SU1656008A1 - Device for applying gas medium coatings - Google Patents

Device for applying gas medium coatings Download PDF

Info

Publication number
SU1656008A1
SU1656008A1 SU894662928A SU4662928A SU1656008A1 SU 1656008 A1 SU1656008 A1 SU 1656008A1 SU 894662928 A SU894662928 A SU 894662928A SU 4662928 A SU4662928 A SU 4662928A SU 1656008 A1 SU1656008 A1 SU 1656008A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
coating material
coatings
halogen
glow discharge
gas pipeline
Prior art date
Application number
SU894662928A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Борис Николаевич Арзамасов
Виктор Николаевич Симонов
Николай Павлович Козлов
Владимир Алексеевич Малащенко
Александр Владимирович Велищанский
Сергей Викторович Плаксин
Вадим Николаевич Валетов
Юрий Павлович Шкретов
Георгий Васильевич Ахматовский
Сергей Иванович Бурдонский
Original Assignee
Мгту Им.Н.Э.Баумана
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Мгту Им.Н.Э.Баумана filed Critical Мгту Им.Н.Э.Баумана
Priority to SU894662928A priority Critical patent/SU1656008A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1656008A1 publication Critical patent/SU1656008A1/en

Links

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к оборудованию дл  нанесени  покрытий из газовой фазы и предназначено дл  нанесени  защитных покрытий.Ыепь изобретени  - повышение производительности .Обрабатываемую деталь 6 устанавливают на державку-катод 5. С помощью отказной системы 4 газопровод 1 вакуумируют до остаточного давлени  1...10 Па. Из сосуда-испарител  3 в газопровод 1 подают галоид до давлени  100... 1000 Па, обеспечивающего устойчивое горение тлеющего разр да, производ т нагрев детали 6 до рабочей температуры . Источник 9 питани  обеспечивает работу магнитоплазмеиного компрессора 8 в импульсно-периодическом режиме с частотой до 100 Гц. Эрозионна  плазма, состо ща  из элементов материала покрыти , активно взаимодействует с газообразным галоидом и образует галогениды. Продукты взаимодействи  с помощью вентил тора 2 перенос тс  к поверхности обрабатываемой детали 6, где происходит восстановление материала покрыти  и формирование диффузионного сло . Конструктивные особенности устройства при нанесении алюминиевых покрытий на , никелевые детали позвол ют увели- чить производительность в 3...4 раза . 1 ил. / / с 8 О ел о о о 00The invention relates to gas phase coating equipment and is intended for applying protective coatings. Invention Fuels - Increased Productivity . From the vessel-evaporator 3, the halogen is supplied to the gas pipeline 1 up to a pressure of 100 ... 1000 Pa, which ensures steady burning of the glow discharge, and heats the part 6 to the operating temperature. The power supply 9 provides the operation of the magnetic plasma compressor 8 in a pulse-periodic mode with a frequency of up to 100 Hz. The erosion plasma, consisting of the elements of the coating material, actively interacts with the gaseous halogen and forms halides. The products of interaction with the help of fan 2 are transferred to the surface of the workpiece 6, where the restoration of the coating material and the formation of the diffusion layer take place. The design features of the device during the deposition of aluminum coatings on nickel parts make it possible to increase productivity by 3 ... 4 times. 1 il. / / s 8 O e o o o o o 00

Description

Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий из газовых сред и предназначено для нанесения защитных покрытий различного назначе- $ ния (жаростойкие, жаропрочные, износостойкие и др.).The invention relates to equipment for applying coatings from gaseous media and is intended for applying protective coatings of various purposes (heat-resistant, heat-resistant, wear-resistant, etc.).

Цель изобретения - повышение производительности.The purpose of the invention is to increase productivity.

На чертеже представлена принципи-' jq альная схема устройства.The drawing shows a schematic diagram of the device.

Устройство содержит замкнутый газопровод 1, оснащенный вентилятором 2, сосудом-испарителем 3, откачной системой 4, державкой-катодом 5 тлегощего разряда для установки обрабатываемой детали 6, соединенным с блоком 7 тлеющего разряда, и магнитоплазменный компрессор 8 с источником 9 питания и электродами (не показаны), 7θ выполненными из материала покрытия. Замкнутый газопровод 1 соединен с блоком 7 и является анодом тлеющего разряда.The device contains a closed gas pipeline 1, equipped with a fan 2, a vessel-evaporator 3, a pumping system 4, a holder-cathode of a glow discharge 5 for installing a workpiece 6 connected to a glow discharge block 7, and a magnetoplasma compressor 8 with a power source 9 and electrodes (not shown), 7 θ made of coating material. A closed gas pipeline 1 is connected to block 7 and is the anode of a glow discharge.

Устройство работает следующим 25 образом.The device operates as follows 25.

