SU1747968A1 - Method of metering a rarefied gas pressure and device thereof - Google Patents

Method of metering a rarefied gas pressure and device thereof Download PDF

Info

Publication number
SU1747968A1
SU1747968A1 SU904811389A SU4811389A SU1747968A1 SU 1747968 A1 SU1747968 A1 SU 1747968A1 SU 904811389 A SU904811389 A SU 904811389A SU 4811389 A SU4811389 A SU 4811389A SU 1747968 A1 SU1747968 A1 SU 1747968A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
input
temperature
output
thermistor
current
Prior art date
Application number
SU904811389A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Петрович Логвиненко
Виктор Семенович Мотузко
Original Assignee
Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро По Криогенной Технике С Опытным Производством Физико-Технического Института Низких Температур Ан Усср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро По Криогенной Технике С Опытным Производством Физико-Технического Института Низких Температур Ан Усср filed Critical Специальное Конструкторско-Технологическое Бюро По Криогенной Технике С Опытным Производством Физико-Технического Института Низких Температур Ан Усср
Priority to SU904811389A priority Critical patent/SU1747968A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1747968A1 publication Critical patent/SU1747968A1/en

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике. Цель - повышение быстродействи  и расшир-ение функциональных возможностей за счет одновременного измерени  температуры газа. Измерени  провод т за три последовательных временных такта. В первом такте термочувствительный датчик давлени  перегревают первым перегревающим током от первого до второго фиксированного значени  температуры термочувствительного датчика, во втором выключают перегревающий ток и охлаждают его от второй до первой фиксированной температуры , в третьем включают второй перегревающий ток, не равный первому до достижени  термочувствительным датчиком второй фиксированной температуры, U) СThis invention relates to a measurement technique. The goal is to increase speed and expand functionality by simultaneously measuring the gas temperature. Measurements are taken in three consecutive time ticks. In the first cycle, the temperature-sensitive pressure sensor is overheated by the first overheating current from the first to the second fixed temperature value of the temperature-sensitive sensor, the second one turns off the overheating current and cools it from the second to the first fixed temperature, turns on the second overheating current not equal to the first one to the second one fixed temperature, U) C

Description

22

NJNJ

причем в течение каждого такта провод т измерение количества тепла, выделившеес  в те рмодатчике при его нагревании и охлаждении , и интегрирование по времени текущей температуры Температуру и давление среды определ ют по определенным соответствующим математическим зависимост м . Устройство дл  осуществлени  способа содержит термочувствительный датчик 1, дискретно управл емый источник 2 тока, усилитель 10 с дискретно управл емым коэффициентом усилени , компаратор 19, делитель 20 напр жени  с дискретно управл емым коэффициентом передачи, источник 25 опорного напр жени , преобразователь 26 напр жени , счетчики 27 и 28 импульсов, генератор 29 импульсов, запоминающий блок 30, вычислительный блок 37 и блок 38 управлени . По сигналам блока 38 управлени  происходит включение и выключение перегревающего тока. 2 с.п. ф- лы,2 ил.during each cycle, the amount of heat released in the thermal sensor when it is heated and cooled is measured and the current temperature is integrated over time. The temperature and pressure of the medium are determined according to certain corresponding mathematical dependencies. An apparatus for carrying out the method comprises a temperature-sensitive sensor 1, a discretely controlled current source 2, an amplifier 10 with a discretely controlled gain factor, a comparator 19, a voltage divider 20 with a discretely controlled transmission coefficient, a reference voltage source 25, a voltage converter 26, counters 27 and 28 pulses, pulse generator 29, storage unit 30, computing unit 37 and control unit 38. On signals from control unit 38, the overheating current is switched on and off. 2 sec. f-ly, 2 ill.

Изобретение относитс  к технике теп- лофизических измерений и может быть использовано дл  измерени  малых давлений газа и его температуры.The invention relates to a technique of thermophysical measurements and can be used to measure low gas pressures and its temperature.

