SU1670448A1

SU1670448A1 - Method of testing for tightness

Info

Publication number: SU1670448A1
Application number: SU894749934A
Authority: SU
Inventors: Виктор Александрович Русаков; Виктор Александрович Скурихин; Любовь Григорьевна Тасейко; Борис Андреевич Парфенов
Original assignee: Производственное объединение "Красноярский машиностроительный завод"
Priority date: 1989-09-13
Filing date: 1989-09-13
Publication date: 1991-08-15

Abstract

Изобретение относитс к испытательной технике, а именно к способам испытаний на герметичность замкнутых изделий с повышенной газоностностью наружных поверхностей с помощью масс-спектрометрического течеискател . Цель изобретени - повышение чувствительности индикации путем уменьшени содержани остаточного газа в вакуумной камере и повышение производительности испытани . Изделие помещаетс в вакуумную камеру с предварительным вакуумированием до давлени паров воды, после чего в камеру подают адсорбирующее вещество, в качестве которого используют пары ПАВ. После подачи паров делают выдержку, затем в камере создают вакуум 1^.10^-3 мм рт. ст., в испытуемое изделие подаетс пробный газ и производитс оценка герметичности издели путем сравнени сигналов от потоков пробного газа из издели и контрольной течи. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.The invention relates to a testing technique, and specifically to methods for leaktightness testing of closed products with increased gasification of external surfaces using a mass spectrometric leak detector. The purpose of the invention is to increase the sensitivity of the display by reducing the residual gas content in the vacuum chamber and improving the test performance. The product is placed in a vacuum chamber with pre-evacuation to a water vapor pressure, after which an adsorbent is supplied to the chamber, using surfactant vapors. After filing the vapor make exposure, then vacuum is created in the chamber 1 ^. 10 ^-3 mm Hg. a test gas is supplied to the test product and the product is assessed for leak tightness by comparing the signals from the test gas streams from the product and the test leak. 2 hp f-ly, 1 ill.

Description

(Л(L

СWITH

Изобретение относитс к испытательной технике, а именно к способу испытани на герметичность замкнутых изделий с повышенной газоностностью наружных поверхностей с помощью масс-спектромет- рического течеискател .The invention relates to a testing technique, in particular, to a method for testing the tightness of closed products with increased gasification of external surfaces using a mass spectrometric leak detector.

Цель изобретени - повышение чувствительности путем уменьшени содержани остаточного газа в вакуумной камере и повышение производительности испытани за счет сокращени времени вакуумирова- ни .The purpose of the invention is to increase the sensitivity by reducing the residual gas content in the vacuum chamber and increasing the test performance by reducing the vacuum time.

На чертеже показана схема установки дл реализации предлагаемого способа.The drawing shows the setup diagram for the implementation of the proposed method.

Схема включает изделие 1, которое размещаетс в вакуумной камере 2. Вакуумиро- вание камеры осуществл етс с помощью форвакуумного насоса 3 и высоковакуумного насоса 4, соединенных между собой и течеискателем 5 коммуникацией 6 черезThe circuit includes a product 1, which is placed in a vacuum chamber 2. The chamber is evacuated using a fore vacuum pump 3 and a high vacuum pump 4 connected to each other and the leak detector 5 by communication 6 through

дросселирующий вентиль 9. ПАВ подаетс в камеру через вентиль 10, а пробный газ через вентиль 11 из контрольной течи 12. Устройство 13 предназначено дл улавливани паров ПАВ.the throttling valve 9. The surfactant is supplied to the chamber through the valve 10, and the test gas through the valve 11 from the test leak 12. The device 13 is designed to trap the surfactant vapor.

Способ осуществл ют следующим образом .The method is carried out as follows.