Обрабатываемую деталь 6 устанавливают на державку-катод 5. С помощью откачной системы 4 газопровод 1 вакуумируют до остаточного давленияThe workpiece 6 is mounted on a cathode holder 5. Using a pumping system 4, the gas pipeline 1 is evacuated to a residual pressure

1...10 Па. Из сосуда-испарителя 3 в газопровод 1 подают галоид до давления 100...1000 Па, обеспечивающего устойчивое горение аномального тлеющего разряда. С помощью источника питания зажигают тлеющий разряд и производят нагрев детали 6 до рабочей температуры. Источник 9 питания обеспечивает работу магнитоплазменного компрессора 8 в импульсно-периодическом режиме с частотой до 100 Гц. Эрозионная плазма, состоящая из элементов материала покрытия, активно взаимодействует с газообразным галоидом и образует галогениды. Продукты взаимодействия переносятся с помощью вентилятора 2 к поверхности обрабатываемой детали 6, где происходит восстановление материала покрытия и формирование диффузионного слоя.1 ... 10 Pa. From the evaporation vessel 3, a halogen is fed into gas pipeline 1 to a pressure of 100 ... 1000 Pa, which ensures stable combustion of an abnormal glow discharge. Using a power source, a glow discharge is ignited and part 6 is heated to operating temperature. The power source 9 provides the operation of the magnetoplasma compressor 8 in a pulse-periodic mode with a frequency of up to 100 Hz. Erosion plasma, consisting of elements of the coating material, actively interacts with gaseous halogen and forms halides. The interaction products are transferred using a fan 2 to the surface of the workpiece 6, where the coating material is restored and the diffusion layer is formed.

II

Конструктивные особенности устройства при нанесении алюминиевых покрытий на никелевые детали позволяют увеличить производительность вThe design features of the device when applying aluminum coatings to nickel parts can increase productivity in

3... 4 раза.3 ... 4 times.

Claims (1)

Формула изобретенияClaim Устройство для нанесения покрытий из газовых сред, содержащее замкнутый газопровод, вентилятор, сосуд-испаритель, откачную систему и державку-катод тлеющего разряда, отличающ е е.с я тем, что, с целью повышения производительности, оно снабжено магнитоплазменным компрессором эрозионного типа с электродами, выполненными из материала покрытия.A device for applying coatings from gaseous media containing a closed gas pipeline, a fan, an evaporating vessel, an evacuation system and a glow discharge cathode holder, characterized by the fact that, in order to improve performance, it is equipped with an erosion-type magnetoplasma compressor made of coating material.
SU894662928A 1989-03-16 1989-03-16 Device for applying gas medium coatings SU1656008A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894662928A SU1656008A1 (en) 1989-03-16 1989-03-16 Device for applying gas medium coatings

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894662928A SU1656008A1 (en) 1989-03-16 1989-03-16 Device for applying gas medium coatings

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1656008A1 true SU1656008A1 (en) 1991-06-15

Family

ID=21434372

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894662928A SU1656008A1 (en) 1989-03-16 1989-03-16 Device for applying gas medium coatings

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1656008A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2671522C1 (en) * 2017-08-14 2018-11-01 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Method of internal cylindrical surface plasma strengthening

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Арзамасов Б.Н. Химико-термическа обработка металлов в активированных газовых средах. М.: Машиностроение, 1979, с. 31. Авторское свидетельство СССР 266503, кл. С 23 С 16/00, 1967. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2671522C1 (en) * 2017-08-14 2018-11-01 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" Method of internal cylindrical surface plasma strengthening

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4728529A (en) Method of producing diamond-like carbon-coatings
KR980700451A (en) Large-Scale, Low Pressure Plasma-lon Deposition of Diamondike Carbon Films
JP4927383B2 (en) Vacuum processing equipment
JPH10509833A (en) Linear arc discharge generator for plasma processing
WO1980000346A1 (en) Apparatus for forming organic polymer thin film utilizing plasma
US6110540A (en) Plasma apparatus and method
US20040126492A1 (en) Method and apparatus for using ion plasma deposition to produce coating
SU1656008A1 (en) Device for applying gas medium coatings
US6116185A (en) Gas injector for plasma enhanced chemical vapor deposition
US4606929A (en) Method of ionized-plasma spraying and apparatus for performing same
RU144198U1 (en) DEVICE FOR APPLICATION OF THIN FILM COATINGS
JPH05171399A (en) Method and apparatus for thermal spraying
JPS56130466A (en) Film forming method
GB1574677A (en) Method of coating electrically conductive components
RU2759822C1 (en) Method for applying an anti-emission coating of pyrolytic carbon to grid electrodes of powerful electric vacuum devices
RU1812239C (en) Method for vacuum machining of metal articles
RU2204961C2 (en) Device for covering dental metal prostheses with decorative protection coating
RU1832132C (en) Method of recovery of thermal engine blade working surfaces
JP2004153104A (en) Vacuum processing method
RU1819687C (en) Method for application of poly-p-xylylene coating
JPH0247252A (en) Production of composite material film
JPH07118852A (en) Method for forming diamond-like film and device therefor
JP2017014596A (en) Plasma cvd device and deposition method
JPS58136764A (en) Formation of boron film
RU2142344C1 (en) Method of making carbon-containing coats, diamond-like coats inclusive