SU1670394A1 - Reflectometer for measuring polarization parameters of liquid surfaces - Google Patents
Reflectometer for measuring polarization parameters of liquid surfaces Download PDFInfo
- Publication number
- SU1670394A1 SU1670394A1 SU894663710A SU4663710A SU1670394A1 SU 1670394 A1 SU1670394 A1 SU 1670394A1 SU 894663710 A SU894663710 A SU 894663710A SU 4663710 A SU4663710 A SU 4663710A SU 1670394 A1 SU1670394 A1 SU 1670394A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- reflectometer
- plane
- polarization parameters
- modulator
- objects
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано, в частности, дл измерени комбинированных пол ризационных параметров поверхности жидких объектов. Цель изобретени - обеспечение возможности измерени комбинированных пол ризационных параметров поверхности жидких объектов. Рефлектометр содержит источник излучени , установленные по ходу излучени гониометр с двум столиками 1 и 2 с возможностью размещени на них эталонного и контролируемого объектов, модул тор, фотоприемник, два пол ризатора 6 и 7 со взаимно перпендикул рными плоскост ми пол ризации. При этом из плоскостей установлена в плоскости горизонтально расположенного столика 1, а друга - в плоскости, перпендикул рной плоскости столика 2. Рефлектометр также содержит четыре плоских зеркала 8, 9, 10 и 11, установленных попарно по обе стороны от каждого из столиков 1 и 2. Модул тор выполнен в виде двух зеркал 3 и 4, установленных посередине между каждой из двух пар плоских зеркал 8, 9 и 10, 11 и кинематически св занных между собой. 2 ил.The invention relates to a measurement technique and can be used, in particular, to measure the combined polarization parameters of the surface of liquid objects. The purpose of the invention is to make it possible to measure the combined polarization parameters of the surface of liquid objects. The reflectometer contains a radiation source installed along the radiation goniometer with two tables 1 and 2 with the possibility of placing reference and controlled objects on them, a modulator, a photodetector, two polarizers 6 and 7 with mutually perpendicular polarization planes. At the same time, the planes are installed in the plane of the horizontal table 1, and the other in the plane perpendicular to the plane of the table 2. The reflectometer also contains four flat mirrors 8, 9, 10 and 11, installed in pairs on both sides of each of the tables 1 and 2 The modulator is made in the form of two mirrors 3 and 4, mounted midway between each of the two pairs of flat mirrors 8, 9 and 10, 11, and kinematically interconnected. 2 Il.
Description
о VI оo VI o
со ю with y
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано, в частности, дл измерени комбинированных пол ризационных параметров поверхности жидких объектов.The invention relates to a measurement technique and can be used, in particular, to measure the combined polarization parameters of the surface of liquid objects.
Цель изобретени - обеспечение возможности измерени комбинированных пол ризационных параметров поверхности жидких объектов.The purpose of the invention is to make it possible to measure the combined polarization parameters of the surface of liquid objects.
На фиг. 1 изображена принципиальна схема рефлектометра, вид спереди; на фиг. 2 - то же, вид сверху.FIG. 1 is a schematic diagram of the reflectometer, front view; in fig. 2 - the same, top view.
Устройство содержит источник излучени (не показан), столик 1, предназначенный дл размещени на нем эталонного объекта (не показан), столик 2, предназначенный дл размещени на нем контролируемого объекта (не показан), зеркала 3 и 4, фотоприемник 5, пол ризаторы 6 и 7, зеркала 8 - 11. Гониометр включает столики 1 и 2, 00 - ось вращени гониометра. Модул тор включает зеркала 3 и 4, которые кинематически св заны между собой. Плоскости пол ризации пол ризаторов б и 7 взаимно перпендикул рны и установлены так, что одна из них размещена в плоскости, перпендикул рной плоскости столика 1. а друга - в плоскости горизонтально расположенного столика 2.The device contains a radiation source (not shown), table 1 for placing a reference object on it (not shown), table 2 for placing a controlled object on it (not shown), mirrors 3 and 4, photodetector 5, polarizers 6 and 7, mirrors 8-11. The goniometer includes tables 1 and 2, 00 — the axis of rotation of the goniometer. The modulator includes mirrors 3 and 4, which are kinematically connected to each other. The polarization planes of polarizers b and 7 are mutually perpendicular and set so that one of them is placed in a plane perpendicular to the plane of table 1. and the other is in the plane of horizontal table 2.
Рефлектометр работает следующим образом .The reflectometer works as follows.
