SU1797448A1 - Газоразрядный источник плазмы дугоплазматронного типа - Google Patents

Газоразрядный источник плазмы дугоплазматронного типа

Info

Publication number
SU1797448A1
SU1797448A1 SU4902982/25A SU4902982A SU1797448A1 SU 1797448 A1 SU1797448 A1 SU 1797448A1 SU 4902982/25 A SU4902982/25 A SU 4902982/25A SU 4902982 A SU4902982 A SU 4902982A SU 1797448 A1 SU1797448 A1 SU 1797448A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
electrode
space
chamber
vacuum
channel
Prior art date
Application number
SU4902982/25A
Other languages
English (en)
Inventor
В.Н. Черник
Original Assignee
МГУ им.М.В.Ломоносова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by МГУ им.М.В.Ломоносова filed Critical МГУ им.М.В.Ломоносова
Priority to SU4902982/25A priority Critical patent/SU1797448A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1797448A1 publication Critical patent/SU1797448A1/ru

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

Использование: электротехника, может использоваться в ядерной физике, плазмохимии, физике плазмы, космических исследованиях, вакуумной технологии. Сущность изобретения: газоразрядный источник плазмы содержит разрядную камеру 1, образованную в зазоре между полыми анодом 2 и промежуточным электродом 3, в которых выполнены осевые каналы 4, 5 между их полостями и камерой, катод 7, установленный в полости электрода, трубку 10 подвода плазмообразующего газа, соединенную с полостью анода, патрубок 11 подвода защитного газа, магнит 12, систему 13 вакуумной откачки. Источник снабжен последовательно соединенными с полостью электрода вакуум проводом 14, регулировочным клапаном 15 и вакуумным насосом 16, а патрубок 11 присоединен к камере 1, причем размеры канала 5 электрода, проводимость клапана и быстрота действия насоса выбраны, исходя из условий: P > Q, L > D > 15 r, где P, Q - давления соответственно в камере и полости электрода, L, D - соответственно длина и диаметр канала электрода, r средняя длина свободного пробега атома примеси в защитном газе при давлении Q. Поверхности канала и торца электрода выполнены из тугоплавкого металла с большой атомной массой, преимущественно из тантала, а в качестве защитного выбран легкий газ, преимущественно водород. Для уменьшения содержания конденсирующихся и/или химически активных примесей регулировочный клапан 15 может быть соединен с вакуумной ловушкой 17 и/или фильтром поглотителем 18, который присоединен к системе вакуумной откачки 13. 5 з.п. ф-лы, 1 ил.
SU4902982/25A 1991-01-18 1991-01-18 Газоразрядный источник плазмы дугоплазматронного типа SU1797448A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4902982/25A SU1797448A1 (ru) 1991-01-18 1991-01-18 Газоразрядный источник плазмы дугоплазматронного типа

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4902982/25A SU1797448A1 (ru) 1991-01-18 1991-01-18 Газоразрядный источник плазмы дугоплазматронного типа

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1797448A1 true SU1797448A1 (ru) 1995-07-09

Family

ID=60538124

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4902982/25A SU1797448A1 (ru) 1991-01-18 1991-01-18 Газоразрядный источник плазмы дугоплазматронного типа

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1797448A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2575202C1 (ru) * 2014-10-06 2016-02-20 Сергей Александрович Вощинин Электродуговой плазмотрон постоянного тока для установок плазменной переработки отходов

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2575202C1 (ru) * 2014-10-06 2016-02-20 Сергей Александрович Вощинин Электродуговой плазмотрон постоянного тока для установок плазменной переработки отходов

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4894256A (en) Process for glow-discharge-activated reactive deposition of metal from a gas phase
SE0002305D0 (sv) Pulsed highly ionized magnetron sputtering
EP0949658A3 (en) High pressure mercury lamp
SU1797448A1 (ru) Газоразрядный источник плазмы дугоплазматронного типа
KR940004657A (ko) 연료 조립체 스퍼터링 방법
GB925783A (en) Improvements in or relating to the production of electric arcs and apparatus for so doing
EP1151456A4 (en) DEVICE AND METHOD FOR REDUCING OPERATING VOLTAGE IN GAS DISCHARGE APPARATUS
GB1042359A (en) Photoionization detector for gases and vapors
RU2007897C1 (ru) Ускоритель плазмы
US3310226A (en) Vacuum device
JPH01252781A (ja) 圧力勾配型放電によるプラズマcvd装置
Sugawara et al. A hollow-cathode discharge as a cold uniform plasma source
RU2703848C1 (ru) Газоэлектрическая развязка
Emeleus Double space-charge layers and anode glows
CN100533642C (zh) 具有改进气体传输的离子源
RU2014763C1 (ru) Ускоритель плазмы
US3437260A (en) Vacuum arc gettering pump
RU2219617C2 (ru) Быстродействующий газовый клапан низкого давления
Mostafa Plasma torch device for micro-machining applications
SU1157324A1 (ru) Способ электротоковой очистки вещества от электроотрицательных примесей
Timerkaev et al. Internal characteristics of distribution of glow discharge at supersonic speed gas flow in the positive column area
US3358910A (en) Vacuum pump
Sari et al. Concave cold cathode electron gun using obstructed discharge
GB914392A (en) Improvements in ion sources for use in synchro-cyclotrons
GB110057A (en) Improvements in and relating to Electrical Discharge Tubes.