Известен способ измерени  вакуума при помощи термопреобразовател , включающий его перегрев током посто нной мощности, измерение температуры термочувствительного резистора через равные промежутки времени и дальнейшее определение давлени  при помощи математической формулы,There is a known method for measuring vacuum using a thermal converter, including its overheating by a constant-power current, measuring the temperature of a temperature-sensitive resistor at regular intervals and further determining pressure using a mathematical formula,

Недостатком данного способа  вл етс  невозможность проведени  с его помощью комплексных измерений параметров разреженных газов - давлени  и температуры. Сочетание отдельных типов измерений приводит к значительной длительности проведени  этих измерений.The disadvantage of this method is the impossibility of carrying out with its help complex measurements of the parameters of rarefied gases — pressure and temperature. The combination of individual types of measurements leads to a considerable duration of these measurements.

Наиболее близки к предлагаемым способ измерени  вакуума и устройство дл  его осуществлени , основанные на использование термочувствительного резистора. Терморезистор нагревают и охлаждают путем периодического включени  и выключени  перегревающего его относительно температуры газовой среды электрического посто нного тока, при этом измер ют врем  нагрева терморезметора от первого исходного значени  на нормированную величину, охлаждают терморезистор до температуры ниже второго исходного значени , не равного первому, измер ют врем  нагрева терморезистора от третьей фиксированной температуры до четвертой, затем периодически включают и выключают перегревающий ток, дава  возможность температуре терморезистора изменитьс  на нормированное приращение и регулиру  при этом его величину до тех пор, пока длительность второго интервала не станет равной длительности первого, определ ют мощности, выделившиес  на терморезисторе в первом и втором интервалах времени, давление определ ют по математической формуле.Closest to the proposed method of measuring vacuum and a device for its implementation, based on the use of a temperature-sensitive resistor. The thermistor is heated and cooled by periodically turning on and off the electric direct current that heats it up against the temperature of the gas medium, while measuring the heating time of the thermometer from the first initial value by a normalized value, cools the thermistor to a temperature below the second initial value not equal to the first, measured the heating time of the thermistor from the third fixed temperature to the fourth, then periodically turn on and off the superheating current, giving possibly In order to change the temperature of the thermistor to the normalized increment and adjusting its value until the duration of the second interval is equal to the duration of the first one, the powers allocated to the thermistor in the first and second time intervals are determined, the pressure is determined by a mathematical formula.

Устройство дл  измерени  вакуума содержит терморезистор, включенный в одну из ветвей измерительного моста, усилитель, формирователь опорных импульсов, блокA device for measuring vacuum contains a thermistor included in one of the branches of the measuring bridge, an amplifier, a driver of reference pulses, a block

выделени  интервалов времени, регул тор напр жени , электронный ключ и задатчик напр жени  смещени .timing, voltage regulator, electronic key and bias voltage adjuster.

Недостатком известных способа и устройства  вл етс  малое быстродействиеThe disadvantage of the known method and device is low speed.

при измерении вакуума, что св зано с необходимостью регулировани  мощности дл  получени  заданного времени нагрева, дл  чего необходимо выполнение нескольких циклов нагрева-охлаждени  терморезистора . При быстром изменении давлени  этот недостаток усиливаетс . Быстродействие известного способа ухудшаетс  также в св зи с необходимостью периодической тарировки времени нагрева при измеренииwhen measuring vacuum, which is associated with the need for power control to obtain a given heating time, which requires several heating-cooling cycles of the thermistor. With a rapid change in pressure, this deficiency is exacerbated. The speed of a known method is also deteriorated due to the need to periodically calibrate the heating time when measuring

температуры окружающей среды, дл  чего терморезистор вывод т из режима измерени .ambient temperature, for which the thermistor is removed from the measurement mode.

Кроме того, отсутствует возможность одновременного определени  температурыIn addition, there is no possibility to simultaneously determine the temperature.

окружающее газа.ambient gas.

Цель изобретени  - повышение быстродействи  и расширение функциональных возможностей за счет одновременного измерени  температуры газа.The purpose of the invention is to increase speed and enhance functionality by simultaneously measuring the gas temperature.

