SU1747876A1 - Оптико-электронное устройство измерени размеров изделий - Google Patents

Оптико-электронное устройство измерени размеров изделий Download PDF

Info

Publication number
SU1747876A1
SU1747876A1 SU904871126A SU4871126A SU1747876A1 SU 1747876 A1 SU1747876 A1 SU 1747876A1 SU 904871126 A SU904871126 A SU 904871126A SU 4871126 A SU4871126 A SU 4871126A SU 1747876 A1 SU1747876 A1 SU 1747876A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
product
dimensions
axis
lens
rotation
Prior art date
Application number
SU904871126A
Other languages
English (en)
Inventor
Леонид Симхович Привер
Original Assignee
Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Нижегородском государственном университете им.Н.И.Лобачевского
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Нижегородском государственном университете им.Н.И.Лобачевского filed Critical Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Нижегородском государственном университете им.Н.И.Лобачевского
Priority to SU904871126A priority Critical patent/SU1747876A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1747876A1 publication Critical patent/SU1747876A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно- измерительной технике и может быть использовано , в частности, в системах активного контрол  размеров деталей, обрабатываемых на металлорежущих и шлифовальных станках и при формировании изделий с помощью пластической деформации . Цель изобретени  - измерение размеров изделий, вращаемых в процессе обработки на станках. При вращении скана- тора в виде дискообразного оптического двугранного клина с одинаковыми углами Изобретение относитс  к контрольно- измерительной технике и может быть использовано , в частности, в системах активного контрол  размеров деталей, обрабатываемых на металлорежущих и шлифовальных станках. Известно устройство контрол  размеров изделий, в котором сканатором  вл етс  вращающеес  зеркало и используетс  параллельный световой пучок лазера дл  сканировани  в пространстве установки контролируемого издели . Оптический тракт содержит основной объектив, форминаклона граней к его плоскому основанию, установленного перпендикул рно к оси вращени  издели , параллельные оптической оси объективов и сдвинута от нее на половину радиуса диска относительно оси вращени  издели . Световое п тно за один его полуоборот совершает движение по полукругу . Если обрабатываемое изделие имеет номинальный диаметр, то полуокружность загораживаетс  изделием в течение половины периода сканировани  и возникают им.- пульсные сигналы, которые с помощью электронного блока превращаютс  в меандр . Если изделие имеет больший диаметр, то в выходном сигнале возникает посто нна  составл юща  одного знака. Некоторое различие в углах наклонов каждой из половин клина усредн етс  в процессе измерени  электронным блоком и измерител ми, поскольку врем  измерений существенно превышает Т. Это же обсто тельство приводит к усреднению выходного сигнала при наличии неровностей на поверхности обрабатываемого издели , обусловленных обрабатывающим инструментом. 1 ил. рующий параллельный световой пучок и приемный объектив, направл ющий лучи в фотоприемник. В процессе вращени  зеркала узкий пучок света перемещаетс  параллельно самому себе. Контролируемое изделие при этом периодически экранирует свет от попадани  через второй объектив в фотоприемник. Счетчик подсчитывает число импульсов высокочастотного заполнени  во врем  перемещени  пучка света вдоль объекта измерений . Подсчет начинаетс  с момента, когда лучи проход т над первым концом объекта, (Л С 2 XI 00 v« о

