SU1749733A1 - Пьезоэлектрический датчик давлени и способ его настройки - Google Patents

Пьезоэлектрический датчик давлени и способ его настройки Download PDF

Info

Publication number
SU1749733A1
SU1749733A1 SU894766995A SU4766995A SU1749733A1 SU 1749733 A1 SU1749733 A1 SU 1749733A1 SU 894766995 A SU894766995 A SU 894766995A SU 4766995 A SU4766995 A SU 4766995A SU 1749733 A1 SU1749733 A1 SU 1749733A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
compensating
piezoelectric element
working
membrane
piezoelectric
Prior art date
Application number
SU894766995A
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Николаевич Мордовин
Виктор Николаевич Марин
Валентин Николаевич Кузин
Иван Петрович Винокуров
Original Assignee
Научно-исследовательский институт физических измерений
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский институт физических измерений filed Critical Научно-исследовательский институт физических измерений
Priority to SU894766995A priority Critical patent/SU1749733A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1749733A1 publication Critical patent/SU1749733A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  быстропеременных, ударных и акустических давлений. Цель изобретени  - уменьшение погрешностей от воздействи  вибраций и повышение точности настройки во всем частотном диапазоне вибраций. Датчик давлени  содержит корпус 1, за одно целое с которым выполнена воспринимающа  мембрана 2, подушка 3 и рабочий пье- зоэлемент 4. Корпус 1 через основание 5 герметично соединен с помощью сварки с нижним корпусом 6, в котором размещен виброкомпенсирующий узел, который состоит из компенсирующей мембраны 7, виброгруза 8 и компенсирующего пьезоэлемента 9, идентичных соответственно воспринимающей мембране 2, подушке 4 и рабочему пьезоэлементу 4. Компенсирующий пьезоэлемент 9 поджат к компенсирующей мембране 7 с помощью нижнего 2 3 ь , / / (Л С 2 чэ v| OJ со

