SU1656008A1 - Device for applying gas medium coatings - Google Patents
Device for applying gas medium coatings Download PDFInfo
- Publication number
- SU1656008A1 SU1656008A1 SU894662928A SU4662928A SU1656008A1 SU 1656008 A1 SU1656008 A1 SU 1656008A1 SU 894662928 A SU894662928 A SU 894662928A SU 4662928 A SU4662928 A SU 4662928A SU 1656008 A1 SU1656008 A1 SU 1656008A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- coating material
- coatings
- halogen
- glow discharge
- gas pipeline
- Prior art date
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к оборудованию дл нанесени покрытий из газовой фазы и предназначено дл нанесени защитных покрытий.Ыепь изобретени - повышение производительности .Обрабатываемую деталь 6 устанавливают на державку-катод 5. С помощью отказной системы 4 газопровод 1 вакуумируют до остаточного давлени 1...10 Па. Из сосуда-испарител 3 в газопровод 1 подают галоид до давлени 100... 1000 Па, обеспечивающего устойчивое горение тлеющего разр да, производ т нагрев детали 6 до рабочей температуры . Источник 9 питани обеспечивает работу магнитоплазмеиного компрессора 8 в импульсно-периодическом режиме с частотой до 100 Гц. Эрозионна плазма, состо ща из элементов материала покрыти , активно взаимодействует с газообразным галоидом и образует галогениды. Продукты взаимодействи с помощью вентил тора 2 перенос тс к поверхности обрабатываемой детали 6, где происходит восстановление материала покрыти и формирование диффузионного сло . Конструктивные особенности устройства при нанесении алюминиевых покрытий на , никелевые детали позвол ют увели- чить производительность в 3...4 раза . 1 ил. / / с 8 О ел о о о 00The invention relates to gas phase coating equipment and is intended for applying protective coatings. Invention Fuels - Increased Productivity . From the vessel-evaporator 3, the halogen is supplied to the gas pipeline 1 up to a pressure of 100 ... 1000 Pa, which ensures steady burning of the glow discharge, and heats the part 6 to the operating temperature. The power supply 9 provides the operation of the magnetic plasma compressor 8 in a pulse-periodic mode with a frequency of up to 100 Hz. The erosion plasma, consisting of the elements of the coating material, actively interacts with the gaseous halogen and forms halides. The products of interaction with the help of fan 2 are transferred to the surface of the workpiece 6, where the restoration of the coating material and the formation of the diffusion layer take place. The design features of the device during the deposition of aluminum coatings on nickel parts make it possible to increase productivity by 3 ... 4 times. 1 il. / / s 8 O e o o o o o 00
Description
Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий из газовых сред и предназначено для нанесения защитных покрытий различного назначе- $ ния (жаростойкие, жаропрочные, износостойкие и др.).The invention relates to equipment for applying coatings from gaseous media and is intended for applying protective coatings of various purposes (heat-resistant, heat-resistant, wear-resistant, etc.).
Цель изобретения - повышение производительности.The purpose of the invention is to increase productivity.
На чертеже представлена принципи-' jq альная схема устройства.The drawing shows a schematic diagram of the device.
Устройство содержит замкнутый газопровод 1, оснащенный вентилятором 2, сосудом-испарителем 3, откачной системой 4, державкой-катодом 5 тлегощего разряда для установки обрабатываемой детали 6, соединенным с блоком 7 тлеющего разряда, и магнитоплазменный компрессор 8 с источником 9 питания и электродами (не показаны), 7θ выполненными из материала покрытия. Замкнутый газопровод 1 соединен с блоком 7 и является анодом тлеющего разряда.The device contains a closed gas pipeline 1, equipped with a fan 2, a vessel-evaporator 3, a pumping system 4, a holder-cathode of a glow discharge 5 for installing a workpiece 6 connected to a glow discharge block 7, and a magnetoplasma compressor 8 with a power source 9 and electrodes (not shown), 7 θ made of coating material. A closed gas pipeline 1 is connected to block 7 and is the anode of a glow discharge.
Устройство работает следующим 25 образом.The device operates as follows 25.
