SU1786963A1 - Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку - Google Patents

Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку

Info

Publication number
SU1786963A1
SU1786963A1 SU4772816/21A SU4772816A SU1786963A1 SU 1786963 A1 SU1786963 A1 SU 1786963A1 SU 4772816/21 A SU4772816/21 A SU 4772816/21A SU 4772816 A SU4772816 A SU 4772816A SU 1786963 A1 SU1786963 A1 SU 1786963A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
substrate
substrates
polyimide coating
coating
layer
Prior art date
Application number
SU4772816/21A
Other languages
English (en)
Inventor
Ф.П. Коршунов
В.И. Кульгачев
С.Ф. Сенько
О.А. Воробьев
Ю.П. Снитовский
Original Assignee
Специальное конструкторско-технологическое бюро с опытным производством Института физики твердого тела и полупроводников АН БССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Специальное конструкторско-технологическое бюро с опытным производством Института физики твердого тела и полупроводников АН БССР filed Critical Специальное конструкторско-технологическое бюро с опытным производством Института физики твердого тела и полупроводников АН БССР
Priority to SU4772816/21A priority Critical patent/SU1786963A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1786963A1 publication Critical patent/SU1786963A1/ru

Links

Landscapes

  • Formation Of Insulating Films (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку, включающий обработку подложки и формирование слоя полиимидной смолы, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия, обработку подложки осуществляют в плазме, содержащей ионы фтора, в течение 1-100 с, а перед формированием слоя полиимидной смолы подложку выдерживают в атмосфере, содержащей аммиак в течение 1-1000 с.
SU4772816/21A 1989-12-22 1989-12-22 Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку SU1786963A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4772816/21A SU1786963A1 (ru) 1989-12-22 1989-12-22 Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4772816/21A SU1786963A1 (ru) 1989-12-22 1989-12-22 Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1786963A1 true SU1786963A1 (ru) 2012-03-20

Family

ID=60536609

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4772816/21A SU1786963A1 (ru) 1989-12-22 1989-12-22 Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1786963A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2725580C1 (ru) * 2017-02-06 2020-07-02 Кинг Абдалла Юниверсити Оф Сайенс Энд Текнолоджи Полиимидные смеси, способы их получения и применения

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2725580C1 (ru) * 2017-02-06 2020-07-02 Кинг Абдалла Юниверсити Оф Сайенс Энд Текнолоджи Полиимидные смеси, способы их получения и применения

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW324834B (en) Method for forming membrane
CA2286326A1 (en) Article, method, and apparatus for electrochemical fabrication
DE69326651D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Mustern
EP0105573A3 (en) Improvements in process and apparatus for decorating the surfaces of electron irradiation cured coatings on radiation-sensitive substrates
TR200102186T2 (tr) Cam yüzeyleri için kire-dayanıklı kaplamalar
JPS55128583A (en) Method and apparatus for pretreating substrate and coating membrane
EP0368334A3 (en) Etching apparatus and method of using the same
ATE47431T1 (de) Verfahren zur oberflaechenbehandlung.
JPS55131164A (en) Method and apparatus for applying metal coating to metal substrate
EP0350161A3 (en) Method for rendering a substrate surface antithrombogenic
EP0757291A3 (en) Processing method and processing apparatus using fast atom beam
EP0418799A3 (en) Quantitative determination method of chemicals for processing semiconductor and an apparatus thereof
JPS54162791A (en) Method of impregnating and coating belt support for surface processing of woodboard
BR7704231A (pt) Processo e aparelho para sensibilizar a concentracao efetiva de um constituinte eletroativo e processo para aplicar um revestimento a um substrato de metal
ATE292842T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur oberflächenbehandlung von substraten
EP0032212A3 (en) Apparatus and method for the lubrication of cans
CH677167GA3 (ru)
SU1786963A1 (ru) Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку
EP0304969A3 (en) Process for forming a pattern film
CA2166909A1 (en) Method for the production of an insulator
DE3374019D1 (en) Process for quantitative determination of substrate treated with oxidase
DE50000751D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum behandeln von substraten
EP0032047A3 (en) Method of drying semiconductor substrates and apparatus for drying semiconductor substrates
DE3566278D1 (en) Apparatus and process for treating pickling and etching solutions
JPS55152567A (en) Coating and drying apparatus for wire and bar