Как следует из теории калориметрического эксперимента, если тело, размещенное в газе с температурой вср, и имеющее начальную температуру #1 0Ср, за некоторое брем  нагреть мощностью Pi до конечной температуры вг.. то необходимо дл  нагрева тела количество тепла в (потери тепла этим телом на теплообмен излучением и теплопроводностью по элементам конструкции минимизированы и не учитываютс ) может быть определено из уравнени  теплового балансаAs follows from the theory of a calorimetric experiment, if a body placed in a gas with a temperature of bp and having an initial temperature of # 1 0Cp, for some burden, heat the power Pi to the final temperature vg. for heat exchange by radiation and thermal conductivity on structural elements minimized and not taken into account) can be determined from the heat balance equation

СИ Н(ft -0|) +а (0 - ftp)dtSI H (ft -0 |) + a (0 - ftp) dt

titi

(1)(one)

45 где Н тС (т - масса; С - теплоемкость);45 where N tC (t is the mass; C is the heat capacity);

or- коэффициент теплоотдачи; ti, t2 - моменты времени достижений температур соответственно;or - heat transfer coefficient; ti, t2 are the time points of reaching the temperatures, respectively;

А-7A-7

Т1T1

Pidt - тепло, сообщаемое тер- gPidt - heat reported by ter- g

морезистору.to the sea diver.

Первый член правой части (1) равен количеству тепла, запасенного телом при иа- греве его от в до &2 второй член - количеству тепла, отданного телом окружающему газу с температурой вср за врем  П t2-ti посредством теплоотдачи.The first member of the right-hand side of (1) is equal to the amount of heat stored by the body when it is heated from in to –2.

Уравнение теплового баланса дн  участка охлаждени  тела от температуры 9г до момента времени тз достижени  им температуры #1 может быть записано в видеThe heat balance equation for the day of the body cooling section from the temperature 9g to the instant of time tc reaches its temperature # 1 can be written as

Q2 Н(% - ft ) +« / (в - 0cp)dt,Q2 H (% - ft) + «/ (at - 0cp) dt,

1212

t3t3

где Oi - J Padt - тепло сообщаемое тер12where Oi - J Padt - heat reported ter12

морезистору измерительным током мощностью Р2 « Pito the seismistor with measuring current with power P2 «Pi

Уравнение теплового баланса дл  участка нагрева мощностью Рз Р2 по аналогии с уравнением (1) запишем в видеThe heat balance equation for the heating section with the power Рз Р2, by analogy with equation (1), is written as

ЧH

Q3 H(0i -fc)+a/(0- 0cp)dt (3)Q3 H (0i -fc) + a / (0-0cp) dt (3)

1313

Реша  систему уравнений (1)-(3) относительно «при условии вср COnSt, ПОЛуЧЭ- емSolving the system of equations (1) - (3) with respect to "under the condition

а (0|+fe)(T2+T3)-(Q2+Q3)(Tl-fT2)a (0 | + fe) (T2 + T3) - (Q2 + Q3) (Tl-fT2)

(T2+T3)tf0dt-(Ti+T2)j 0dt(T2 + T3) tf0dt- (Ti + T2) j 0dt

ЦtaCta

(4)(four)

Так как теплова  проводимость среды пр мо пропорциональна давлению (Р К и), тоSince the thermal conductivity of the medium is directly proportional to pressure (P K u), then

р„ (Q1 + Q2)(T2 + Тз)-(02 + 03)(Т1 +T2)p „(Q1 + Q2) (T2 + Tz) - (02 + 03) (T1 + T2)

К - | л- - .--..т.-.-..-J-- .. -л,еK - | l- - .-- .. t.-.-..- J-- .. -l, e

(Т2 + Т3) j #dt -(Ti + Т2) /#dt(T2 + T3) j #dt - (Ti + T2) / # dt

И12And 12

(В)(AT)

Реша  систему уравнений (1}-(3) относительно вср. получимSolving the system of equations (1} - (3) relatively vr. We get

(Qi4-Q2)t/0dt-(Q2+Q3) 55(Qi4-Q2) t / 0dt- (Q2 + Q3) 55

t2 t2t2 t2

(01 +Q2)(T2 +T3)-(Q2+Q3)(T1 +T2)(01 + Q2) (T2 + T3) - (Q2 + Q3) (T1 + T2)

(6)(6)

gg

Q  Q

2020

2525

30thirty

ос wasp

UU

4545

5050

5555

))

На фиг. 1 приведены диаграммы измерени  температуры на терморезисторе; на фиг.2 - структурна  схема устройства дл  измерени  вакуума и температурыFIG. 1 shows diagrams of temperature measurement on a thermistor; 2 is a block diagram of a device for measuring vacuum and temperature.

