SU1766685A1 - Monocrystal orienting cutting unit - Google Patents
Monocrystal orienting cutting unit Download PDFInfo
- Publication number
- SU1766685A1 SU1766685A1 SU894726315A SU4726315A SU1766685A1 SU 1766685 A1 SU1766685 A1 SU 1766685A1 SU 894726315 A SU894726315 A SU 894726315A SU 4726315 A SU4726315 A SU 4726315A SU 1766685 A1 SU1766685 A1 SU 1766685A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- goniometer
- cutting
- orienting
- ingots
- ray
- Prior art date
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Использование: в оборудовании дл рентгендифрактометрической ориентировки и ориентированной резки слитков монокристальных материалов, преимущественно пластичных и хрупких, а также слитков с незакономерной ориентацией структуры кристаллов по отношению к огранке слитков . Сущность изобретени : установка включает режущее устройство, рентгеновский дифрактометр, ориентирующую приставку к его гониометру и подъемный столик с базовыми элементами дл креплени съемных монтажных пластин, на которые переклеиваютс сориентированные слитки. Новизна предпагаемого устройства заключаетс в том, что положение подъемного столика относительно рентгеновского гониометра фиксировано, что, в свою очередь, допускает использование ориентирующих приставок с одной поворотной осью, расположенной под пр мым углом к оси гониометра . 1 з.п. ф-лы, 3 ил. (Л СUsage: in equipment for X-ray diffraction orientation and oriented cutting of ingots of single-crystal materials, mainly ductile and brittle, as well as ingots with an irregular orientation of the crystal structure in relation to the cutting of ingots. SUMMARY OF THE INVENTION: The apparatus includes a cutting device, an X-ray diffractometer, orienting a prefix to its goniometer, and a lifting table with basic elements for fastening detachable mounting plates onto which oriented ingots are glued. The novelty of the proposed device lies in the fact that the position of the lifting table relative to the X-ray goniometer is fixed, which, in turn, allows the use of orienting attachments with a single rotary axis located at a right angle to the axis of the goniometer. 1 hp f-ly, 3 ill. (Ls
Description
Изобретение относитс к оборудованию дл рентгеноструктурного анализа монокристаллов и их механической обработки, в частности к рентгендифрактометрической ориентировке и ориентированной резке слитков полупроводниковых материалов, и может быть использовано в производстве монокристальных элементов полупроводниковых приборов, преимущественно при ориентированной резке слитков пластичных и хрупких полупроводниковых материалов , а также слитков с незакономерной ориентацией структуры монокристаллов по отношению к огранке слитковThe invention relates to equipment for X-ray analysis of single crystals and their machining, in particular to X-ray diffraction orientation and oriented cutting of ingots of semiconductor materials, and can be used in the production of single-crystal elements of semiconductor devices, mainly for oriented cutting of ingots of ductile and brittle semiconductor materials, as well as ingots with irregular orientation of the structure of single crystals with respect to the cutting of ingots
Известны также установки дл ориентированной резки монокристаллов, включающие рентгеновский аппарат (дифрак- тометр), режущее устройство и ориентирующую приставку к гониометру рентгеновского аппарата, при этом св зь междуAlso known are installations for oriented cutting of single crystals, including an x-ray apparatus (diffractometer), a cutting device, and an orienting attachment to the goniometer of the x-ray apparatus, while the connection between
рентгеновским аппаратом и режущим устройством обеспечиваетс либо наличием согласованных базовых элементов на рентгеновском аппарате и режущем устройстве, на которых устанавливаетс съемна ориентирующа приставка с закрепленным в ней слитком 1, либо непосредственным соединением ориентирующей приставки с режущим устройством с помощью вспомогательного устройства 2.the x-ray machine and the cutting device are provided either by the presence of matched basic elements on the x-ray machine and the cutting device, on which a removable orienting attachment with an ingot 1 fixed in it is installed, or by directly connecting the orienting attachment with the cutting device with an auxiliary device 2.
