SU1634903A1 - Seal - Google Patents

Seal Download PDF

Info

Publication number
SU1634903A1
SU1634903A1 SU894637023A SU4637023A SU1634903A1 SU 1634903 A1 SU1634903 A1 SU 1634903A1 SU 894637023 A SU894637023 A SU 894637023A SU 4637023 A SU4637023 A SU 4637023A SU 1634903 A1 SU1634903 A1 SU 1634903A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
nipples
washer
sleeve
nut
seal
Prior art date
Application number
SU894637023A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Анатолий Тихонович Буравцев
Станислав Кузьмич Ермашов
Владимир Николаевич Симкин
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8495
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8495 filed Critical Предприятие П/Я В-8495
Priority to SU894637023A priority Critical patent/SU1634903A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1634903A1 publication Critical patent/SU1634903A1/en

Links

Landscapes

  • Gasket Seals (AREA)

Abstract

Изобретение может быть использовано в уплотнени х, используемых в газовых системах при физико-тер- мической обработке. Цель изобрете- ни  - повышение надежности уплотне ни ь Ниппели I, 2 охвачены накидной гайкой 4 и втулкой 5. На торцовой поверхности ниппелей I, 2 выполнены тороидальные выступы 6, 7. Центри рующее кольцо 6 установлено между торцовыми поверхност ми гайки 4 и втулки 5 и имеет поперечный паз 9 дл  прохода уплотнительной металлической шайбы 3. Кольцо 8 установлено с зазором относительно внутренней поверхности гайки 4 и с охватом наружных поверхностей ниппелей 1, 2. Шайба 3 размешена между выступами 5. При сборке шайбу 3 устанавливают пе размещением ее сверху через паз 9 1 ил.The invention can be used in seals used in gas systems for physical and thermal processing. The purpose of the invention is to increase the reliability of the seal. Nipples I, 2 are covered with a cap nut 4 and a sleeve 5. Toroidal projections 6, 7 are made on the end surface of the nipples I, 2. The centering ring 6 is installed between the end surfaces of the nut 4 and sleeve 5 and has a transverse groove 9 for the passage of the sealing metal washer 3. The ring 8 is installed with a gap relative to the inner surface of the nut 4 and with the outer surfaces of the nipples 1, 2. The washer 3 is placed between the lugs 5. When assembling the washer 3, they are placed ne its top via a slot 9 January yl.

Description

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, в частности к уплотнениям, используемым в газовых системах при физико—термической обработке, в процессе диффузии, эпитаксии, вакуумного нанесения.The invention relates to the technology of microelectronics, in particular to seals used in gas systems during physical and heat treatment, in the process of diffusion, epitaxy, vacuum deposition.

Цель изобретения — повышение надежности уплотнения.The purpose of the invention is to increase the reliability of the seal.

На чертеже представлено уплотнение, разрез.The drawing shows a seal, section.

Уплотнение содержит ниппели 1 и 2, между которыми расположена уплотнительная металлическая шайба 3. Ниппели 1 и 2 с шайбой 3 установлены внутри накидной гайки 4 и втулки 5. На торцовой поверхности ниппелей выполнены тороидальные выступы 6 и 7. Между торцовыми поверхностями накидной гайки 4 и втулки 5 установлено центрирующее кольцо 8, расположенное с зазором относительно внутренней поверхности накидной гайки и с охватом наружных поверхностей ниппелей. В центрирующем кольце 8 выполнен поперечный паз 9 для прохода шайбы 3. Уплотнительная шайба 3 размещена между тороидальными выступами ниппелей 1 и 2.The seal contains nipples 1 and 2, between which there is a sealing metal washer 3. Nipples 1 and 2 with washer 3 are installed inside the union nut 4 and the sleeve 5. On the end surface of the nipples are made toroidal protrusions 6 and 7. Between the end surfaces of the union nut 4 and the sleeve 5, a centering ring 8 is installed, located with a gap relative to the inner surface of the union nut and covering the outer surfaces of the nipples. In the centering ring 8 there is a transverse groove 9 for the passage of the washer 3. A sealing washer 3 is placed between the toroidal protrusions of the nipples 1 and 2.