Способ осуществл ют следующим образом .The method is carried out as follows.

Помещенный в измер емую среду термопреобразователь сопротивлени  перегревают по отношению к температуре окружающей среды #Ср(фиг.1) первым перегревающим током И до первой фиксированной температуры в и с момента ее достижени  ti измер ют количество тепла QI, выделившеес  в терморезисторе до момента времени t2 достижени  им второй фиксированной температуры б #i В момент времени t2 выключают перегревающий ток и измер ют врем  его охлаждени  до температуры Qi,фиксиру  момент тз и количество тепла Q2, подведенного к терморезистору в процессе измерени . Одновременно на промежутках времени Ti t2-tt и Т2 - Ш2 интегрируют по времени текущую температуру терморезистора в В момент времени t3 включают перегревающий ток 2, например h It, и измер ют количество тепла, выделившеес  на терморезисторе до момента t4 достижени  им второй фиксированной температуры &2, интегриру  при этом текущую температуру по времени В момент времени Т4 ток выключают, а температуру среды и давление вычисл ют по формулам (5) и (6).The resistance thermocouple placed in the measured medium is overheated with respect to the ambient temperature # Cf (Fig. 1) with the first superheating current I to the first fixed temperature in and since it reaches ti they measure the amount of heat QI released in the thermistor until reaching time t2 The second fixed temperature is b # i At the moment of time t2, the overheating current is turned off and the time of its cooling to the temperature Qi is measured, fixing the time TK and the amount of heat Q2 supplied to the thermistor during measurements. At the same time, over time periods Ti t2-tt and T2 - Ш2 integrate over time the current temperature of the thermistor at time t3 turn on overheating current 2, for example h It, and measure the amount of heat released on the thermistor until t4 reaches its second fixed temperature & 2, integrating the current temperature over time. At time T4, the current is turned off, and the medium temperature and pressure are calculated using formulas (5) and (6).

Устройство дл  осуществлени  предлагаемого способа содержит терморезистор 1 манометрического преобразовател  дискретно управл емый источник 2 тока состо щий из ключей 3-5, резисторов 6-8 и усилител  9, усилитель 10 с дискретно управл емым коэффициентом усилени , состо щий из резистора 11, ключей 12-14 резисторов 15-17 и усилител  18, компаратор 19, делитель 20 напр жени  с дискретно управл емым коэффициентом передачи, состо щий из резисторов 21 и 22 и ключей 23 и 24, источник 25 опорного напр жени , преобразователь 26 напр жени  в частоту, счетчики 27 и 28 импульсов, генератор 29 импульсов, запоминающий блок 30, состо щий из регистров 31-36 пам ти, вычислительный блок 37 и блок 38 управлени . По сигналам блока 38 управлени  происходит включение и выключение перегревающего тока Обработка информации происходит в вычислительном блоке. Выходные коды вычислительного блока пр мо пропорциональны величинам вср и Р Ф о р м у л а и з о б р е т е н и  A device for carrying out the proposed method comprises a thermistor 1 of a pressure converter and a discretely controlled current source 2 consisting of keys 3-5, resistors 6-8 and amplifier 9, an amplifier 10 with discretely controlled gain factor, consisting of resistor 11, keys 12- 14 resistors 15-17 and amplifier 18, comparator 19, voltage divider 20 with discretely controlled gain, consisting of resistors 21 and 22 and switches 23 and 24, reference voltage source 25, voltage-to-frequency converter 26, counters 27 and 28 pulses, a pulse generator 29, a storage unit 30 consisting of memory registers 31-36, a computing unit 37 and a control unit 38. On signals from control unit 38, the overheating current is turned on and off. Information is processed in the computing unit. The output codes of the computational unit are directly proportional to the values of Vsr and R f o rmu l and z o b rie