Недостатки таких установок вл ютс следствием закреплени слитка в процессе его резани в ориентирующей приставке. Во-первых, ввиду закреплени конца слитка , противоположного поверхности, по которой производитс ориентировка, возникающие в процессе резани механические нагрузки распредел ютс по всему объему слитка, что в случае пластичных и хрупких монокристальных материалов веvi оThe drawbacks of such installations are a consequence of fixing the ingot during its cutting process in the orienting attachment. First, in view of fixing the end of the ingot opposite to the surface on which the orientation is performed, the mechanical loads arising during the cutting process are distributed throughout the entire ingot volume, which in the case of ductile and fragile single crystal materials
оabout
0000
елate
дет к внесению в объем монокристаллов структурных нарушений. Во-вторых, крепление слитка к приставке ограничивает диапазон возможных направлений резани , который может быть достаточно широким в случае ориентированной резки слитков с незакономерной (не контролируемой в процессе выращивани ) ориентировкой монокристаллов по отношению к огранке слитка. В-третьих/использование ориентирующей приставки в качестве держател разрезаемого слитка снижает производительность комплекса, особенно существенным такое снижение вл етс в случае ориентированной резки слитков пластичных и хрупких материалов, технологией резани которых предусмотрено использование станков с малыми скорост ми резани , например проволочных или жилковых (химических) пил. Кроме того, использование ориентирующей приставки в качестве держател ведет к усложнению ее конструкции ввиду необходимости сочетани высоких требований к точности ориентирующих поворотов слитка с аналогичными требовани ми к жесткости конструкции и защите ее от воздействи агрессивных сред, в которых производитс резание.Details to the introduction into the volume of single crystals of structural violations. Secondly, the attachment of the ingot to the attachment limits the range of possible cutting directions, which can be quite wide in the case of oriented cutting of ingots with an irregular (not controlled during the growing process) orientation of single crystals with respect to the cutting of the ingot. Thirdly, the use of an orienting attachment as a cut ingot holder reduces the productivity of the complex, this reduction is especially significant in the case of oriented cutting of ingots of ductile and brittle materials, the cutting technology of which involves the use of machines with low cutting speeds, for example, wire or core (chemical ) drank. In addition, the use of the alignment attachment as a holder leads to complication of its design due to the need to combine high demands on the accuracy of the orientation turns of the ingot with similar requirements on the rigidity of the structure and to protect it from the effects of aggressive environments in which cutting is performed.
Наиболее близкой по технической сущности к за вл емому устройству вл етс установка дл ориентированной резки монокристаллов , включающа рентгеновский аппарат, режущее устройство, ориентирующую приставку к рентгеновскому гониометру рентгеновского аппарата и монтажный столик, содержащий монтажный суппорт и подъемный столик с закрепленными на его базовых элементах и идентичных базовых элементах режущего устройства монтажными пластинами. Вход ща в состав комплекса ориентирующа приставка состоит из двух шарнирных соединений с руко ткой , обеспечивающих необходимую дл осуществлени с помощью данного устройства возможность вращени кристалла вокруг трех взаимно перпендикул рных осей 3.The closest in technical essence to the claimed device is a device for oriented cutting of single crystals, including an X-ray apparatus, a cutting device, orienting an attachment to the X-ray goniometer of the X-ray apparatus and a mounting table containing a mounting caliper and a lifting table with attached to its basic elements and identical basic elements of the cutting device mounting plates. The orienting prefix included in the complex consists of two hinged joints with a handle providing the possibility for the crystal to rotate around three mutually perpendicular axes 3 necessary for carrying out this device.
Недостатками рассматриваемого устройства вл ютс низка производительность и высока трудоемкость выполнени операции кристаллографической ориентировки слитков с незакономерной ориентацией монокристаллов по отношению к огранке слитка, что вытекает из отсутстви гарантии быстрого достижени ориентации слитка, отвечающей условию регистрации дифракционного отражени , поворотом каждого из двух шарниров вокруг соответствующей устанавливаемой вертикально оси, если в начальном положении слиткаThe drawbacks of the device under consideration are low productivity and high laboriousness of performing the crystallographic orientation of ingots with a non-legitimate orientation of single crystals with respect to the cutting of the ingot, which follows from the absence of a guarantee that the orientation of the diffraction reflection is detected, by turning each of the two hinges around the corresponding vertical position axes if in the initial position of the ingot
вектор дифракции заданного рентгеновского отражени отклонен от оси руко тки ориентирующей приставки в произвольном направлении на угол, превышающий величину аппертуры детектора рентгеновского излучени , веро тность указанной ситуации особенно велика в случае невозможности предварительной (грубой) ориентировки слитка, предусматриваемой реализуемым сthe diffraction vector of a given x-ray reflection is deflected from the axis of the handle of the orienting attachment in an arbitrary direction by an angle greater than the aperture of the x-ray detector; the probability of this situation is especially high if the preliminary (coarse) orientation of the ingot, provided for with
0 помощью устройства-прототипа способом, по рудиментарным гран м роста или иным признакам.0 using a prototype device in a rudimentary growth pattern or other features.
