SU1670668A1 - Устройство дл изготовлени фотошаблонов печатных плат и интегральных схем - Google Patents

Устройство дл изготовлени фотошаблонов печатных плат и интегральных схем Download PDF

Info

Publication number
SU1670668A1
SU1670668A1 SU894672495A SU4672495A SU1670668A1 SU 1670668 A1 SU1670668 A1 SU 1670668A1 SU 894672495 A SU894672495 A SU 894672495A SU 4672495 A SU4672495 A SU 4672495A SU 1670668 A1 SU1670668 A1 SU 1670668A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
original
microscope
holder
photographic
photomasks
Prior art date
Application number
SU894672495A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Петрович Перов
Владимир Викторович Мещеряков
Людмила Борисовна Кухаренко
Борис Семенович Афанасьев
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8332
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8332 filed Critical Предприятие П/Я В-8332
Priority to SU894672495A priority Critical patent/SU1670668A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1670668A1 publication Critical patent/SU1670668A1/ru

Links

Landscapes

  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к фотографической технике, в частности к средствам изготовлени  фотошаблонов печатных плат и интегральных схем, примен емых в радиотехнической промышленности. Цель изобретени  - повышение качества, точности изготовлени  фотошаблонов и производительности. Устройство содержит светонепроницаемую перегородку, благодар  чему работу с фотопластинкой можно осуществл ть при неактиничном освещении. В процессе экспонировани  с помощью управл емых манипул торов 12, 13 измен ют положение оригиналодержател  с оригиналом 18, контролируют точность фокусировки, наблюда  в микроскоп 9. Микроскоп 9 может перемещатьс  относительно фотопластины. Его положение контролируют с помощью линеек 10. Предложенное устройство может работать с фотопластинами различных форматов. Дл  их закреплени  используютс  зажимы, установленные на рейках 8. 3 ил., 1 з.п.ф-лы.

Description

Устройство относится к фотографической технике, в частности к средствам изготовления фотошаблонов печатных плат и интегральных схем, применяемых в радиотехнической промышленности.
Целью изобретения является повышение качества и точности изготовления фотошаблонов печатных плат и интегральных схем, а также повышение производительности устройства,
На чертеже изображен общий вид устройства.
Устройство состоит из горизонтальной станины 1, на которой укреплены с возможностью горизонтального перемещения оригиналодержатель 2 с регулируемыми упорами 3 и источником 4 освещения, а также фотоголовка 5, содержащая подвижный диафрагмируемый обьектив с электромеханическим затвором (на чертеже не показаны) и пластинодержатель. Пластинодержатель состоит из рупора 6 и рамы 7 с вертикальными и горизонтальными направляющими. По вертикальным направляющим скользят горизонтальные рейки 8 с зажимами для установки фотопластины или тестового стекла, а по горизонтальным направляющим может перемещаться кронштейн с закрепленным на нем установочным микроскопом
9. Горизонтальные и вертикальные направляющие, а также кронштейн снабжены мерными линейками 10. Пластинодержатель укреплен с возможностью прецизионного перемещения в плоскости фотопластины относительно фотоголовки 5, причем контроль перемещения пластинодержателя производится при помощи отсчетных микроскопов
11. Фотоголовка 5 расположена в окне светонепроницаемой перегородки.
Оригиналодержатель содержит узел дистанционного механического управления регулируемыми упорами, состоящий из двух телескопических штанг 12, которые одним концом прикреплены к регулируемым упорам 3, а другим концом проходят через светонепроницаемую перегородку в темное помещение и заканчиваются ручками 13. Под фотоголовкой 5 находится блок 14 управления, а под станиной 1 блок питания (на чертеже не показан).
Движение объектива осуществляется ручкой 15, а пластинодержатель приводится 8 движение по оси X (или Y) ручкой 16 (по оси Y ручка не показана). Общее перемещение фотоголовки 5 осуществляется ручкой 17. Оригинал 18 закреплен на оригиналодержателе 2.
Устройство работает следующим образом.
На оригиналодержатель 2 устанавливают оригинал 18. на рейки 8 пластинодержателя устанавливают тестовое контрольное стекло с нанесенной прецизионной сеткой. Подключают фотокамеру к сети питания и открывают электромеханический затвор. По рискам сетки тестового стекла настраивают на резкость установочный микроскоп 9. Настраивают на резкость изображение оригинала 18. добиваясь наилучшего качества изображения по всему полю топологии. Для этого перемещают в разные точки установочный микроскоп 9. проверяют в этих точках резкость изображения и при необходимости вводят корректировку путем передвижения объектива относительно оригиналодержателя 2. Затем, перемещая установочный микроскоп 9, устанавливают его перекрестие на изображении базового реперного знака оригинала 18. Перемещают каретку с микроскопом 9 по координате X. наблюдая в микроскоп за положением горизонтальной стороны (линии) оригинала. Если имеется вертикальное смещение линии относительно перекрестия микроскопа
9. производят регулировку положения оригинала 18 вращением регулируемых упоров 3 ручками 13 управления до тех пор, пока линия оригинала 18 не будет одинаково смещена относительно перекрестия микроскопа 9. Затем при определенном положении оригиналодержателя 2 относительно фотоголовки 5, манипулируя ручками 15 и 17 и контролируя изображение оригинала 18 на тестовом стекле (либо с помощью отсчетного микроскопа 11) в микроскоп 9, выставляют масштаб съемки. После этого снимают тестовую пластину с сеткой, закрывают электромеханический затвор, устанавливают на пульте блока 14 управления необходимое время экспозиции. Вставляют фотопластину светочувствительным слоем к оригиналу 18. при помощи ручек 16 управления перемещают фотопластину в такое положение, чтобы можно было расположить одно возле другого необходимое количество мультипликаций (повторений изображения) и произвести первое экспонирование. Во время экспонирования контролируют резкость изображения оригинала на эмульсионном слое фотопластины и при необходимости вводят корректировку по резкости с помощью ручки 15 управления перемещением обьектива. С помощью ручек 16 перемещают фотопластину по горизонтали (или вертикали) на шаг мультиплицирования, экспонируют фотопластину второй раз и т.д. в соответствии со схемой мультипликации. Затем производят химико-фотографическую обработку фотопластины.

