SU1721662A1 - Туннельный микроскоп - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к исследованию поверхности методом туннельной микро- скопии. Целью изобретени   вл етс  уменьшение габаритных размеров туннельного микроскопа, что достигаетс  путем изменени  конструкции взаимодействующих подвижных элементов. Микроскоп содержит узел сканировани , выполненный из двух соосно расположенных трубчатых пьезоэле- ментов (ПЭ), объекте держатель и источник пилообразного напр жени  с несимметричными фронтами импульсов. На внутреннем ПЭ установлено измерительное острие. С противоположного от остри  торца этот ПЭ жестко соединен со стержнем, установленным в направл ющей втулке, жёстко соединенной со смежным торцом внешнего ПЭ, противоположный торец которого закреплен на основании. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к исследованию поверхности методом туннельной микроскопии и спектроскопии и может быть использовано в исследовательских и технологических установках.

Целью изобретени   вл етс  уменьшение габаритных размеров микроскопа за счет изменени  конструкции взаимодействующих подвижных элементов.

На чертеже показана схема микроскопа .

Он содержит узел сканировани , выполненный из двух соосно расположенных соединенных между собой смежными торцами трубчатых пьезоэлементов 1 и 2, на внутрен нем из которых 1 со стороны свободного торца установлено острие 3, узел взаимного позиционировани  остри  и образца, включающий внешний пьезоэлемент 2, соединенный с источником 4 пилообразного

напр жени  с несимметричными фронтами импульсов, стержень 5, зафиксированный силой трени  с помощью упругого элемента 6 в направл ющей втулке 7. При этом внеш ний пьезоэлемент 2 закреплен на переходной детали 8. установленной на основании 9, на котором закреплены держатель 10 с образцом 11.

Устройство работает следующим образом .

Внутренний пьезоэлемент 1 в начальном положении находитс  на рассто нии от держател  0,1,..10 мм, что позвол ет производить как смену образца, так и его иссле дование другими методами. При подаче на электроды внешнего пьезоэлемента 2 импульсов от источника 4 в соответствии с фронтом импульса происходит медленное или быстрое изменение его длины. Когда значение силы инерции превышает силу

V

ю

Ск Os

ю

трени  в паре стержень 5 - направл юща  втулка 7 обеспечиваетс  относительное проскальзывание в указанной паре. 8 результате торец внутреннего пьезоэлемента 1с острием 3 приближаетс  к поверхности образца 1.1. Пои достижении туннельного зазора (10...20 А ) начинаетс  сканирование исследуемой поверхности с помощью внутреннего пьезоэлемента. Аналогичным образом при изменении чередовани  фронтов импульсов осуществл етс  отвод внутреннего пьезоэлемента с острием от образца.

В данном устройстве из-за использовани  дл  перемещени  собственной массы внутреннего пьезоэлемента со стержнем габаритные размеры по сравнению с прототипом могут быть уменьшены примерно вдвое, при этом уменьшаетс  электрическа  нагрузка на управл ющие электроды пьез о- элементов. Микроскоп прост в изготовлении и легко совместим с другими установками дл  исследовани  поверхности .

./

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Туннельный микроскоп, содержащий узел сканировани , выполненный из двух

   соосно расположенных трубчатых пьезоэле- ментов, на внутреннем из которых установлено острие, объектодержатель, установленный на основании, и источник пилообразного напр жени  с несимметричными фронтами импульсов, выход которого соединен с управл ющими электродами внешнего пьезоэлемента, о т л и ч а ю щ и й- с   тем, что, с целью уменьшени  габаритных размеров микроскопа, внутренний пьезоэлемент с противоположного от остри  торца жестко соединен со стержнем, установленным с возможностью осевого регулируемого упругим элементом смещени  в направл ющей втулке, жестко соединенной

   со смежным торцом внешнего пьезоэлемента , противоположный торец которого закреплен на основании.