SU1666214A1

SU1666214A1 - Device for depositing powdered polymer coats on flat products

Info

Publication number: SU1666214A1
Application number: SU894692343A
Authority: SU
Inventors: Евгений Михайлович Федоров; Игорь Борисович Бабов; Валерий Евгеньевич Баранов; Александр Владимирович Масленников
Original assignee: Предприятие П/Я В-2690
Priority date: 1989-04-05
Filing date: 1989-04-05
Publication date: 1991-07-30

Abstract

Изобретение относитс к области нанесени порошковых полимерных покрытий на поверхности изделий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов. Цель изобретени - повышение качества селективного покрыти и расширение технологических возможностей устройства. Дл этого негативные объемные маски выполнены в виде трафарета с окнами и набора заглушек. Нагреватель установлен под ситом с возможностью перемещени . Стенки окон и заглушки выполнены из материала с низкой адгезией к расплавленному полимеру. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.The invention relates to the field of applying polymer powder coatings on the surfaces of products and can be used in the manufacture of semiconductor devices. The purpose of the invention is to improve the quality of selective coating and expand the technological capabilities of the device. For this, negative volumetric masks are made in the form of a stencil with windows and a set of plugs. The heater is installed under a screen that can be moved. The walls of the windows and plugs are made of a material with low adhesion to the molten polymer. 1 hp ff, 2 ill.

Description

Изобретение относитс к оборудованию дл нанесени порошковых полимерных покрытий на поверхности изделий и может быть использовано дл получени покрытий заданной конфигурации с высокой точностью при изготовлении полупроводниковых приборов.The invention relates to equipment for applying powder polymer coatings on the surfaces of products and can be used to obtain coatings of a given configuration with high accuracy in the manufacture of semiconductor devices.

Цель изобретени - повышение качества селективного покрыти и расширение технологических возможностей устройства ,The purpose of the invention is to improve the quality of selective coating and expand the technological capabilities of the device,

На фиг.1 показана принципиальна схема устройства; на фиг.2 - принцип действи устройства при формировании полимерных покрытий.Fig. 1 is a schematic diagram of the device; 2 shows the principle of the device during the formation of polymeric coatings.

Устройство дл нанесени порошковых полимерных покрытий содержит питатель 1 порошка, виброраспылитель 2 в виде сита, вибратор 3, подставку 4 дл удержани изделий и перемещени их вверх и вниз, нагреватель 5, механизмы загрузки изделий 6 и выгрузки 7. механизм 8 перемещени .A device for applying polymer powder coatings contains a powder feeder 1, a vibrator 2 in the form of a sieve, a vibrator 3, a stand 4 for holding the products and moving them up and down, a heater 5, mechanisms for loading products 6 and unloading 7. mechanism 8 for moving.

Подставка и нагреватель могут независимо друг от друа перемещатьс вверх вниз. Рассто нье от покрываемой поверхности издели до сита регулируетс винтом 9. Нагреватель 5 устанавливаетс вплотную к издели м, расположенным под сито.м, дл обеспечени теплового и имеет возможность перемещатьс из положени . Сито содержит лету; ную сетку 10, на нижней стороне которой заиреплач трафарет 11 с окнами, в каждой из :соторы разме- щэна заглушка 1 закрывающа участок поверхности издели i3. не подлежащей покрытию .The stand and the heater can independently move up and down. The distance from the product surface to be coated to the sieve is adjusted by a screw 9. Heater 5 is installed close to the products located under the sieve to provide heat and is able to move from the position. The sieve contains fly; a mesh 10, on the bottom side of which there is a splinter stencil 11 with windows, in each of: sooty a plug 1 is placed covering the surface area of the product i3. not subject to coating.

Устройство работает следующим образом .The device works as follows.

Порошкообразный эпоксидный компз- унд загружаетс в питатель 1. Из него порошок поступает на виброраспылитель 2, на нижней стороне которого установлен трафарет 11 с окнами и набором заглушек 12. Из ме-ханизмз 6 загрузки на механизм Р перемеа ени поступают издели 13. кото- . -. -vThe powdered epoxy resin unit is loaded into the feeder 1. From it, the powder enters the vibrating spray 2, on the bottom side of which a stencil 11 with windows and a set of plugs 12 is mounted. From the loading mechanism 6, the products 13. which enter. -. -v

i€i €

О чOh h

при помощи механизма перемещени попадают под сито на соответствующие подставки 11. Подставки с издели ми приподнимаютс до нужного зазора между по- крываемыми поверхност ми изделий и нижней поверхностью сита виброраспылител . Величина зазора определ етс шлщи- ной трафарета, к которому издели подвод тс вплотную. Толщина трафарета равна 0,5-3,0 мм. Вибратор 3 воздействует на сито так, что оно вибрирует с частотой 5 Гц и амплитудой 0,1-0,22 в плоскости, параллельной покрываемой поверхности изделий. by means of the moving mechanism, they fall under the sieve onto the respective supports 11. The supports with the products are raised to the desired gap between the coated surfaces of the products and the bottom surface of the sieve of the vibrator. The size of the gap is determined by a slot-shaped stencil, to which products are brought close together. The stencil thickness is 0.5-3.0 mm. The vibrator 3 acts on the sieve so that it vibrates with a frequency of 5 Hz and an amplitude of 0.1-0.22 in a plane parallel to the surface of the products to be coated.

Порошкообразный компаунд в течение времени вибрации (15-20 с) заполн ет объем, ограниченный поверхностью изделий , ситом, стенками окон трафарета и заглушек . При отключении вибратора порошок не просыпаетс через сито виброраспылител . Нагреватель, каса сь изделий, оплавл ет слой порошка 14, сформированный на них, в течение 5-20 с. Температура нагревател при этом составл ет 200-250°С. После оплавлени нагреватель опускаетс и отводитс в сторону, а готовые издели перенос тс к механизму выгрузки.The powdery compound during the time of vibration (15-20 s) fills the volume bounded by the surface of the products, the sieve, the walls of the stencil windows and the plugs. When the vibrator is turned off, the powder does not spill through the sieve of the vibrator. Touching the products, the heater melts the layer of powder 14 formed on them within 5-20 seconds. The temperature of the heater in this case is 200-250 ° C. After melting, the heater is lowered and laid aside, and the finished products are transferred to the discharge mechanism.

Трафарет и заглушки выполнены из материала с низкой адгезией к расплавленноIThe stencil and caps are made of a material with low adhesion to the melt

му полимеру, чтобы исключить его з липа- ние к ним при оплавлении. Усадка сло порошка при оплавлении исключает его залипание к латунной сетке.polymer to prevent it from melting to them during melting. The shrinkage of the powder layer during reflow eliminates its sticking to the brass mesh.

Claims

Claim 1. Device for applying powder polymer coatings on flat products, containing a vibrating sprayer in the form of a sieve with negative bulk masks fixed on its underside, powder feeder, product transfer mechanism, powder fusing heater, characterized in that, in order to improve the quality selective coverage and expansion of the technological capabilities of the device, negative volumetric masks are made in the form of a stencil with windows and a set of plugs, and in each window is located There is less one plug and the heater is movable under the screen.

2, The device according to claim 1, characterized in that the walls of the windows and plugs are made of a material with low adhesion to the molten polymer.

12 Yu I

f. ° ° c. ". °,. ".,- about ,

. .. .- ° in - - M ± ± 1 and ± b: g ™: ± more shzh1

v, e CR

i -

Ixsss-ms

svln

% I-nsi

i

YI - eubSi, - «i-ic- -iii i- i Di: wi

4 fc1 7

x,

Z2ZZZ

13

x,