Claims (2)

  1. Формула изобретения
    1. Устройство для изготовления фотошаблонов печатных плат и интегральных схем, содержащее блок управления, блок питания, станину, на которой с возможностью перемещения установлены оригиналодержатель с регулируемыми упорами и источником освещения, объектив с затвором, а также установленный с возможностью перемещения относительно объектива пластинодержатель, на котором закреплен установочный микроскоп, отличающеес я тем, что, с целью повышения качества, точности изготовления фотошаблонов и производительности, объектив установлен в окне введенной светонепроницаемой пе регородки, образующей две камеры, со стороны пластинодержателя установлен источник неактиничного освещения, а также в устройство введены дистанционно управля5 емые манипуляторы, установленные с возможностью взаимодействия с упорами, причем установочный микроскоп установлен с возможностью перемещения относительно оригиналодержателя и снабжен 10 отсчетными линейками.
  2. 2. Устройство по п. 1, от л и ч а ю щеес я тем. что. с целью расширения функциональных возможностей и повышения удобства в работе, пластинодержатель снабжен 15 подвижными зажимами и мерными линейками.
SU894672495A 1989-01-12 1989-01-12 Устройство дл изготовлени фотошаблонов печатных плат и интегральных схем SU1670668A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894672495A SU1670668A1 (ru) 1989-01-12 1989-01-12 Устройство дл изготовлени фотошаблонов печатных плат и интегральных схем

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894672495A SU1670668A1 (ru) 1989-01-12 1989-01-12 Устройство дл изготовлени фотошаблонов печатных плат и интегральных схем

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1670668A1 true SU1670668A1 (ru) 1991-08-15

Family

ID=21438830

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894672495A SU1670668A1 (ru) 1989-01-12 1989-01-12 Устройство дл изготовлени фотошаблонов печатных плат и интегральных схем

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1670668A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Я2М2.840.001. ТО Техническое описание и инструкци по эксплуатации фотокамеры ЭМ-513. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4171162A (en) System for positioning an object in an optical projection system
US3704946A (en) Microcircuit art generating means
US3476476A (en) Alignment means for photo repeat machine
US3494695A (en) Microphotographic reproducing system
US3610750A (en) Methods and apparatus for photo-optical manufacture of semiconductor products
KR100695895B1 (ko) 주사형 노광장치 및 그 노광방법
US3306176A (en) Method and apparatus for making precision art work
US1801458A (en) Photographic apparatus
TWI232355B (en) Light exposing apparatus
US6657725B1 (en) Scanning type projection exposure apparatus and device production method using the same
SU1670668A1 (ru) Устройство дл изготовлени фотошаблонов печатных плат и интегральных схем
US3639054A (en) Photo reproduction apparatus
US3837742A (en) Photoreproduction apparatus
JP3321733B2 (ja) 露光装置
KR102176255B1 (ko) 마스크 정렬기의 나이프 에지 세트. 넓은-시야-범위 마스크 정렬기, 및 노출 방법
US3422442A (en) Micro-electronic form masking system
US5666206A (en) Exposure system and exposure method
US3247761A (en) Production of printed circuit boards and the like
US3399593A (en) Precision artwork duplicating machine
US3602591A (en) Step and repeat camera
CN218728596U (zh) 一种多光源光刻机
US3442587A (en) Match stepping camera and method for matching registration and reduction of stepped photographic images to existing patterns on semiconductors
CN116256948A (zh) 一种多光源光刻机及光刻方法
US3048093A (en) Apparatus for multiple registration of a master pattern
JP3062390B2 (ja) シャドウマスク用パターン版製造装置及び製造方法