SU1666941A1 - Способ препарировани образцов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к области научно-исследовательской де тельности и может быть использовано при приготовлении образцов дл  просвечивающей электронной микроскопии их утонением посредством струйной электролитической или химической полировки. Целью изобретени   вл етс  повышение качества образца. Способ препарировани  образцов включает утонение образцов путем электролитической или химической полировки их поверхности ламинарной струей трав щего раствора. Новым в предлагаемом способе  вл етс  то, что полировку производ т пульсирующей ламинарной струей. 2 ил.

Description

Изобретение относитс  к научно-исследовательской де тельности и может быть использовано при приготовлении образцов дл  просвечивающей электронной микроскопии путем их утонени  посредством струйной электролитической или химической полировки.

Целью изобретени   вл етс  повышение качества образца.

На фиг. 1 изображено устройство струйного травлени , схема; на фиг. 2 - схема устройства струйного химического травлени  стационарной ламинарной струей.

Устройство, реализующее предлагаемый способ препаривани  образцов, содержит оптическую систему контрол  толщины образца, состо щую из источника света 1, иллюминаторов 2 и фотодатчика 3, ванну 4, содержащую объектодержатель с образцом 5 и сопло 6. емкость дл  трав щего раствора 7 и магистраль 8 дл  его подачи к образцу, перегородку с отверстием в центре 9 и магнитный активатор 10.

Иллюминаторы 2 выполнены соосно с соплом 6, источником света 1 и фотодатчиком 3, причем сопло расположено на стенке ванны напротив образца и соединено с емкостью дл  трав щего раствора через отверстие 11 в ее боковой стенке посредством магистрали 8, а активатор расположен на дне емкости дл  трав щего раствора.

Устройство функционирует следующим образом.

Емкость 7 заполн ют трав щим раствором и посредством магнитной мешалки 12 привод т во вращение активатор 10, который , в свою очередь, вовлекает во вращение часть трав щего раствора, наход щегос  под перегородкой 9, который под действием центробежной силы и волн от активатора

О

о о

2

выбрасываетс  через отверстие 11 в магистраль 8 и через сопло 6 поступает к образцу в виде пульсирующей (с частотой вращени  активатора) ламинарной струи. При электролитической полировке на образец при этом подают положительный относительно сопла потенциал. Контроль за толщиной образца осуществл ют по нарастанию светового потока от источника света 1 на фотодатчик 3 по мере утонени  образца и по влени  на нем просвечивающих участков и сквозных отверстий.

Пример. Качество поверхности образцов , полученных утонением пластин кремни  марки КЭФ-2.0 толщиной 400 мкм путем химической полировки пульсирующей ламинарной струей химического тра- вител , представл ющего собой смесь плавиковой и азотной кислот в соотношении 1:3, оценивали визуально по электрон- ным микрофотографи м в сравнении с

микрофотографи ми аналогичных образцов , препарированных по прототипу на устройстве , изображенном на фиг. 2. Из микрофотографий видно, что образцы, препарированные по предлагаемому способу имеют более гладкую поверхность, чем образцы , препарированные по прототипу.

Использование предлагаемого способа препарировани  образцов повышает достоверность электронно-микроскопических исследований за счет уменьшени  количества артефактов, вызываемых препарированием .

Claims (1)

1. Формула изобретени  Способ препарировани  образцов, включающий утонени  образцов путем электролитической или химической полировки их поверхности ламинарной стр/ей трав щего раствора, отличающийс  тем, что, с целью повышени  качества образца , используют пульсирующую струю.

   Редактор К.Крупкина

   Составитель Л.Гор нкова

   Техред М.МоргенталКорректор И .Муска

   Фиг. 2