SU1729559A1 - Сорбент дл очистки газов от паров диалкилтеллура - Google Patents
Сорбент дл очистки газов от паров диалкилтеллура Download PDFInfo
- Publication number
- SU1729559A1 SU1729559A1 SU894774609A SU4774609A SU1729559A1 SU 1729559 A1 SU1729559 A1 SU 1729559A1 SU 894774609 A SU894774609 A SU 894774609A SU 4774609 A SU4774609 A SU 4774609A SU 1729559 A1 SU1729559 A1 SU 1729559A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- sorbent
- vapors
- activated carbon
- nitric acid
- time
- Prior art date
Links
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к сорбентам дл очистки газов от паров диалкилтеллура, примен етс в производстве полупроводниковых материалов. Сорбент содержит, мас.%: азотную кислоту 1,6; активированный уголь - остальное. Сорбент готов т пропиткой активированного угл раствором азотной кислоты с последующей сушкой . Врем защитного действи сорбента высотой 0,05 м при скорости очищаемого воздуха 0,1 м/с и начальной концентрации диалкилтеллура 240-590 ч. сл С
Description
Изобретение относитс к очистке газов, содержащих пары элементоорганических соединений (ЭОС) теллура - диалкилтеллу- ридов и преимущественно может быть использовано дл очистки выбросных тазов в производстве полупроводниковых материалов .
Известен способ очистки вентвыбросов от паров диэтилтеллура, диметилкадми и ртути фильтрацией через слой сорбента на основе активированного угл , содержащего хлорид железа (111).
К недостаткам способа следует отнести недостаточно высокую емкость сорбента по парам ЭОС теллура, кроме того, отработанный сорбент может быть вторичным источником загр знени атмосферы вследствие высокой летучести ЭОС теллура и их токсичности . Введение в состав сорбента хлорида железа (III) необходимо дл улавливани паров ртути, но снижает врем защитного действи от паров диэтилтеллура.
Наиболее близким по достигаемому результату вл етс способ, основанный на фильтрации газа через слой активированного угл (2). Однако врем защитного действи сорбента невелико, а отработанный сорбент вл етс вторичным источником загр знени атмосферы парами ЭОС теллура .
Цель изобретени - увеличение времени защитного действи сорбента,
ю ЈЛ сл ю
Поставленна цель достигаетс тем, что используют сорбент следующего состава, доли, мас.%:
Азотна кислота0,5-2,5
Активированный уголь Остальное Уловленные соединени могут быть легко извлечены из отработанного сорбента промывкой водой.
Сорбент готов т пропиткой активированного угл раствором азотной кислоты с последующей сушкой или кратковременным распылением кислоты в потоке очищаемого от ЭОС теллура газа перед слоем активированного угл .
В приведенных ниже примерах использованы активированный уголь марки АГ-3 (ГОСТ 8703-74), примен емый в процессах газоочистки.
Пример 1. Воздух, содержащий пары диэтилтеллура (ДЭТ) с концентрацией 10 мг/м3, пропускали со скоростью 0,1 м/с через слой сорбента высотой 0,05 м следующего состава мас.%:
Азотна кислота2,5
Активированный угольОстальное
Врем защитного действи сорбента 590ч.
Пример 2. Воздух, содержащий пары ДЭТ с концентрацией 10 мг/м , пропускали
со скоростью 0,1 м/с через слой сорбента высотой 0,05 м следующего состава, мас.%: Азотна кислота2,7
Активированный уголь Остальное Врем защитного действи сорбента 590 ч.
Пример 3. Воздух, содержащий пары ДЭТ с концентрацией 10 мг/м , пропускали со скоростью 0,1 м/с через слой сорбента высотой 0,05 м следующего состава, мас.%: Азотна кислота1,6
Активированный уголь Остальное Врем защитного действи сорбента 550 ч.
Пример 4. Воздух, содержащий пары ДЭТ с концентрацией 10 мг/м3 пропускали со скоростью 0,1 м/с через слой сорбента
0
5
0
5
0
5
0
5
всотой 0,05 м следующего состава (массовые доли, %):
Азотна кислота0,5
Активированный уголь Остальное Врем защитного действи сорбента 240 ч.
Пример 5. Воздух, содержащий пары ДЭТ с концентрацией 10 мг/м , пропускали через слой сорбента со скоростью 0,1 м/с высотой 0,05 м следующего состава, мас.%: Азотна кислота0,2
Активированный уголь Остальное Врем защитного действи сорбента 200ч.
