SU1797448A1 - Газоразрядный источник плазмы дугоплазматронного типа - Google Patents

Abstract

Использование: электротехника, может использоваться в ядерной физике, плазмохимии, физике плазмы, космических исследованиях, вакуумной технологии. Сущность изобретения: газоразрядный источник плазмы содержит разрядную камеру 1, образованную в зазоре между полыми анодом 2 и промежуточным электродом 3, в которых выполнены осевые каналы 4, 5 между их полостями и камерой, катод 7, установленный в полости электрода, трубку 10 подвода плазмообразующего газа, соединенную с полостью анода, патрубок 11 подвода защитного газа, магнит 12, систему 13 вакуумной откачки. Источник снабжен последовательно соединенными с полостью электрода вакуум проводом 14, регулировочным клапаном 15 и вакуумным насосом 16, а патрубок 11 присоединен к камере 1, причем размеры канала 5 электрода, проводимость клапана и быстрота действия насоса выбраны, исходя из условий: P > Q, L > D > 15 r, где P, Q - давления соответственно в камере и полости электрода, L, D - соответственно длина и диаметр канала электрода, r средняя длина свободного пробега атома примеси в защитном газе при давлении Q. Поверхности канала и торца электрода выполнены из тугоплавкого металла с большой атомной массой, преимущественно из тантала, а в качестве защитного выбран легкий газ, преимущественно водород. Для уменьшения содержания конденсирующихся и/или химически активных примесей регулировочный клапан 15 может быть соединен с вакуумной ловушкой 17 и/или фильтром поглотителем 18, который присоединен к системе вакуумной откачки 13. 5 з.п. ф-лы, 1 ил.