Description

основани  10 эквивалентно усилию поджа- ти  рабочего пьезоэлемента. Дл  точного задани  усили  на компенсирующий пьезо- элемент 9 введена коническа  винтова  пара , состо ща  из втулки-шестерни 11 и конического винта 12. Настройка датчика по виброкомпенсации осуществл етс  в два этапа. На первом этапе в процессе сборки датчика компенсирующий пьезоэлемент 9 предварительно поджимают к компенсирующей мембране 7 за счет резьбовой втулки- шестерни 11с усилием, эквивалентным
усилию поджати  рабочего пьезоэлемента 4. На втором этапе датчик устанавливают на вибростенд, подключают к нему измерительную аппаратуру и при воздействии на него вибрации определенной величины, регистриру  характеристики, регулируют собственную частоту компенсирующего пьезоэлемента до совпадени  с собственной частотой рабочего пьезоэлемента путем изменени  силы поджати  компенсирующего пьезоэлемента. 2 с. п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относитс  к контрольно- измерительной технике и может быть использовано при конструировании и -производстве пьезоэлектрических датчиков , предназначенных дл  измерени  быст- ропеременных, ударных и акустических давлений, а также дл  измерени  параметров вибраций.
Известен пьезоэлектрический датчик давлени , содержащий корпус с мембраной и установленный внутри корпуса пьезоэлемент , выполненный в виде цилиндра. В данном устройстве с целью повышени  точности и уменьшени  вли ни  ускорени , опора пьезоэлемента в корпусе расположена в плоскости, раздел ющей цилиндр на две симметричные части 1.
Известен пьезоэлектрический датчик давлени , в котором с целью снижени  вли ни  вибраций на точность измерени  цилиндрический пьезоэлемент разделен кольцевой прорезью на внутреннюю цилиндрическую и внешнюю кольцевую части равной площади, причем на внутренней части пьезоэлемента установлен воспринимающий давление диск.
Недостатком указанных датчиков  вл етс  то, что они до конца не обеспечивают компенсацию паразитного сигнала от вибрации .
Известен пьезоэлектрический датчик давлени , содержащий корпус, в котором выполнены две камеры, в первой из которых размещен рабочий пьезоэлемент, а во второй - компенсирующий. Дл  повышени  виброустойчивости компенсирующий элемент конструктивно изолирован от действи  измер емого давлени .
Недостаток известной конструкции датчика заключаетс  в том, что рабочий пьезоэлемент находитс  в предварительно нагруженном состо нии, а компенсирующий - в ненагруженном. Это ведет к разнице собственных частот рабочего и компенсирующего элементов, к различной
чувствительности их к воздействию вибрации во всем рабочем диапазоне частот и, как следствие этого, погрешность от вибрации оказываетс  достаточно велика.
Известен способ настройки пьезоэлектрического датчика давлени  по виброкомпенсации заключающийс  в том, что пьезоэлемент в конструкции прибора размещают так, что его опора располагаетс  в
плоскости, котора  раздел ет указанный пьезоэлемент на две симметричные части. Вследствие этого, при действии ускорений в направлении оси датчика суммарный выходной сигнал датчика от действи  вибрации стремитс  к нулю, а .при действии поперечных составл ющих ускорений паразитного сигнала не возникает из-за симметрии пьезоэлемента относительно его продольной оси 1.
Недостаток известного способа заключаетс  в том, что освободить компенсирующую часть пьезоэлемента от рабочего давлени  практически до конца никогда не удаетс , а это полностью отражаетс  на точности настройки (снижает ее), кроме того, не удаетс  добитьс  полной симметрии рабочей и компенсирующей частей условно разделенного при закреплении пьезоэлемента. Известен способ настройки пьезоэлектрического датчика быстропеременных дав- лений, заключающийс  в том, что виброкомпенсирующий узел в конструкции прибора размещают отдельно от рабочего пьезоэлемента, исключа  воздействие на
компенсирующий пьезоэлемент быстропе- ременного давлени , а затем поджимают его к опорному основанию с помощью посто нного груза.
Недостатком способа  вл етс  то, что
пьезозлементы оказываютс  нагружены различными усили ми, отсюда разница собственных частот, неравномерность частотных характеристик поджатых пьезоэлементов и, как следствие, их разна 
чувствительность к вибрации.
Цель изобретени  - уменьшение погрешностей от воздействи  вибраций и повышение точности настройки во всем частотном диапазоне вибраций датчика.