Другой недостаток прототипа состоит в снижении точности и производительностиAnother disadvantage of the prototype is reduced accuracy and performance.
5 за счет переноса ориентирующей приставки с опор гониометра на опоры суппорта монтажного столика, который выполн ет роль св зующего элемента между рентгеновским дифрактометром и режущим устройством,5 due to the transfer of the alignment attachment from the goniometer supports to the support of the mounting table, which serves as a connecting element between the X-ray diffractometer and the cutting device,
0 при этом снижение производительности обусловлено выполнением операций освобождени приставки из опор гониометра и креплени в опорах суппорта, а снижение точности св зано с погрешност ми уста5 новок сверочного цилиндра в обеих опорах, а также неточност ми формы и расположени перечисленных конструктивных элементов .In this case, the decrease in productivity is due to the operations of releasing the attachment from the goniometer supports and mounting in the caliper supports, and the decrease in accuracy is due to errors in the settings of the calibration cylinder in both supports, as well as inaccuracies in the shape and location of the listed structural elements.
Указанный выше недостаток прототипаThe above prototype flaw
0 св зан также с тем, что ориентирующа приставка последнего содержит три поворотные оси, кажда из которых в процессе ориентировани требует стопорени и характеризуетс погрешност ми поворотов,0 is also connected with the fact that the orientation prefix of the latter contains three rotary axes, each of which, in the course of orientation, requires locking and is characterized by turning errors,
5 увеличивающими конечную погрешность кристаллографической ориентации плоскости реза.5 increasing the final error of the crystallographic orientation of the cutting plane.
На фиг.1 схематически показана конструкци и схема монтажа вход щего в составFig. 1 schematically shows the construction and installation scheme of the constituent
0 предлагаемой установки кристаллосъемни- ка, вид сверху на дифрактометрическую стойку рентгеновского аппарата; на фиг.2 - вид А на фиг.1; на фиг.З - схема креплени монтажной пластины на подъемном столи5 ке, выносной элемент I на фиг.2.0 of the proposed installation of the crystal stripper, a top view of the diffractometric stand of the x-ray apparatus; figure 2 is a view of And figure 1; Fig. 3 is a schematic of the mounting plate mounting plate on the lifting table, extension element I in Fig. 2.
Установка включает рентгеновский дифрактометр, в пределах дифрактометри- ческой стойки которого на плите 1 располагаетс рентгеновский гониометр 2 сThe installation includes an X-ray diffractometer, within the diffractometric stand of which on the plate 1 there is an X-ray goniometer 2 with
0 детектором 3 рентгеновского излучени , источник 4 рентгеновского излучени , установленный на поворотной плите 5, ориентирующую приставку дл кристаллографической ориентировки слитков монокристальных материалов, установленную на0 by an X-ray detector 3, an X-ray source 4 mounted on a rotary plate 5, orienting an attachment for crystallographic orientation of single crystal materials, mounted on
5 поворотной (относительно оси гониометра) плите 6, котора через переходную втулку 7 закреплена на столике образцов гониометра 2, а также вспомогательное устройство - кристаллосъемник, обеспечивающее возможность переклеивани сориентированного слитка 8 на поверхность монтажной пластины 9, вл ющейс св зующим элементом между дифрактометром и вход щим в состав предлагаемого устройства станком дл резки монокристаллов.5 a rotatable (relative to the axis of the goniometer) plate 6, which is fixed on the sample table of the goniometer 2 through the adapter sleeve 7, as well as an auxiliary device, a crystal puller, providing the possibility of pasting the oriented ingot 8 onto the surface of the mounting plate 9, which is a connecting element between the diffractometer and the entrance machine in the composition of the proposed device for cutting single crystals.