Направленное вдоль оси 00 излучение попадает на зеркало 3, при вращении которого вокруг оси, перпендикул рной оси 00 , излучение поочередно направл етс либо на столик 1, либо на столик 2, а затем, после отражени от эталонного и контролируемого объектов и соответственно зеркал 10 и 11, направл етс на зеркало 4, направл ющее поочередно (вследствие кинематической св зи с зеркалом 3) излучение либо от эталонного, либо от контролируемого объекта к фотоприемнику 5, где регистрируемый сигнал переменного тока (напр жени ) пр мо пропорционален уровню различи коэффициентов отражени в р-пол ризации дл контролируемого объекта и s-пол риза- ции дл эталонного объекта. Поскольку плоскости пол ризации пол ризаторов б и 7Radiation directed along axis 00 hits mirror 3, when rotating around the axis perpendicular to axis 00, radiation is alternately directed either onto table 1 or table 2, and then, after reflection from the reference and controlled objects and respectively mirrors 10 and 11, is directed to the mirror 4, which alternately (due to kinematic connection with the mirror 3) directs radiation either from the reference object or from the object being monitored to the photodetector 5, where the recorded AC signal (voltage) is directly proportional to the level These are the differences in reflection coefficients in p-polarization for the object under control and s-polarization for the reference object. Since the polarization planes of polarizers b and 7
взаимно ортогональны, то при их повороте на 90° вокруг оси пучка излучени , направлени плоскостей пол ризации отраженного от эталонного и контролируемого объектовmutually orthogonal, when rotated by 90 ° around the axis of the radiation beam, the directions of the polarization planes reflected from the reference and controlled objects
излучени мен ютс местами и регистрируемый на фотоприемнике 5 сигнал переменного тока (напр жени ) соответствует уровню различи коэффициентов отражени в р-пол ризации дл эталонного объекта и s-пол ризации дл контролируемого объекта. По разности величин сигналов перемен ного тока , полученной в результате размещени в указанных двух азимутальных положени х пол ризаторов 6 и 7, отличающихс на 90°,The radiation is reversed and the alternating current (voltage) signal detected at the photodetector 5 corresponds to the level of difference in reflection coefficients in the p-polarization for the reference object and s-polarization for the object being monitored. By the difference in the magnitudes of the alternating current signals obtained by placing the polarizers 6 and 7 different by 90 ° in these two azimuthal positions,
определ ют величину расхождени параметров поверхности контролируемого объекта по отношению к эталонному.determine the magnitude of the discrepancy between the parameters of the surface of the test object with respect to the reference one.
С помощью рефлектометра можно измерить комбинированные пол ризационныеUsing a reflectometer, you can measure combined polarization
параметры поверхностей как жидких, так и твердых объектов плоской формы.surface parameters of both liquid and solid flat shaped objects.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894663710A SU1670394A1 (en) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | Reflectometer for measuring polarization parameters of liquid surfaces |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894663710A SU1670394A1 (en) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | Reflectometer for measuring polarization parameters of liquid surfaces |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1670394A1 true SU1670394A1 (en) | 1991-08-15 |
Family
ID=21434748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894663710A SU1670394A1 (en) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | Reflectometer for measuring polarization parameters of liquid surfaces |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1670394A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2665594C1 (en) * | 2017-07-11 | 2018-08-31 | Открытое акционерное общество "Завод им. В.А. Дегтярева" | Stand for checking the specular reflection coefficient |
-
1989
- 1989-03-20 SU SU894663710A patent/SU1670394A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1352201, кл. G 01 В 11/30 26.04.83. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2665594C1 (en) * | 2017-07-11 | 2018-08-31 | Открытое акционерное общество "Завод им. В.А. Дегтярева" | Stand for checking the specular reflection coefficient |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0200978A1 (en) | Static interferometric ellipsometer | |
JPS5977319A (en) | Method and device for measuring ultrasonic surface wave | |
US4436419A (en) | Optical strain gauge | |
SU1670394A1 (en) | Reflectometer for measuring polarization parameters of liquid surfaces | |
US3551055A (en) | Interferometer for making angular and linear measurements | |
GB2217010A (en) | Optical apparatus | |
US3419331A (en) | Single and double beam interferometer means | |
SU1357705A1 (en) | Device for checking roughness of article reflecting surface | |
SU1712781A1 (en) | Device for contact-free quality control of treated surface of articles | |
CN116772750B (en) | Rolling angle testing device and testing method based on interferometry | |
GB1138225A (en) | Improvements in or relating to optical interferometers | |
SU1647242A1 (en) | Non-contact optical method for surface roughness rms height measurement | |
JPH04127004A (en) | Ellipsometer and its using method | |
SU1330463A1 (en) | Noncontact optical method of determining the height of surface roughness | |
JP2712987B2 (en) | Adjustment method of polarization measuring device | |
SU1101672A1 (en) | Device for touch=free measuring of deformations | |
SU1379610A1 (en) | Spherometer | |
SU1157416A1 (en) | Multiray interference ellipsometer | |
SU1272108A1 (en) | Reflectometric method for measuring parameter of roughness of metal body anisotropic surfaces | |
SU1582005A1 (en) | Method of determining distribution of steepness of irregularities of flat rough object | |
RU16314U1 (en) | ELLIPSOMETER | |
SU1302141A1 (en) | Method for measuring height of microirregularities of rough surface and device for effecting same | |
SU1693373A1 (en) | Method of measuring wedge angle of optical transparent plates | |
SU1208496A1 (en) | Method of measuring size of particles and arrangement for accomplishment of same | |
SU1054677A1 (en) | Interference device for gauging displacement |