1. Способ измерени  давлени  разреженного газа, основанный на нагревании и охлаждении терморезистора периодическим включением и выключением электрического тока, измерении длительности интервалов времени нагреваний и охлаждени , в течение которых температура терморезистора мен етс  в заданном фиксированном диапазоне, и определении количеств тепла, выдел ющихс  в терморезисторе в течение каждого интервала времени , отличающийс  тем, что, с целью повышени  быстродействи  и расширени  функциональных возможностей за счет одновременного измерени  температуры газа , измерени  производ т в течение первого, второго и третьего интервалов времени , причем в первом интервале времени включают перегревающий ток первой величины и интегрируют по времени температуру терморезистора, во втором интервале времени выключают перегревающий ток и интегрируют по времени температуру терморезистора , в третьем интервале времени включают перегревающий ток второй величины, не равной первой величине, и интегрируют по времени температуру терморезистора , затем выключают перегревающий ток и определ ют давление Р газа и его среднюю температуру #ср по соотношени м1. A method for measuring a rarefied gas pressure based on heating and cooling a thermistor by periodically turning on and off an electric current, measuring the duration of heating and cooling time intervals during which the temperature of the thermistor changes at a predetermined fixed range, and determining the amount of heat generated in the thermistor during each time interval, characterized in that, in order to increase speed and enhance functionality by simultaneously measurement of the gas temperature, measurements are made during the first, second and third time intervals, with the first time including the superheating current of the first magnitude and integrating the temperature of the thermistor in time, the second heating time turning off the temperature of the thermistor, the third time interval includes the superheating current of the second value, not equal to the first value, and integrate the temperature of the thermistor with time, then turn off the superheating current and determine the pressure P of the gas and its average temperature # cf by the ratio

рg (.31+Q2XT2 +Тз)-(02+Оз)(Т1+Т5) Tsi+S2}(T2+T3)-(Si+S2)(Ti+TT)pg (.31 + Q2XT2 + Tz) - (02 + Oz) (T1 + T5) Tsi + S2} (T2 + T3) - (Si + S2) (Ti + TT)

ftp ftp

(Q +Q2KS +S-Q-(Q2 4-Cn)(Sl -f 52 ) (01 +Q2)(T2 +Тз)-(02 +Q3)(T1 + T2) (Q + Q2KS + S-Q- (Q2 4-Cn) (Sl-f 52) (01 + Q2) (T2 + Tz) - (02 + Q3) (T1 + T2)

где К - градуировочный коэффициент;where K is the calibration coefficient;

Ti,Ta,T3 - длительности первого, второго и третьего интервалов времени;Ti, Ta, T3 - the duration of the first, second and third time intervals;

Qi.Q2,Q3 - количества тепла, измеренные в первом, втором и третьем интервалах времени;Qi.Q2, Q3 - the amount of heat measured in the first, second and third time intervals;

Si,S2,S3 - интегралы температуры терморезистора в первой,второй и третий интерволы времени.Si, S2, S3 - integrals of the temperature of the thermistor in the first, second and third time intervals.

2 Устройство дл  измерени  давлени  разреженного газа, содержащее тёрмопре- образователь сопротивлени  и источник опорного напр жени  отличающеес  тем, что, с целью повышени  быстродействи  и расширени  функциональных возможностей за счет одновременного измерени  температуры газа, в него введены дискретно управл емый источник тока, усилитель с дискретно регулируемым коэффициентом2 A device for measuring the pressure of a rarefied gas, which contains a resistive thermoconverter and a source of voltage, characterized in that, in order to increase speed and enhance functionality by simultaneously measuring the gas temperature, a discretely controlled current source is introduced into it, adjustable ratio

