, the absence of a sufficiently monochromatic radiation source makes it necessary to introduce a comparison branch into the circuit.

В предложенном интерферометре применение оптического квантового генератора (ОКГ) позвол ет исключить из схемы интерферометра ветвь сравнени . При этом, с целью упрощени схемы и повышени точности измерени , эталонна поверхность выполнена полупрозрачной и установлена в той же ветви,что и исследуема система или деталь.In the proposed interferometer, the use of an optical quantum generator (laser) makes it possible to exclude a comparison branch from the interferometer circuit. At the same time, in order to simplify the scheme and improve the measurement accuracy, the reference surface is made translucent and installed in the same branch as the system or part under study.

Па фиг. 1 показана схема предложенного интерферометра дл измерени волновых аберраций оптических систем; на фиг. 2 - то же, дл измерени микропрофил исследуемой поверхности.Pa figs. 1 shows a diagram of the proposed interferometer for measuring the wave aberrations of optical systems; in fig. 2 is the same for measuring the micro profile of the test surface.

Параллельный пучок света (фиг. 1) от ОКГ / через систему линз 2 и 3, осветительное отверстие 4, коллиматорный объектив 5 направл ют на светоделительное зеркало 6, от которого свет отражаетс на эталонное зеркало 7, контролируемую систему 8 и автоколлимационное зеркало 9, направл ющее отраженный поток света через светоделительное зеркало 6, систему линз 10 и 11 w. измерительную систему 12 (винтовой окул рный микрометр) в глаз наблюдател .A parallel beam of light (Fig. 1) from the laser / through the lens system 2 and 3, the lighting hole 4, the collimator lens 5 is directed to the beam-splitting mirror 6, from which light is reflected to the reference mirror 7, the controlled system 8 and the autocollimation mirror 9 A reflected reflected light flux through the beam-splitting mirror 6, a lens system of 10 and 11 w. measuring system 12 (helical ocular micrometer) into the eye of the observer.

составл ют систему многолучевого интерферометра Фабри-Перо.make up a Fabry-Perot multipath interferometer system.

Измерение изгиба интерференционных полос производ т винтовым окул рным микрометром 12, в полость сетки которого линзы 10 и // проектируют зрачок испытываемой оптической системы. Если линза // выведена из хода лучей, то в плоскость сетки винтового окул рного микрометра проектируетс р дThe bending of the interference fringes is measured with a screw ocular micrometer 12, into the cavity of the grid of which the lenses 10 and / / project the pupil of the optical system under test. If the lens // is brought out of the path of the rays, then a row is projected into the grid plane of the screw ocular micrometer

изображений отверсти 4. При этом, наблюда в окул р микрометра, можно осуществить настройку системы интерферометра.images of the hole 4. In this case, observed in the eye of the micrometer, it is possible to carry out the adjustment of the interferometer system.

Параллельный пучок света (фиг. 2) от ОКГ 13 через систему линз 14 и 15 направл етс A parallel beam of light (FIG. 2) from JAG 13 is guided through a lens system 14 and 15.

на светоделительное зеркало 16, отражаетс от него и через линзу 17, эталонное зеркало 18, линзу 19, микрообъектив 20 падает на контролируемую поверхность 21. Эталонное зеркало 18, линза 19, микрообъектив 20 и поверхность образца 21 образуют чейку Фабри-Перо.The beam splitting mirror 16 is reflected from it and through the lens 17, the reference mirror 18, the lens 19, the micro-lens 20 falls on the test surface 21. The reference mirror 18, the lens 19, the micro-lens 20 and the surface of the sample 21 form the Fabry-Perot cell.

Паблюдение интерференционных полос и измерение их изгиба производ т посредством винтового окул рного микрометра 22.The interference fringes are measured and measured by a screw ocular micrometer 22.

Система, в состав которой вход т линза/7, линза 23 и призма 24, проектирует интерференционные полосы, локализованные в плоскости эталонного зеркала 18, на сетку винтового окул рного микрометра 22.The system, which includes a lens / 7, a lens 23 and a prism 24, projects interference fringes localized in the plane of the reference mirror 18 onto a grid of a screw-ocular micrometer 22.

Предмет изобретени Subject invention

Интерферометр с оптическим квантовым генератором , отличающийс тем, что, с цельюAn interferometer with an optical quantum generator, characterized in that, in order to

упрощени схемы и повышени точности измерени , в нем эталонна поверхность выполнена полупрозрачной и установлена в той же ветви, что и исследуема система или деталь.simplifying the circuit and improving the measurement accuracy; in it the reference surface is made translucent and installed in the same branch as the system or part under investigation.

4 3 1й4 3 1st

|Т 1 1| T 1 1

IEIE