Изобретение делает возможным реали- зацию двух совершенно идентичных чувствительных элементов, один из которых (основной - рабочий) воспринимает как давление , так и вибрацию, другой же (дополнительный - компенсирующий) только вибрацию, причем чувствительность к вибрации обоих пьезоэлементов при их окончательном закреплении становитс  равной, а так как между собой пьезоэлементы электрически соединены встречно, вследствие чего сигнал с пьезомодулей складываетс  в противофазе, с выхода измерительной схемы датчика снимаетс  сигнал, пропорциональный только измер емому давлению. Идентичность расположени  и закреплени  чувствительных элементов обеспечиваетс  как конструктивными признаками датчика, так и его методом настройки, обеспечивающим одинаковые усили  поджати  рабочего и компенсирующего пьезоэлементов.;
На фиг, 1 показан пьезоэлектрический датчик, общий вид; на фиг. 2 - схема настройки датчика предлагаемым способам.
Пьезоэлектрический датчик содержит корпус 1, за одно целое с которым выполне- на воспринимающа  мембрана 2, св занна  через подушку 3 с рабочим пьезоэлементом 4. Рабочий пьезоэлемент 4 защемлен между мембраной 2 и основанием 5 с определен нум усилием, завис щим от величины воз- действующего давлени  и конструктивных характеристик устройства. Корпус 1 через основание 5 герметично соединен с помощью сварки с нижним корпусом б, в котором размещен виброкомпенсирующий узел. Виброкомпенсирующий узел состоит из компенсирующей мембраны 7, котора  выполнена идентично воспринимающей мембране 2 и за одно целое с нижним корпусом 6, виброгруза 8 и компенсирующего пьезоэлемента 9, также идентичных соответственно подушке 3 и рабочему пьезоэле- менту 4. Компенсирующий пьезоэлемент 9 поджат к компенсирующей мембране 7с помощью нижнего основани  10 и резьбо- вой конической втулки-шестерни 11с усилием , близким к усилию поджати  рабочего пьеэоэлемента 4.
Дл  более точного задани  усили  на компенсирующий пьезоэлемент 9 и созда- ни  возможности настройки собранного датчика в датчик введен конический винт- шестерн  12. вход щий совместно с втулкой 11 в коническую винтовую пару. Дл  обеспечени  ее нормальной работы коническа 
передача выполнена, исход  из услови : отношение шагов резьб равно передаточному числу конической передачи, т.е. tt Za 12 Zi
где ft и Zi - соответственно шаг резьбы и число зубьев винта-шестерни 12:
t2 и Za - соответственно шаг резьбы и число зубьев втулки-шестерни 11.
Настройка датчика по виброкомпенсации проводитс  в два этапа: первый - этап грубой настройки и второй - этап точной настройки. Груба  настройка осуществл етс  в процессе сборки датчика и заключаетс  в предварительном поджатии компенсирующего пьезоэлемента 9 к компенсирующей мембране 7, за счет резьбовой втулки-шестерни 11с усилием, Эквивалентным усилию поджати  рабочего льезоэлёмента 4. Данное усилие задаётс  определенным моментом зат жки втулки 11, величина которого зависит от усили  поджати  рабочего пьеэоэлемента 4. Второй этап начинаетс  после окончательной сборки датчика. Датчик устанавливают на вибростенд, подключают к нему измерительную аппаратуру и при воздействии на него вибрации определенной величины, регистриру  характеристики с рабочего и компенсирующего пьезоэлементов во всем заданном частотном диапазоне , определ ют конкретную частоту, на которой имеетс  наибольша  амплитудна  разница. Точную настройку осуществл ют на указанной частоте, мен   за Счет поворота винта 12 усилие поджати  на компенсирующий пьезоэлемент 9 так, чтобы разница между сигналами от вибрации с рабочего и компенсирующего элементов была минимальна , После окончательной настройки винт 12 контритс  любым известным способом (сварка, пайка, клейка и т.д.), а рабочий и компенсирующий пьезоэлементы коммутируютс  с помощью электрических выводов 13 в одну общую измерительную схему.
Датчик давлени  работает следующим образом.
При действии на приемную полость датчика измер емого параметра, например бы- стропеременногодавлени ,
воспринимающа  мембрана 2 передает деформацию через подушку 3 на рабочий пьезоэлемент 4, Под действием деформации в указанном пьезоэлементе возникают зар ды , которые снимаютс  с электродов через выводы 13 и подаютс  на вторичную аппаратуру . При одновременном действии измер емого параметра и вибрации сигнал, св занный с возникновением зар дов в рабочем пьезозлементе 4 от действи  вибрации , компенсируетс  встречным сигналом от вибраций, возникающим в компенсирующем пьезоэлементе 9, в св зи с чем с выхода измерительной системы на вторичную аппаратуру (например, усилитель зар да Девиз ) поступает сигнал, пропорциональный только измер емому быстропеременному давлению.
Технико-экономическими преимуществами изобретени   вл етс  следующее: погрешность датчиков от вибрации снижена в 2,5 раза; виброэквивалент уменьшен в 2,25 раза; неравномерность частотной характеристики снижена в 2,4 раза.