усилени , делитель напр жени  с дискретно управл емым коэффициентом передачи, преобразователь напр жени  в частоту, первой и второй счетчики импульсов, генератор импульсов, запоминающий блок, вычислительный блок, компаратор и блок управлени , при этом термопреобразователь подключен к выходу дискретного управл емого источника тока, первый, второй и третий управл ющие входы которого подключены соответственно к первому, второму и третьему выходам блока управлени , которые подключены также соответственно к первому, второму и третьему управл ющему входам усилител  с дискретноgain, voltage divider with discretely controlled transmission coefficient, voltage to frequency converter, first and second pulse counters, pulse generator, storage unit, computing unit, comparator and control unit, while the thermal converter is connected to the output of the discrete controlled current source, the first, second and third control inputs of which are connected respectively to the first, second and third outputs of the control unit, which are also connected respectively to the first, second and third at a control input of the amplifier to discretely

регулируемым коэффициентом усилени , информационный вход которого подключен к термопреобразователю, а выход - к первому входу преобразовател  напр жени  в частоту и к первому входу компаратора,adjustable gain, the information input of which is connected to the thermal converter, and the output to the first input of the voltage to frequency converter and to the first input of the comparator,

второй вход которого подключен к выходу делител  с дискретно управл емым коэффициентом передачи, первый и второй входы которого соединены соответственно с четвертым и п тым выходами блока управлени , вход которого подключен к выходу компаратора, а шестой выход - к первым входам первого и второго счетчиков импульсов , причем выход источника опорного напр жени  подключен к третьему входуThe second input of which is connected to the output of a divider with discretely controlled transmission coefficient, the first and second inputs of which are connected respectively to the fourth and fifth outputs of the control unit, the input of which is connected to the comparator output and the sixth output to the first inputs of the first and second pulse counters, moreover, the output of the reference voltage source is connected to the third input

делител  напр жени  с дискретно управл емым коэффициентом передачи и к четвертому входу управл емого источника тока, первый выход генератора импульсов соединен с вторым входом второго счетчика импульсов , а второй выход - с вторым входом преобразовател  напр жени  в частоту, выход которого подключен к второму входу первого счетчика импульсов, соединенного выходом с первым входом запоминающегоvoltage divider with discretely controlled transmission coefficient and to the fourth input of the controlled current source, the first output of the pulse generator is connected to the second input of the second pulse counter, and the second output to the second input of the voltage to frequency converter, the output of which is connected to the second input of the first pulse counter connected to the output of the first memory

блока, второй вход которого соединен с выходом второго счетчика импульсов, а третий, четвертый и п тый его входы соединены соответственно с седьмым, восьмым и дев тым выходами блока управлени , приunit, the second input of which is connected to the output of the second pulse counter, and the third, fourth and fifth of its inputs are connected respectively to the seventh, eighth and ninth outputs of the control unit, with

этом выходы запоминающего блока подключены к входам вычислительного блока .this outputs of the storage unit connected to the inputs of the computing unit.

а eta et

в,at,

/i/ i

/ i/ i

nn

ff

1 i 1 i

i Г2 . т i G2. t

tt

9ue. I9ue. I

Claims (2)