Обрабатываемую деталь 6 устанавливают на державку-катод 5. С помощью откачной системы 4 газопровод 1 вакуумируют до остаточного давленияThe workpiece 6 is mounted on a cathode holder 5. Using a pumping system 4, the gas pipeline 1 is evacuated to a residual pressure
1...10 Па. Из сосуда-испарителя 3 в газопровод 1 подают галоид до давления 100...1000 Па, обеспечивающего устойчивое горение аномального тлеющего разряда. С помощью источника питания зажигают тлеющий разряд и производят нагрев детали 6 до рабочей температуры. Источник 9 питания обеспечивает работу магнитоплазменного компрессора 8 в импульсно-периодическом режиме с частотой до 100 Гц. Эрозионная плазма, состоящая из элементов материала покрытия, активно взаимодействует с газообразным галоидом и образует галогениды. Продукты взаимодействия переносятся с помощью вентилятора 2 к поверхности обрабатываемой детали 6, где происходит восстановление материала покрытия и формирование диффузионного слоя.1 ... 10 Pa. From the evaporation vessel 3, a halogen is fed into gas pipeline 1 to a pressure of 100 ... 1000 Pa, which ensures stable combustion of an abnormal glow discharge. Using a power source, a glow discharge is ignited and part 6 is heated to operating temperature. The power source 9 provides the operation of the magnetoplasma compressor 8 in a pulse-periodic mode with a frequency of up to 100 Hz. Erosion plasma, consisting of elements of the coating material, actively interacts with gaseous halogen and forms halides. The interaction products are transferred using a fan 2 to the surface of the workpiece 6, where the coating material is restored and the diffusion layer is formed.
II
Конструктивные особенности устройства при нанесении алюминиевых покрытий на никелевые детали позволяют увеличить производительность вThe design features of the device when applying aluminum coatings to nickel parts can increase productivity in
3... 4 раза.3 ... 4 times.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894662928A SU1656008A1 (en) | 1989-03-16 | 1989-03-16 | Device for applying gas medium coatings |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894662928A SU1656008A1 (en) | 1989-03-16 | 1989-03-16 | Device for applying gas medium coatings |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1656008A1 true SU1656008A1 (en) | 1991-06-15 |
Family
ID=21434372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894662928A SU1656008A1 (en) | 1989-03-16 | 1989-03-16 | Device for applying gas medium coatings |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1656008A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2671522C1 (en) * | 2017-08-14 | 2018-11-01 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Method of internal cylindrical surface plasma strengthening |
-
1989
- 1989-03-16 SU SU894662928A patent/SU1656008A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Арзамасов Б.Н. Химико-термическа обработка металлов в активированных газовых средах. М.: Машиностроение, 1979, с. 31. Авторское свидетельство СССР 266503, кл. С 23 С 16/00, 1967. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2671522C1 (en) * | 2017-08-14 | 2018-11-01 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Method of internal cylindrical surface plasma strengthening |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4728529A (en) | Method of producing diamond-like carbon-coatings | |
KR980700451A (en) | Large-Scale, Low Pressure Plasma-lon Deposition of Diamondike Carbon Films | |
JP4927383B2 (en) | Vacuum processing equipment | |
JPH10509833A (en) | Linear arc discharge generator for plasma processing | |
WO1980000346A1 (en) | Apparatus for forming organic polymer thin film utilizing plasma | |
US6110540A (en) | Plasma apparatus and method | |
US20040126492A1 (en) | Method and apparatus for using ion plasma deposition to produce coating | |
SU1656008A1 (en) | Device for applying gas medium coatings | |
US6116185A (en) | Gas injector for plasma enhanced chemical vapor deposition | |
US4606929A (en) | Method of ionized-plasma spraying and apparatus for performing same | |
RU144198U1 (en) | DEVICE FOR APPLICATION OF THIN FILM COATINGS | |
JPH05171399A (en) | Method and apparatus for thermal spraying | |
JPS56130466A (en) | Film forming method | |
GB1574677A (en) | Method of coating electrically conductive components | |
RU2759822C1 (en) | Method for applying an anti-emission coating of pyrolytic carbon to grid electrodes of powerful electric vacuum devices | |
RU1812239C (en) | Method for vacuum machining of metal articles | |
RU2204961C2 (en) | Device for covering dental metal prostheses with decorative protection coating | |
RU1832132C (en) | Method of recovery of thermal engine blade working surfaces | |
JP2004153104A (en) | Vacuum processing method | |
RU1819687C (en) | Method for application of poly-p-xylylene coating | |
JPH0247252A (en) | Production of composite material film | |
JPH07118852A (en) | Method for forming diamond-like film and device therefor | |
JP2017014596A (en) | Plasma cvd device and deposition method | |
JPS58136764A (en) | Formation of boron film | |
RU2142344C1 (en) | Method of making carbon-containing coats, diamond-like coats inclusive |