Кристаллосьемник представл ет собой сборную конструкцию, один конец которой опираетс на поворотную плиту 10, идентичную плите 5, а второй на подшипник 11, внешнее кольцо которого установлено во втулке 7 так, что ось его вращени совпадает с осью поворота гониометра 2 и втулки 7. Кристаллосъемник состоит из закрепленного на плите 10 кронштейна 12, подвижного относительно него по установленным вертикально линейным направл ющим кронштейна 12, перемещаемого вращением винта 14 с возможностью отсчета величины перемещени по закрепленному на кронштейне 13 индикатору 15 часового типа, несущей плиты 16, опирающейс одним концом через полуось 17 на подшипник 11, а другим на верхний срез кронштейна 13 и установленной горизонтально с возможностью обеспечиваемого винтом 18 поворота (в пределах 1-2 угловых градусов) вокруг оси гониометра и отсчета углов поворота с помощью закрепленного на кронштейне 13 индикатора 19 часового типа, кронштейнаThe crystal container is a prefabricated structure, one end of which rests on the rotary plate 10, identical to the plate 5, and the second on the bearing 11, the outer ring of which is installed in the sleeve 7 so that its axis of rotation coincides with the axis of rotation of the goniometer 2 and sleeve 7. Crystal stripper consists of a bracket 12 fixed on the plate 10, movable relative to it along a vertically mounted linear guide bracket 12, moved by a rotation of the screw 14 with the possibility of counting the amount of movement along the fixed on the crown a matte 13 indicator of 15 hour type, a carrier plate 16, resting at one end through the semi-axis 17 on the bearing 11, and the other on the upper cut of the bracket 13 and mounted horizontally with the possibility of rotation provided by the screw 18 (within 1-2 angular degrees) around the goniometer axis and the angle of rotation with the help of a 19 hour-type indicator fixed on the bracket 13, bracket
20,перемещаемого по линейным направл ющим плиты 16 в радиальном (по отношению к оси гониометра) направлении посредством реечной передачи, на валу зубчатого колеса которого закреплен маховик20 being moved along the linear guides of the plate 16 in the radial (relative to the goniometer axis) direction by means of a pinion gear, on the gear shaft of which the flywheel is fixed
21,перемещаемого по установленным на кронштейне 20 вертикально линейным направл ющим с помощью винта 22 подъемного столика 23, на горизонтальной плоскости которого установлена монтажна пластина 9. Плита 16 снабжена противовесом 24, компенсирующим нагрузки кристал- лосъемника и ориентирующей приставки на столик образцов гониометра.21 moving along vertically linear guides mounted on the bracket 20 by means of a screw 22 of the lifting table 23, on the horizontal plane of which the mounting plate 9 is installed. The plate 16 is equipped with a counterweight 24 compensating for the load of the collector and orienting attachment on the table of the goniometer samples.
Воспроизводимость ориентации монтажной пластины 9 относительно положени гониометра и плоскости реза режущего устройства обеспечиваетс установкой столика на базовые элементы.The reproducibility of the orientation of the mounting plate 9 relative to the position of the goniometer and the cutting plane of the cutting device is provided by mounting the table on the base elements.
В рассматриваемом варианте конструкции базовыми элементами пластины вл ютс его опорна (нижн ) поверхность и три базовых штифта 25 подъемного столика 23, при этом наклоны базовой поверхности монтажной пластины 9 относительно экваториальной плоскости гониометра контролируютс положением посадочной поверхности подъемного столика 23, а повороты в базовой плоскости - штифтами 25. Подъемный столик станка дл резки монокристаллов снабжен идентичными базовыми элементами, причем базова поверхность расположена перпендикул рно плоскости реза, а расположение базовых штифтов обеспечивает соответствие перпендикул ра к плоскости реза направлению перемещени пластины 9 при перемещении кронштейна 20 по направл ющим плиты 16 кристаллосъемника.In this embodiment, the base elements of the plate are its supporting (lower) surface and three base pins 25 of the lifting table 23, while the inclinations of the base surface of the mounting plate 9 relative to the equatorial plane of the goniometer are controlled by the position of the seating surface of the lifting table 23, and turns in the base plane pins 25. The lifting table of the machine for cutting single crystals is equipped with identical basic elements, with the base surface located perpendicular to the plane The position of the base pins ensures that the perpendicular to the cutting plane corresponds to the direction of movement of the plate 9 when moving the bracket 20 along the guides of the stripper plate 16.