Изделие 1 помещают в камеру 2 и осуществл ют вакуумирование камеры 2 насосом 3, При достижении давлени Рат Рупр пар.воды (17,5 мм рт.ст.) вакуумиро- вание камеры 2 прекращают, при этом происходит испарение конденсата со стенок камеры 2 и издели 1. Осуществл ют подачу ПАВ (например, Хладон-113) через вентиль 10 в камеру 2 до давлени Ртехнол. (давление упругости пара адсорбирующего вещества дл Хладона-113 Ртехнол 280 мм.рт.ст.). Дают выдержку 15 мин, при этом молекулы ПАВ конденсируютс на поверхON VJThe product 1 is placed in the chamber 2 and the chamber 2 is evacuated by the pump 3. When the Par water reaches the pressure of Rat Ruhr, the evacuation of the condensate from the chamber walls 2 and products 1. A surfactant is supplied (for example, Hladon-113) through valve 10 to chamber 2 up to pressure RTtechnol. (vapor pressure adsorbing substance for Freon-113 Rtechnol 280 mm Hg). Allow 15 min for a while, and the surfactant molecules are condensed on top of a single VJ

ОABOUT

4 С4 C

ности камеры 2 и исследуемого издели 1, образу на них тонкий слой, чаще всего мономолекул рный , а за счет того, что молеку- лы ПАВ обладают большой энергией сорбционной св зи пол рной группы с металлами , они замест т молекулы газа на поверхности издели и камеры и переведут их в вакуумируемый объем. В результате на стенках камеры 2 и поверхности испытуемого издели 1 образуетс насыщенный слой преимущественно из молекул ПАВ, который резко снижает коэффициент прилипани (адсорбции) несв занного остаточного газа из вакуумируемого объема испытательной камеры 2 и преп тствует диффузии из стенок камеры 2 и издели 1 растворимых одноатомных газов (например, гели , неона) или ионов расщепленных двухатомных молекул (например, водорода, кислорода и т.д.), что значительно снижает парциальное давление остаточного газа в свободном состо нии . Закрывают вентиль 10 и камеру 2 вакуумируют до давлени испытани Рисп. 1 мм.рт.ст. Открытием дросселирующего вентил 9 сообщает течеискатель 5 с коммуникацией 6 предварительного разр жени , а ловушку 7 (8) заполн ют жидким азотом.The chamber 2 and the product under study 1 form a thin layer on them, most often monomolecular, and due to the fact that surfactant molecules have a high sorption bond energy of the polar group with metals, they replace the gas molecules on the surface of the product and chambers and transfer them to the evacuated volume. As a result, a saturated layer predominantly of surfactant molecules is formed on the walls of chamber 2 and the surface of the tested article 1, which drastically reduces the adhesion coefficient (adsorption) of unbound residual gas from the evacuated volume of the test chamber 2 and prevents diffusion of soluble monatomic from the walls of chamber 2 and product 1 gases (e.g., gels, neon) or ions of split diatomic molecules (e.g. hydrogen, oxygen, etc.), which significantly reduces the partial pressure of the residual gas in the free state. The valve 10 is closed and the chamber 2 is evacuated to the pressure of the test. 1 mm Hg The opening of the throttling valve 9 communicates the leak detector 5 with the communication 6 of the preliminary discharge, and the trap 7 (8) is filled with liquid nitrogen.

В испытуемое изделие подаетс пробный газ (гелий или аргон) и производитс оценка герметичности провер емого издели 1 путем сравнительного сопоставлени сигналов от потоков пробного газа из издели 1 и контрольной течи 12. Устройство 13A test gas (helium or argon) is supplied to the test product and the leaktightness of the test product 1 is evaluated by comparing the signals from the test gas flows from the product 1 and the test leak 12. Device 13

10 t10 t

Редактор А.ДолиничEditor A.Dolinich

Составитель И.Лучева Техред М.МоргенталCompiled by I.Lucheva Tehred M. Morgental

улавливает ПАВ- Хладон-113 и возвращает его в состо ние, пригодное дл повторного использовани .captures the surfactant-Hladon-113 and returns it to a state suitable for reuse.

Claims

1. A method for testing products for leak tightness, which consists in placing the product in a vacuum chamber, pre-evacuating the chamber, feeding the substance adsorbing onto the chamber walls and the product, and evacuating the chamber to a pressure test that differs from In order to increase sensitivity and performance, pre-evacuation is carried out before the pressure of the water vapor pressure, and surfactant vapors are used as the adsorbing substance.

2. The method according to claim 1, wherein that Freon113 is used as a surfactant.

3. Method according to paragraphs. 1 and 2, from licha yusch and with the fact that the time interval between

0 by supplying the adsorbing substance and evacuating to a pressure test is chosen sufficient to adsorb the surfactant molecules on the surface of the chamber and the article.

Proofreader M. Demchik