.Формула изобретения.Claim 1. Способ измерения давления разреженного газа, основанный на нагревании и охлаждении терморезистора периодиче (6) ским включением и выключением электрического тока, измерении длительности интервалов времени Нагревания и охлаждения, в течение которых температура терморезистора меняется в заданном фиксированном диапазоне, и определении количеств тёпла, выделяющихся в терморезисторе в течение каждого интервала времени, О т личающийся тем, чтб,с целью повышения быстродействия и расширения функциональных возможностей за счет одновременного измерения температуры газа, измерения производят в течение первого, второго и третьего интервалов времени, причём в первом интервале времени включают перегревающий ток первой величины и интегрируют пр времени температуру терморезистора, во втором интервале времени выключают перегревающий ток и интегрируют по времени температуру терморезистора. в третьем интервале времени включают перегревающий ток второй величины, не равной первой величине, и интегрируют по времени температуру термо резистора, затем выключают перегревающий ток и определяют давление Р газа и его среднюю температуру 0Ср по соотношениям р (л +a2)(T2 +Тз)-(аг + аз)(т1 +тз) (si +S2)(t2 +T3)-(si + S2 )(τι +τ2)1. A method of measuring the pressure of a rarefied gas, based on heating and cooling the thermistor by periodically turning the electric current on and off, measuring the duration of the heating and cooling time intervals during which the temperature of the thermistor varies in a given fixed range, and determining the amount of heat released in a thermistor during each time interval, O t characterized in that, in order to improve performance and expand functionality by simultaneously gas temperature measurement, measurements are made during the first, second and third time intervals, moreover, in the first time interval, the overheating current of the first magnitude is turned on and the temperature of the thermistor is integrated over time, in the second time interval the overheating current is turned off and the temperature of the thermistor is integrated over time. in the third time interval, an overheating current of a second value not equal to the first value is turned on, and the temperature of the thermistor is integrated over time, then the overheating current is turned off and the gas pressure P and its average temperature 0 C p are determined by the ratios p (l + a2) (T2 + Tz) - (ar + az) (t1 + tz) (si + S2) (t 2 + T 3 ) - (si + S2) (τι + τ 2 ) 0ср = = (Q 4-Q2)(S2 + sa) ~(Q2 4-Q3 )(S1 + S2 ) ( Q1 + Q2 )(T2 + Тз )- ( Q2 + Q3 ) ( T1 + T?) ' где К - градуировочный коэффициент;0av = = (Q 4-Q2) (S2 + sa) ~ (Q2 4-Q3) (S1 + S2) (Q1 + Q2) (T2 + Тз) - (Q2 + Q3) (T1 + T?) 'Where K is a calibration factor; Т 1,Тг,Тз - длительности первого, второго и третьего интервалов времени;T 1, Tg, Tz - the duration of the first, second and third time intervals; Q1.Q2.Q3 - количества тепла, измеренные в первом, втором и третьем интервалах времени;Q1.Q2.Q3 - the amount of heat measured in the first, second and third time intervals; S1.S2.S3 - интегралы температуры терморезистора в первой, второй и третий интервалы времени.S1.S2.S3 - temperature integrals of the thermistor in the first, second and third time intervals. 2. Устройство для измерения давления разреженного газа, содержащее тёрмопреобразователь сопротивления и Источник опорного напряжения, о т л и ч а ю Ще е с я тем, что. с целью повышения быстродействия и расширения функциональных возмож ностей за счет одновременного измерения температуры газа, в него введены дискретно управляемый источник тока, усилитель с дискретно регулируемым коэффициентом 5 усиления, делитель напряжения с дискретно управляемым коэффициентом передачи, преобразователь напряжения в частоту, первый и второй счетчики импульсов, генератор импульсов, запоминающий блок, вы10 числительный блок, компаратор и блок управления, при этом термопреобразователь подключен к выходу дискретного управляемого источника тока, первый, второй и третий управляющие входы которого под15 ключены соответственно к первому, второму и третьему выходам блока управления, которые подключены также соответственно к первому, второму и третьему управляющему входам усилителя с дискретно 20 регулируемым коэффициентом усиления, информационный вход которого подключен к термопреобразователю, а выход - к первому входу преобразователя напряжения в частоту и к первому входу компаратора, 25 второй вход которого подключен к выходу делителя с дискретно управляемым коэффициентом передачи, первый и второй входы которого соединены соответственно с четвертым И пятым выходами блока управле30 ния, вход которого подключен к выходу компаратора, а шестой выход - к первым входам первого и второго счетчиков импульсов, причем выход источника опорного напряжения подключен к третьему входу 35 делителя напряжения с дискретно управляемым коэффициентом передачи и к четвёртому входу управляемого источника тока, первый выход генератора импульсов соединен с вторым входом второго счётчика им40 пульсов, а второй выход - с вторым входом преобразователя напряжения в частоту, выход которого подключен к второму входу первого счетчика импульсов, соединенного выходом с первым входом запоминающего 45 блока, второй вход которого соединен с выходом второго сче’чика импульсов, а третий, четвертый и пятый его входы соединены соответственно с седьмым, восьмым и девятым выходами блока управления, при 50 этом выходы запоминающего блока подключены к входам вычислительного бло’ ’ ка.2. A device for measuring the pressure of a rarefied gas, comprising a resistance thermoconverter and a reference voltage source, which is ensured by the fact that. in order to increase speed and expand functionality by simultaneously measuring the gas temperature, a discretely controlled current source, an amplifier with a discretely adjustable gain 5, a voltage divider with a discretely controlled transfer coefficient, a voltage to frequency converter, first and second pulse counters are introduced into it , a pulse generator, a storage unit, a computational unit, a comparator, and a control unit, while the thermal converter is connected to the output of a discrete a direct current source, the first, second and third control inputs of which are connected respectively to the first, second and third outputs of the control unit, which are also connected respectively to the first, second and third control inputs of the amplifier with a discrete 20 adjustable gain, the information input of which is connected to thermoconverter, and the output is to the first input of the voltage to frequency converter and to the first input of the comparator, 25 the second input of which is connected to the output of the divider with discrete control transfer coefficient, the first and second inputs of which are connected respectively to the fourth and fifth outputs of the control unit, whose input is connected to the output of the comparator, and the sixth output to the first inputs of the first and second pulse counters, and the output of the reference voltage source is connected to the third input 35 a voltage divider with a discretely controlled transmission coefficient and to the fourth input of a controlled current source, the first output of the pulse generator is connected to the second input of the second counter of 40 pulses, and the second to output - with the second input of the voltage to frequency converter, the output of which is connected to the second input of the first pulse counter connected to the output of the first input of the memory block 45, the second input of which is connected to the output of the second pulse counter, and its third, fourth and fifth inputs are connected respectively, with the seventh, eighth and ninth outputs of the control unit, with 50 of which the outputs of the storage unit are connected to the inputs of the computing unit. Vut.iVut.i
SU904811389A 1990-04-09 1990-04-09 Method of metering a rarefied gas pressure and device thereof SU1747968A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904811389A SU1747968A1 (en) 1990-04-09 1990-04-09 Method of metering a rarefied gas pressure and device thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904811389A SU1747968A1 (en) 1990-04-09 1990-04-09 Method of metering a rarefied gas pressure and device thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1747968A1 true SU1747968A1 (en) 1992-07-15