Description

и кончаетс , если сигнал указывает на другой конец объекта. Устройство содержит также схему прекращени  счета при наличии ложных сигналов,
Дл  прототипа, а также других извест- 5 ных устройств контрол  размеров изделий путем сканировани  с помощью узкого параллельного луча с прохождением обоих краев издели , т е. с размахом сканировани , превышающем его поперечные разме- 10 ры, характерны следующие недостатки. При этом световой диаметр линз объективов должен превышать поперечные размеры контролируемых изделий, что практически исключает возможность его применени  15 дл  крупных изделий Так как сканирование происходит с помощью узкого пучка лазерных лучей, желательно с целью повышени  точности измерений сделать этот пучок как можно более узким. Однако этому преп тст- 20 вует наличие естественной угловой расходимости параллельных лучей, котора  обратно пропорциональна  поперечному
А
с приводом вращени  (двигатель не пока- зан),обрабатываема  цилиндрическа  деталь 4, основной 5 и вспомогательный 6 объективы, фотодиод 7,
Объектив 5 при отсутствии клина 3 создает изображение освещенного отверсти  диафрагмы 2 в точке 0,  вл ющейс  пересечением образующей АВ цилиндра 4, соответствующего требуемому размеру обрабатываемого издели , с оптической осью объективов 5 и 6. Объектив 6 создает изображение точки 0 на поверхности фотодиода 7, Лини  CD, совпадающа  с осью вращени  клина 3, пересекает образующую АВ в точке F. Светодиод 1 установлен над серединой одной половины клина. К фотодиоду 7 подключен вход электронного блока , содержащего последовательно соединенные усилитель, компаратор, дифференцирующие цепочки, соединенные с разными входами нечетного триггера.
Устройство функционирует следующим образом
В результате вращени  клина 3 светодиаметЬу пучка d ( -  ) Поэтому шири- „
а25 вое п тно за один его полуоборот совершает движение по траектории (полукругу) 8, а затем это движение повтор етс  в том же направлении с частотой, превышающей в два раза частоту вращени  клина Если об- 30
на пучка должна существенно превышать длину световой волны Я,
С целью измерени  размеров изделий, вращаемых в процессе обработки на станках , а также устранени  указанных выше недостатков аналогов в изобретении осуществл етс  принцип слежени  эа размерами издели  с одного его кра  с применением специального сканатора. Устройство содержит источник света и последовательно уста- 35 новленные вдоль его оптической оси диафрагму, сканатор, два объектива, фотоприемник и электронный блок преобразовани  информации Положительный эффект достигаетс  путем выполнени  сканатора в 40 виде дискообразного двухгранного оптического клина с одинаковыми углами наклона граней к его основанию. Ось вращени  клина перпендикул рна к оси вращени  издели  и сдвинута от нее на половину радиуса 45 диска. Точка образовани  изображени  отверсти  диафрагмы первым объективом со- пр жена через второй объектив с поверхностью фотоприемника и расположена с противоположной стороны от точки 50 прикосновени  инструмента и издели .
На чертеже показана схема оптического тракта устройства применительно к обработке цилиндрической детали 6 тот момент, когда достигнут требуемых размер детали. 55
В состав устройства, помещенного в корпус, св занный ссГстаниной и допускающий поперечное его перемещение, вход т источник света 1, диафрагма с малым отверстием 2, дискообразный двухгранный клин
рабатываемое изделие 4 имеет диаметр, указанный на чертеже, то полуокружность 8 загораживаетс  изделием в течение половины периода сканировани  Т (Т ). В
фотодиоде 7, на поверхности которого фокусируетс  изображение светового п тна, движущегос  по траектории 8, возникают импульсные сигналы, которые с помощью электронного блока превращаютс  в меандр (на выходе триггера), с посто нной составл ющей , равной нулю, т.е. с одинаковой длительностью положительных и отрицательных импульсов ( Г| Т2). Если изделие имеет больший диаметр, чем указанный на рисунке, то ri Т5 и в выходном сигнале возникает посто нна  составл юща  одного знака. В противоположном случае знак посто нной составл ющей мен етс  на противоположный . Выделение этого аналогового сигнала осуществл етс  с помощью фильтра нижних частот, содержащегос  в электронном блоке устройства. Можно также измер ть цифровым способом непосредственно длительности импульсов и TI и тг . Тогда, как это можно показать с помощью решени  соответствующей геометрической задачи, отклонение от номинального размера издели  X можно найти с помощью выражени 