П р и м е р 6. Воздух подвергали очистке от паров ДЭТ аналогично примерам 1-5, но в активированный уголь не вводили азотную кислоту.
Врем защитного действи сорбента 180ч.
Пример 7. Воздух, содержащий пары диметилтеллура с концентрацией 12 мг/м3, пропускали через сорбент со скоростью 0,1 м/с с высотой сло 0,05 м следующего состава, мас.%:
Азотна кислота1,6
Активированный уголь Остальное Врем защитного действи сорбента 520 ч.
Как следует из примеров, предлагаемый сорбент обеспечивает увеличение времени защитного действи до 240-590 ч против 180 ч дл известного сорбента.
Claims (1)
- Предотвращаетс вторичное загр знение атмосферы за счет превращени улавливаемых паров в малолетучие соединени . Формула изобретени Сорбент дл очистки газов от паров ди- алкилтеллура, включающий активированный уголь, отличающийс тем, что, с целью увеличени времени защитного действи , он дополнительно содержит азотную кислоту при следующем содержании ингредиентов , мас.%:Азотна кислота0,5-2,5Активированный уголь Остальное
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894774609A SU1729559A1 (ru) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Сорбент дл очистки газов от паров диалкилтеллура |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894774609A SU1729559A1 (ru) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Сорбент дл очистки газов от паров диалкилтеллура |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1729559A1 true SU1729559A1 (ru) | 1992-04-30 |
Family
ID=21487512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU894774609A SU1729559A1 (ru) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Сорбент дл очистки газов от паров диалкилтеллура |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1729559A1 (ru) |
-
1989
- 1989-12-28 SU SU894774609A patent/SU1729559A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Отчего научно-исследовательской работе. Разработка метода очистки от паров ртути и элементоорганических соединений кадми и теллура выбросных газов процесса получени полупроводникового материала. Выдача технологического регламента дл проектировани опытно-промышленной установки. Гос. регистраци 01870040326. Дзержинск, Дзержинский филиал НИИОГАЗ, 1988. с. 61-63. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5460643A (en) | Method of regenerating mercury adsorption means | |
| DK0614400T3 (da) | Chromfrit, imprægneret, aktiveret, universalt respiratorcarbon til adsorption af toksiske gasser og/eller dampe | |
| DK161883A (da) | Fremgangsmaade til fjernelse af forureninger fra en oploesningsmiddeldampholdig gasstroem og anlaeg til brug ved udoevelse af fremgangsmaaden | |
| ATE49714T1 (de) | Verfahren zur entfernung von quecksilberdampf und/oder daempfen schaedlicher organischer verbindungen und/oder stickstoffoxiden aus rauchgas von einer verbrennungsanlage. | |
| US4273751A (en) | Removal of acidica contaminants from gas streams by caustic impregnated activated carbon | |
| CA1141523A (en) | Method of purifying gas containing gaseous mercury | |
| SU1729559A1 (ru) | Сорбент дл очистки газов от паров диалкилтеллура | |
| CA2365338A1 (en) | Glycol solution solubility suppressants | |
| EP0574705A1 (en) | Process for removing dioxins | |
| JPH05237340A (ja) | 廃ガスからハロゲン化有機化合物を除去する方法 | |
| JPS60251918A (ja) | 気相中の水銀除去法 | |
| US3972824A (en) | Method for cleaning nitrogen oxides from air | |
| JPH043678Y2 (ru) | ||
| EP0696469A1 (en) | Removal of sulphur dioxide from gaseous streams | |
| SU865353A1 (ru) | Способ очистки воздуха от Nн @ и кислых примесей | |
| Nielsen et al. | Reduction of chlorinated dioxins and furans in the flue gas from incinerators with spray absorbers and electrostatic precipitators | |
| JPH0624624B2 (ja) | 気体状有機ハロゲン化合物の吸着剤 | |
| JP2654545B2 (ja) | ごみ焼却炉からの排ガス中の水銀除去方法 | |
| RU1809779C (ru) | Поглотитель фторсодержащих газов | |
| RU2060813C1 (ru) | Фильтрующий материал для очистки газов от двуокиси серы и фтористого водорода | |
| SU1747130A1 (ru) | Способ очистки газов от ртути | |
| SU526374A1 (ru) | Способ очистки газов от паров тетракарбонила никел | |
| SU1747129A1 (ru) | Способ очистки газов от ртути | |
| SU1699551A1 (ru) | Способ удалени двуокиси серы и щелочной цементной пыли из отход щих газов | |
| EP0037450B1 (en) | Process for the removal of acid and acid precursor gases and vapors from gas streams |