Claims (2)

  1. Формула изобретени  Пьезоэлектрический датчик давлени , содержащий полый корпус и основание, раздел ющее корпус на верхнюю и нижнюю части, в верхней части корпуса размещены мембрана и рабочий пьезоз емент, поджатый к мембране основанием, а в нижней части корпуса установлен компенсирующий пьезоэлемент, при этом рабочий и компенсирующий пьбзоэлементы включены электрически параллельно, отличающийс  тем, что, с целью уменьшени  погрешностей от воздействи  вибраций, он снабжен компенсирующей мембраной, выполненной за одно целое с нижней частью корпуса, и конической винтовой парой, выполненной в виде резьбовой втулки, сопр женной с внутренней поверхностью нижней части корпуса с возможностью перемещени  по его оси, и винта, установленного в нижней части корпуса и контактирующего с втулкой, при этом компенсирующий пьезоэлемент зажат между компенсирующей мембраной и резьбовой втулкой.
  2. 2. Способ настройки пьезоэлектрического датчика давлени , включающий регулировку компенсирующего вибрации
    пьезоэлемента, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности настройки во всем частотном диапазоне вибраций, нагружают компенсирующий пьезоэлемент сосредоточенной силой, эквивалентной усилию поджати  рабочего пьезоэлемента, устанавливают датчик на вибростенд и при действии вибраций в заданном частотном диапазоне регулируют собственную частоту компенсирующего пьезоэлемента до совпадени  с собственной частотой рабочего пьезоэлемента путем изменени  силы поджати  компенсирующего пьезоэлемента .
    1
    п
SU894766995A 1989-12-03 1989-12-03 Пьезоэлектрический датчик давлени и способ его настройки SU1749733A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894766995A SU1749733A1 (ru) 1989-12-03 1989-12-03 Пьезоэлектрический датчик давлени и способ его настройки

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894766995A SU1749733A1 (ru) 1989-12-03 1989-12-03 Пьезоэлектрический датчик давлени и способ его настройки

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1749733A1 true SU1749733A1 (ru) 1992-07-23

Family

ID=21483576

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894766995A SU1749733A1 (ru) 1989-12-03 1989-12-03 Пьезоэлектрический датчик давлени и способ его настройки

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1749733A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 317928, кл. G 01 L 9/08, 1971. Авторское свидетельство СССР № 330363, кл. G 01 L 9/00. 1972. За вка GB № 2148008, G 01 L 9/08,1986. Датчик давлени 522 М4, Проспект фирмы Endevco, US 1985. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3673442A (en) Temperature compensated piezoelectric accelerometer
US4441044A (en) Transducer with a piezoelectric sensor element
US3320582A (en) Piezoelectric transducer
US4096740A (en) Surface acoustic wave strain detector and gage
US5113698A (en) Vibrating beam transducer drive system
US4586377A (en) Dual accelerometer, method for its fabrication and application thereof
JP3718063B2 (ja) 加速度補償された圧力トランスデューサおよびその調節方法
US4175243A (en) Temperature compensated oscillating crystal force transducer systems
US5524491A (en) Combined force, strain and sound emission transducer
US3402609A (en) Semiconductor mechanical-to-electrical transducer
US5572081A (en) Accelerometer
US4495433A (en) Dual capability piezoelectric shaker
US4052628A (en) Dynamic, shear-mode piezoelectric pressure sensor
US6435000B1 (en) Method for calibrating sensitivity of acceleration sensor
US5477729A (en) Acoustic emission transducer
SU1749733A1 (ru) Пьезоэлектрический датчик давлени и способ его настройки
US20050000288A1 (en) Acceleration sensor
US5677894A (en) Hydrophone structure with center pin
RU2043610C1 (ru) Датчик акустического давления
SU1714461A1 (ru) Устройство вибродиагностики режущего инструмента
SU1691693A1 (ru) Датчик давлени
RU2797312C1 (ru) Пьезоэлектрический датчик давления ударных волн
RU2815862C1 (ru) Пьезоэлектрический датчик давления ударных волн
SU1500875A1 (ru) Датчик динамических усилий
SU1587344A1 (ru) Трехкомпонентный вибропреобразователь