с приводом вращени  (двигатель не пока- зан),обрабатываема  цилиндрическа  деталь 4, основной 5 и вспомогательный 6 объективы, фотодиод 7,
Объектив 5 при отсутствии клина 3 создает изображение освещенного отверсти  диафрагмы 2 в точке 0,  вл ющейс  пересечением образующей АВ цилиндра 4, соответствующего требуемому размеру обрабатываемого издели , с оптической осью объективов 5 и 6. Объектив 6 создает изображение точки 0 на поверхности фотодиода 7, Лини  CD, совпадающа  с осью вращени  клина 3, пересекает образующую АВ в точке F. Светодиод 1 установлен над серединой одной половины клина. К фотодиоду 7 подключен вход электронного блока , содержащего последовательно соединенные усилитель, компаратор, дифференцирующие цепочки, соединенные с разными входами нечетного триггера.
Устройство функционирует следующим образом
В результате вращени  клина 3 светоет движение по траектории (полукругу) 8, а затем это движение повтор етс  в том же направлении с частотой, превышающей в два раза частоту вращени  клина Если об-
рабатываемое изделие 4 имеет диаметр, указанный на чертеже, то полуокружность 8 загораживаетс  изделием в течение половины периода сканировани  Т (Т ). В
фотодиоде 7, на поверхности которого фокусируетс  изображение светового п тна, движущегос  по траектории 8, возникают импульсные сигналы, которые с помощью электронного блока превращаютс  в меандр (на выходе триггера), с посто нной составл ющей , равной нулю, т.е. с одинаковой длительностью положительных и отрицательных импульсов ( Г| Т2). Если изделие имеет больший диаметр, чем указанный на рисунке, то ri Т5 и в выходном сигнале возникает посто нна  составл юща  одного знака. В противоположном случае знак посто нной составл ющей мен етс  на противоположный . Выделение этого аналогового сигнала осуществл етс  с помощью фильтра нижних частот, содержащегос  в электронном блоке устройства. Можно также измер ть цифровым способом непосредственно длительности импульсов и TI и тг . Тогда, как это можно показать с помощью решени  соответствующей геометрической задачи, отклонение от номинального размера издели  X можно найти с помощью выражени 
x x0slnf (1 -Д),,
(1) или в линейном приближении
ЛГХо f , 2 7Г т
(1т-)(2)
где х0 - радиус окружности сканировани . Справедливость выражени  (1) видна из
того, что при ri Г2 -у, х 0, и при ri
тх0; х х0; ri Т х -х0. Таким образом, предельна  зона обзора устройства состав2 л ет + Хо реальна  -± х0. а ее линейный
участок согласно (2) - ± 0,1 х0 (в зависимости от требуемой точности шкалы). Поскольку Хо может составл ть несколько миллиметров, данное устройство допускает возможность заведомо уменьшить скорость обработки по мере приближени  к номинальному размеру (при точении и шлифовании ), а также производить переналадку в пределах нескольких миллиметров изменени  размеров без перемещени  корпуса всего измерител , размещенного на станине . Из выражений (1) и (2) видно, что измер ема  величина зависит только от
т
отношени  которое не зависит от скорости вращени , а также от х0 определ емого геометрией оптического тракта и наклоном углов клина. Некоторое различие в углах наклонов каждой из половин клина усредн етс  в процессе измерени  электронным блоком и измерител ми ri и тг , поскольку врем  измерений существенно превышает Т. Это обсто тельство приводит к усреднению выходного сигнала при наличии неровностей на поверхности обрабатываемого издели , обусловленных обрабатывающим инструментом.
Таким образом, отказ от принципа сканировани  параллельным пучком света всео
5
0
5
0
5
0
го поперечного размера издели  и введение в качестве сканатора двухгрэнного клина дает следующий положительный эффект:
-позвол ет проводить измерени  в процессе обработки вращаемых изделий;
-введение двухгранного вращающегос  клина допускает высокую скорость скани- ровани  (удвоение по сравнению со скоростью двигател  привода), что приводит к повышению точности измерений из-за лучшего усреднени  показаний
Ожидаема  точность измерений, проверенна  на макетах устройства, составл ет ±0,1-±1 мкм.