0 Посадка (и съем) монтажной пластины 9 на подъемный столик 23 обеспечиваетс винтом 26, установленным на кронштейне столика 23 с возможностью вращени вокруг собственной оси. Вращение винта 26,The fit (and removal) of the mounting plate 9 on the lifting table 23 is provided with a screw 26 mounted on the bracket of the table 23 so that it can rotate around its own axis. Rotation of the screw 26,
5 головка которого представл ет собой зубчатое колесо, осуществл етс водном из крайних положений кронштейна 20 и столика 23, в котором зубь головки винта 26 наход тс в зацеплении с зубь ми промежуточной ше0 стерни 27, закрепленной на плите 16 через полуось 28 и приводимой во вращение черв ком 29, на валу которого закреплен маховик 30.5, the head of which is a gear wheel, is made water from the extreme positions of the bracket 20 and the table 23, in which the teeth of the screw head 26 are in engagement with the teeth of the intermediate pin 27, mounted on the plate 16 through the half shaft 28 and rotated the worm 29, on the shaft of which the flywheel 30 is fixed.
Ориентирующа приставка 31, позвол 5 юща вращать закрепленный в ней слиток вокруг оси, лежащей в экваториальной плоскости и перпендикул рной оси гониометра , установлена на подвижной относительно плиты 6 в радиальном (относительноThe orienting attachment 31, which allows 5 to rotate the ingot fixed in it around an axis lying in the equatorial plane and perpendicular to the axis of the goniometer, is mounted on a radial relative to plate 6 relative to
0 оси гониометра) направлении платформе 32.0 axis goniometer) direction platform 32.
Установка работает следующим образом .The installation works as follows.
Перед ориентировкой партии слитковBefore the orientation of the party ingots
5 посто нного состава детектор 3 рентгеновского излучени устанавливают таким образом , что его входна щель расположена в экваториальной плоскости гониометра под расчетным углом (брэгговский угол5 of a constant composition, the X-ray detector 3 is set in such a way that its entrance slit is located in the equatorial plane of the goniometer at a calculated angle (Bragg angle
0 отражени дл заданной кристаллографической плоскости) к направлению распространени падающего пучка рентгеновского излучени . Поворотом плиты 10 Кристаллосъемник устанавливают в такое положение,0 for the given crystallographic plane) to the direction of propagation of the incident X-ray beam. By turning the plate 10, the stripper is placed in such a position
5 что направление перемещени кронштейна 20 по направл ющим плиты 16 совпадает с биссектрисой угла между направлени ми из оптического центра гониометра к входным щел м гониометра и детектора рентге0 невского излучени . Монтажную пластину устанавливают посадочными отверсти ми на штифты 25 и фиксируют ее рабочее положение , зат гива винт 26 поворотом маховика 30.5 that the direction of movement of the bracket 20 along the guides of the plate 16 coincides with the bisector of the angle between the directions from the optical center of the goniometer to the entrance slots of the goniometer and the X-ray radiation detector. The mounting plate is installed by mounting holes on the pins 25 and its working position is fixed, the screw 26 is tightened by turning the handwheel 30.
5 Ориентируемый слиток 8 закрепл ют на оси поворота ориентирующей приставки так, что ось слитка (или направление удлинени ) совпадает или параллельна этой оси поворота. Перемещением платформы 32 с установленной на ней ориентирующей приставкой 31 совмещают поверхность слитка 8 с оптическим центром гониометра, т.е. точкой пересечени экваториальной плоскости с осью гониометра. Облучают эту поверхность пучком характеристического рентгеновского излучени , привод т слиток во вращение вокруг оси приставки 31 и одновременно поворачивают плиту 6 с приставкой 31 вокруг оси гониометра 2. После достижени отражающего положени слитка прекращают поворотное и вращательное движение слитка, тонкими поворотами слитка вокруг осей приставки 31 и гониометра 2 добиваютс максимальной интенсивности дифракционного отражени , регистрируемого детектором 3. При этом отражающа кристаллографическа плоскость устанавливаетс перпендикул рно экваториальной плоскости гониометра под углом к падающему и отраженному пучкам (на фиг. 1-3 это положение условно показано направлением штриховки слитка 8), Перемещают столик образцов вдоль плиты 16 вращением маховика 21 и приставку 31 с платформой 32 навстречу друг другу, добива сь такого положени , что слиток 8 находитс над монтажной пластиной 9. Поворотом винта 22 поднимают столик 32 до образовани минимального зазора между поверхност ми пластины 9 и слитка 