Family

ID=21506727

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904811389A SU1747968A1 (en) 1990-04-09 1990-04-09 Method of metering a rarefied gas pressure and device thereof

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1747968A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1509655, кл. G 01 L21/12, 1988. Авторское свидетельство СССР №. 1318818, кл. G 01 L 21/12, 1985. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4043196A (en) Method and apparatus for effecting fluid flow measurement in a single sensor
US5056047A (en) Method and device for measuring fluidic or calorimetric parameters
JP4050857B2 (en) Fluid discrimination device and flow rate measuring device
US4158965A (en) Electronic thermometer with heat conditioned probe
US6905242B2 (en) Sensor temperature control in a thermal anemometer
WO2006047752A1 (en) Pulsed thermistor flow sensor
HU186066B (en) Method and apparatus for measuring coefficient of heat transfer
US5629482A (en) Measuring device utilizing a thermo-electromotive element
US6763711B1 (en) Air flow sensor using measurement of rate of heat loss
SU1747968A1 (en) Method of metering a rarefied gas pressure and device thereof
JP2001124608A (en) Control system for thermal-type air flow meter
SU1275232A1 (en) Method of graduating thermal converter
JP3959828B2 (en) pressure sensor
JP3153787B2 (en) Heat conduction parameter sensing method and sensor circuit using resistor
SU788004A1 (en) Constant-temperature thermoanemometer
RU2257553C1 (en) Compensating mode of measuring temperature
SU1673869A1 (en) Temperature difference measuring device
RU2095769C1 (en) Device for metering the heat energy consumption of heating appliance
RU2255314C1 (en) Quick-action medicinal thermometer
RU2269750C2 (en) Method of thermoresistant temperature measurement
SU1597594A1 (en) Device for measuring difference of temperatures
JPH09126896A (en) Method for compensating temperature of thermopile
SU1458720A1 (en) Device for measuring temperature
JPS58166226A (en) Photoelectric transducer
JP2802471B2 (en) Thermal sensation calculation device