Claims (4)
определенных точках исследуемого ма- Формула изобретени териала с помощью лазерного излуче- 1. Устройство дл лазерного скани- ни .ровани , преимущественно дл системcertain points of the investigated formula of the invention of the material with the help of laser radiation. 1. A device for laser scanning, mainly for systems
Цель изобретени - расширение экс- контрол качества материалов, содержа- плуатационных возможностей путем обес-15. щее средство распределени пучка ла- печени вертикального фокусировани зерного источника, фокусирующую сис- лазерного излучени на исследуемую по- тему, последовательность отклон ющих верхность и повторного сканировани зеркал, закрепленных на приводах, св - по точкам на движущейс исследуемой занных с системой управлени , о т л и- поверхности, а также увеличение ско- 20 чающеес тем, что, с целью по- рости сканировани и повышение ка- выщени точности контрол путем обес- д&кности эксплуатации.печени посто нства концентрации энерНа чертеже схематически изображе- ; гии на сканируемой поверхности, фоку- но предлагаемое устройство, . сирующа система размещена перед средУстройство дл лазерного сканиро- 25 ством распределени лазерного пучка, вани содержит импульсный лазер 1, а последовательность отклон ющих зерна оптической оси которого распо о- кал така , что длина оптического пути жено средство распределени пучка ла- от фокусирующей системы до сканируе- зера, состо щее из направл ющей призмы мой поверхности посто нна, при этом 2 с шаговым приводом 3 и управл ющим JQ ось лазерного пучка, отраженна откло- блоком 4 в виде оптоэлектронного дат- н ющими зеркалами, перпендикул рна чика и второй направл ющей призмы 5 к сканируемой поверхности, с шаговым приводом 6 и таким же управ- The purpose of the invention is to expand the quality control of materials containing operational capabilities by means of obes-15. means of distributing the beam of the liver to the vertical focusing of the grain source, focusing the system laser radiation on the subject under study, the sequence of deflecting the surface and re-scanning mirrors attached to the drives, sv - on the points on the engine under study on the surface, as well as an increase in the rate that, in order to scan speed and increase the accuracy of the control by operating reliability. ertezhe schematic picture; on the scanned surface, the focus of the proposed device,. The sizing system is placed in front of the laser laser distribution device 25, the laser beam contains a pulsed laser 1, and the sequence of deflecting grains of the optical axis is placed in such a way that the optical path length is the means of beam distribution from the focusing system to the scanning beam. - a grain consisting of a guiding prism of my surface is constant, with 2 with a stepper drive 3 and an axis of the laser beam controlling JQ, reflected by the deflector unit 4 in the form of optoelectronic mirrors, endikul polar snip and second guide prism 5 to scanned surface, a stepper actuator 6 and the same controlled
2. Устройство поп, 1, о т и - л ющим блоком 7, Перед призмами 2и5 чающеес тем, что, с целью расположена фокусирующа система 8, повышени плотности энергии на скани- фокусирующа пучок 9 лазерного излуче- руемой поверхности, средство распреде- ни {на исследуемую поверхность ТО. Над ени лазерного пучка выполнено в виде исследуемой поверхностью 10 поочеред- дефлектора, св занного с приводом и но расположены плоские отклон ющие системой управлени , зеркала 11 так, что длина оптического Q 2. The device is pop, 1, and the tamping unit 7, In front of the prisms 2 and 5, the aim is to focus the system 8, to increase the energy density on the scanning-focusing beam 9 of the laser emitting surface, to distribute {on the test surface MOT. The top of the laser beam is made in the form of the test surface 10 alternately between the deflectors associated with the drive and but the flat deflecting control system, mirrors 11 are located so that the optical Q
3. Устройство по пп, I и 2, о т - пути от фокусирующей системы до иссле- личающеес тем, что, с це- дуемой поверхности посто нна. Плоские лью повышени надежности и быстродей- отклон ющие зеркала снабжены привода- стви , за первым дефлектором введен ми 12, обеспечивающими перемещени по второй дефлектор, св занный с приво- координатам X и Y согласованно через 45 Д°м и системой управлени , блок 13 сопр жени и блок 14 согласо- 3. The device according to PP, I and 2, and τ is the path from the focusing system to the research that, since the target surface is constant. Plane Lew reliability and high-speed deflecting mirrors are driven, after the first deflector inputs 12, providing movement on the second deflector, connected to the X and Y coordinates coordinated through 45 D ° m and the control system, block 13 and block 14
4. Устройство по п. 1, о т л и- вани с поворотом направл ющей приз- чающеес тем, что, с целью мы 5.расширени функциональных возможносСредство распределени лазерного тей, приводы отклон ющих зеркал вы- пучка выполнено в виде двух поворот- Q полнены в виде двухстепенных поворотных направл ющих призм, кажда из ко- , ных устройств,4. The device according to p. 1, about the t of plating with a turn, due to the fact that, with the aim of us 5. increasing the functional capabilities of the laser distribution, the drives of deflecting mirrors of the beam are made in the form of two Q are completed in the form of two-stage turning guide prisms, each of which devices,
Составитель И. Форма шокCompiled by I. Shape shock
Редактор Л. Пчолинска Техред л.Сердюкова Корректор А. ОбручарEditor L. Pcholinsk Tehred L. Serdyukova Proofreader A. Obruchar
Заказ 1521, Тираж 341ПодписноеOrder 1521, Circulation 341 Subscription
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5VNIIPI State Committee for Inventions and Discoveries at the State Committee on Science and Technology of the USSR 113035, Moscow, Zh-35, Raushsk nab. 4/5
Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101Production and Publishing Combine Patent, Uzhgorod, st. Gagarin, 101