8. Переклеивают слиток 8 на поверхность пластины 9 и освобождают слиток из приставки 31. Поворотом маховика 21 и винта 22 перевод т кронштейн в положение, в котором головка винта 26 находитс в зацеплении с шестерней 27, и поворотом маховика 30 осуществл ют съем монтажной пластины с закрепленным на ней слитком. Перенос т монтажную пластину на подъемный столик станка дл проволочной или химической резки и отрезают пробную пластину монокристалла . Измер ют разориентацию поверхности реза относительно заданной кристаллографической плоскости в двух взаимно перпендикул рных направлени х, одно из которых параллельно, а второе перпендикул рно опорной поверхности стопи- ка образцов. При необходимости провод т корректировку положени базовых элементов кристаллосьемника, котора осуществл етс поворотами винтов 14 и 18, величины корректирующих поворотов отсчитывают по показани м индикаторов 13 и 19. После этого провод т ориентированную резку всех слитков партии5 Oriented ingot 8 is fixed on the axis of rotation of the alignment attachment so that the axis of the ingot (or the direction of extension) coincides or is parallel to this axis of rotation. Moving the platform 32 with the orienting prefix 31 installed on it, combine the surface of the ingot 8 with the optical center of the goniometer, i.e. the intersection point of the equatorial plane with the axis of the goniometer. This surface is irradiated with a characteristic X-ray beam, the ingot is rotated around the axis of the attachment 31, and simultaneously the plate 6 is rotated with the attachment 31 around the axis of the goniometer 2. After the reflection position of the ingot is reached, the ingot is rotated and rotated by thin turns of the ingot around the axes of the attachment 31 and the goniometer 2 achieves the maximum intensity of the diffraction reflection recorded by the detector 3. In this case, the reflecting crystallographic plane is established Perpendicular to the equatorial plane of the goniometer at an angle to the incident and reflected beams (in Fig. 1-3, this position is conventionally shown by the hatching direction of the ingot 8). The sample table is moved along the plate 16 by rotating the flywheel 21 and the attachment 31 with the platform 32 towards each other, reaching of such a position that the ingot 8 is above the mounting plate 9. Turning the screw 22 raises the table 32 until a minimum gap is formed between the surfaces of the plate 9 and the ingot 8. Peel the ingot 8 onto the surface of the plate 9 and release the from the attachment 31. By turning the flywheel 21 and the screw 22, the bracket is moved to a position in which the screw head 26 is engaged with the gear 27, and by turning the flywheel 30, the mounting plate with the ingot fixed on it is removed. Transfer the mounting plate to the lifting table of the machine for wire or chemical cutting and cut off the single crystal test plate. The misorientation of the cut surface relative to a given crystallographic plane is measured in two mutually perpendicular directions, one of which is parallel, and the second is perpendicular to the support surface of the sample stack. If necessary, the positioning of the basic elements of the crystal chip, which is carried out by turning the screws 14 and 18, is carried out. Corrective turn values are counted according to the indications of indicators 13 and 19. After that, oriented cutting of all the ingots of the lot is carried out.
Другой вариант предлагаемого устройства отличаетс тем, что на подвижной плите 32 установлена ориентирующа приставка . При этом кристаллографическа ориентировка плоскостей, наклоненных под малыми углами к оси слитка, осуществл етс согласно описанию указанного предполагаемого изобретени . После достижени максимальной интенсивности отражени слиток переклеиваетс на поверхность монтажной пластины и освобождаетс от роликового зажимного устройства. Пластина 9 переноситс на подъемный столик режущего устройства и режетс на пластины. При этом также достигаетс цель насто щего изобретени .Another variant of the device according to the invention is characterized in that an orienting attachment is mounted on the movable plate 32. In this case, the crystallographic orientation of the planes inclined at small angles to the axis of the ingot is carried out according to the description of the proposed invention. After the maximum reflection intensity has been reached, the ingot is glued to the surface of the mounting plate and released from the roller clamping device. The plate 9 is transferred to the lifting table of the cutting device and cut to the plates. The objective of the present invention is also achieved.