Claims (1)

  1. Формула изобретени  Оптико-электронное устройство измерени  размеров изделий, содержащее корпус и размещенные в нем источник света и последовательно установленные вдоль его оптической оси диафрагму, сканатор, объектив , второй объектив, фотоприемник и электронный блок преобразовани , отличаю щ е е с   тем, что, с целью измерени  размеров изделий, вращаемых в процессе обработки на станках, корпус установлен на станине станка с возможностью перемещени , сканатор выполнен в виде дискообразного оптического двугранного клина с одинаковыми углами наклона граней к его плоскому основанию, установленного так, что его ось вращени  перпендикул рна к оси вращени  издели , параллельна оптической оси объективов и сдвинута от нее на половину радиуса диска относительно оси вращени  издели , а точка образовани  изображени  отверсти  диафрагмы первым объективом оптически сопр жена через второй объектив с поверхностью фотоприемника и расположена с противоположной стороны от точки соприкосновени  обрабатывающего инструмента и издели .
SU904871126A 1990-07-10 1990-07-10 Оптико-электронное устройство измерени размеров изделий SU1747876A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904871126A SU1747876A1 (ru) 1990-07-10 1990-07-10 Оптико-электронное устройство измерени размеров изделий

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904871126A SU1747876A1 (ru) 1990-07-10 1990-07-10 Оптико-электронное устройство измерени размеров изделий

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1747876A1 true SU1747876A1 (ru) 1992-07-15

Family

ID=21538795

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904871126A SU1747876A1 (ru) 1990-07-10 1990-07-10 Оптико-электронное устройство измерени размеров изделий

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1747876A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2505783C2 (ru) * 2009-09-23 2014-01-27 Борис Игоревич Юдин Способ измерения объектов малых размеров с неровными краями и интерферограмм на базе фотоэлектрических приемников излучения

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент US № 4648718, кл. G 01 В 11/08, 1987. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2505783C2 (ru) * 2009-09-23 2014-01-27 Борис Игоревич Юдин Способ измерения объектов малых размеров с неровными краями и интерферограмм на базе фотоэлектрических приемников излучения

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5383022A (en) Method and apparatus for measuring the dimensions of an object
US4732485A (en) Optical surface profile measuring device
US4547674A (en) Optical triangulation gear inspection
US4007992A (en) Light beam shape control in optical measuring apparatus
US5175595A (en) Non-contact measuring device
US3853406A (en) Differential optical noncontacting diameter gauge utilizing a pair of linearly scanning light beams sequentially scanning the test piece
US3957376A (en) Measuring method and system using a diffraction pattern
US4815856A (en) Method and apparatus for measuring the absolute thickness of dust defocus layers
US4502785A (en) Surface profiling technique
US3554646A (en) Optical distance gage
US4009965A (en) Method and apparatus for determining object dimension and other characteristics using diffraction waves
WO1988002846A1 (en) Optical measuring probe
US3617755A (en) Apparatus for locating and measuring the beam-waist radius of a gaussian laser beam
SU1747876A1 (ru) Оптико-электронное устройство измерени размеров изделий
US4521113A (en) Optical measuring device
US3813169A (en) Device for determining position and focus of an optical member
US4413910A (en) System for detecting and locating surface discontinuity by a light beam
US5587787A (en) Process for measuring relative angles
EP0310231B1 (en) Optical measuring apparatus
JPS62147306A (ja) 丸軸状部材の形状測定装置
JPH0513454B2 (ru)
SU1649345A1 (ru) Устройство дл контрол качества объективов
JPS6365885B2 (ru)
NL8101965A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bewerken van een edelsteen.
JPS62287107A (ja) 中心位置測定装置