Дополнительное повышение производительности предлагаемой установки достигаетс включением в его состав нескольких режущих устройств, подъемные столики которых снабжены идентичнымиAn additional increase in the performance of the proposed plant is achieved by including several cutting devices in its composition, the lifting tables of which are equipped with identical
базовыми элементами дл креплени взаимозамен емых монтажных пластин 9. В этом варианте корректировка положени базовых элементов кристаллосъемника по результатам измерени разориентации плоскостей пробных срезов производитс дл каждого из режущих устройств и показани индикаторов 13 и 19 восстанавливаютс перед переклеиванием слитков на монтажные пластины, устанавливаемые впоследствииBasic elements for mounting interchangeable mounting plates 9. In this embodiment, the positioning of the basic elements of the stripper according to the results of measurement of the misalignment of the test section planes is performed for each of the cutting devices and the indicators 13 and 19 are restored before pasting the ingots onto the mounting plates, which are subsequently installed
на соответствующем режущем устройстве. В альтернативном варианте выполнени ориентированного резани с использованием предлагаемого комплекса согласование положений базовых элементов осуществл етс доворотами подъемных столиков режущих устройств.on the appropriate cutting device. In an alternative embodiment of oriented cutting using the proposed complex, the coordination of the positions of the base elements is carried out by turning the lifting tables of the cutting devices.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894726315A SU1766685A1 (en) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | Monocrystal orienting cutting unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894726315A SU1766685A1 (en) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | Monocrystal orienting cutting unit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1766685A1 true SU1766685A1 (en) | 1992-10-07 |
Family
ID=21464486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU894726315A SU1766685A1 (en) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | Monocrystal orienting cutting unit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1766685A1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112420505A (en) * | 2020-11-27 | 2021-02-26 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | Method for determining optimal scribing direction of substrate material |
| CN115401343A (en) * | 2022-11-02 | 2022-11-29 | 西安晟光硅研半导体科技有限公司 | Tool for manually cutting crystal ingot on double faces of water jet laser |
-
1989
- 1989-09-01 SU SU894726315A patent/SU1766685A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР N 443431, кл. Н 01 L7/68, 1974. Авторское свидетельство СССР № 364129, кл. В 28 D 5/00, 1971. Бонд В.Л. Технологи кристаллов. М.: Недра, 1980, с.171-177. * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112420505A (en) * | 2020-11-27 | 2021-02-26 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | Method for determining optimal scribing direction of substrate material |
| CN112420505B (en) * | 2020-11-27 | 2024-03-26 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | Method for determining optimal scribing direction of substrate material |
| CN115401343A (en) * | 2022-11-02 | 2022-11-29 | 西安晟光硅研半导体科技有限公司 | Tool for manually cutting crystal ingot on double faces of water jet laser |
| CN115401343B (en) * | 2022-11-02 | 2023-03-14 | 西安晟光硅研半导体科技有限公司 | A frock that is used for two-sided cutting ingot of manual of water jet laser |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4710259A (en) | Setting the orientation of crystals | |
| US5839424A (en) | Process for the orientation of several single crystals disposed side by side on a cutting support for their simultaneous cutting in a cutting machine and device for practicing this process | |
| US4364122A (en) | X-Ray diffraction method and apparatus | |
| CN201044947Y (en) | Crystal face tropism processing X-ray position indicator | |
| JPH08294914A (en) | Method for orienting single crystal for cutting in cutting machine and device for conducting the method | |
| EP0118965B1 (en) | Kinematic x-ray analysis apparatus | |
| CN101639350B (en) | Device for testing and integrating large-caliber plane mirror by Ritchey-Common test | |
| SU1766685A1 (en) | Monocrystal orienting cutting unit | |
| EP0239260A2 (en) | Grading orientation errors in crystal specimens | |
| US4613232A (en) | Measuring device for testing optical systems of an endoscope | |
| US5459770A (en) | X-ray diffractometer | |
| CN114571619A (en) | Monochromator crystal orientation method | |
| US2926258A (en) | X-ray reflection microscopy and diffraction apparatus and method | |
| JPH112614A (en) | X-ray measuring method of single crystal axial orientation and device | |
| JP3280869B2 (en) | Crystal orientation alignment method for cutting single crystal ingot with cleavage | |
| JPH0743331B2 (en) | Detector | |
| JPH06122119A (en) | Seed rod cutting method | |
| Denne | A new concept in goniometer head design | |
| JP2002148219A (en) | X-ray diffractometer | |
| CN214427276U (en) | Clamp for measuring optical crystal | |
| SU1608528A1 (en) | Holder of monocrystal to x-ray goniometer | |
| SU1436035A1 (en) | Single crystal holder for x-ray diffraction meter | |
| JP2732311B2 (en) | X-ray topography equipment | |
| SU977990A1 (en) | Method of preparing specimens for investigating crystal structure thereof | |
| Renton et al. | Some Specialized Attachments for the Siemens X-ray Diffractometer |