Снабжение уплотнения центрирующим кольцом 8 и размещение его между накидной гайкой и наружной поверхностью ниппелей и шайбы позволяют удерживать шайбу в определенном положении, что исключает разгерметизацию уплотнения, В результате значительно повышается его надежность. Выполнение центрирующего кольца с поперечным пазом позволяет при сборке уплот” нения устанавливать шайбу между ниппелями перемещением ее сверху через 10 паз центрирующего кольца, что исключает западание шайбы.Supply of the seal with the centering ring 8 and its placement between the union nut and the outer surface of the nipples and washers allows the washer to be held in a certain position, which eliminates the seal’s depressurization. As a result, its reliability is significantly increased. Performing a centering ring with a transverse groove allows the washer to be installed between the nipples when assembling the seal by moving it from above through the 10 groove of the centering ring, which prevents the washer from dropping.

Claims (1)

Формула изобретенияClaim 15 Уплотнение, преимущественно для физико—термического оборудования, содержащее ниппели, охваченные накидной гайкой й втулкой, причем на торцовой поверхности ниппелей выпол20 йены тороидальные выступы, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности, оно снабжено уплотнительной металлической шайбой и центрирующим кольцом с поперечным15 Sealing, mainly for physical and thermal equipment, containing nipples covered by a union nut and a sleeve, moreover, on the end surface of the nipples there are toroidal protrusions, characterized in that, in order to increase reliability, it is equipped with a sealing metal washer and a centering ring with a transverse 25 пазом для прохода указанной шайбы, при этом цёнтрируюшее кольцо установлено между торцовыми поверхностями накидной гайки и втулки с зазором относительно внутренней поверхности25 groove for the passage of the specified washer, while the centering ring is installed between the end surfaces of the union nut and the sleeve with a clearance relative to the inner surface 30 накидной гайки и с охватом наружных поверхностей ниппелей, а уплотнительная шайба размещена между тороидальными выступами ниппелей.30 of the union nut and covering the outer surfaces of the nipples, and the sealing washer is located between the toroidal protrusions of the nipples.
SU894637023A 1989-01-12 1989-01-12 Seal SU1634903A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894637023A SU1634903A1 (en) 1989-01-12 1989-01-12 Seal

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894637023A SU1634903A1 (en) 1989-01-12 1989-01-12 Seal

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1634903A1 true SU1634903A1 (en) 1991-03-15

Family

ID=21422602

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894637023A SU1634903A1 (en) 1989-01-12 1989-01-12 Seal

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1634903A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU212291U1 (en) * 2021-11-23 2022-07-14 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") VACUUM SEAL CONNECTION

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Каталог NoCa-877 фирмы Galon Company, Vacuum Products, 1977, с. 4, 5. I *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU212291U1 (en) * 2021-11-23 2022-07-14 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") VACUUM SEAL CONNECTION
RU212291U9 (en) * 2021-11-23 2022-10-06 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") VACUUM SEAL CONNECTION
RU222148U1 (en) * 2023-06-09 2023-12-13 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") DEVICE FOR INSTALLING AND FIXING THE CONTROLLED DEVICE AT THE VACUUM CONNECTION AREA

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3861784D1 (en) VALVE AND CONTAINER WITH A VALVE.
KR960015715A (en) Apparatus and method for controlling edge deposition on semiconductor substrates
DE3887558D1 (en) Wellhead seal.
SU1634903A1 (en) Seal
DE3762280D1 (en) POETRY.
SE8500419L (en) PROCEDURE FOR MANUFACTURING ELECTRODES
FR2623014B1 (en) METHOD FOR THE SELECTIVE DEPOSITION OF A REFRACTORY METAL SILICIDE ON SILICON AREAS
AR000137A1 (en) Device for contacting a liquid with gas and application of said device
KR200169709Y1 (en) Chamber assembly for etching apparatus
KR840009176A (en) Reverse Vertical Flow Chemical Vapor Deposition Reactor Chamber
JPS57121234A (en) Plasma processing and device thereof
SU1616677A1 (en) Device for suction and injection of liquid or gas
JPS57124445A (en) Semiconductor substrate
JPS57162240A (en) Manufacture of circular fluorescent lamp
JPS5539150A (en) Encapsulating method of fluorescent lamp
JPS57152141A (en) Inspecting device for semiconductor substrate
KR960025954A (en) Asbestos treatment method of asbestos rod and asbestos plate and fixture for sealing cathode ray tube using same
TH15178EX (en) Buttoned gasket
JPS5489561A (en) Burner for bulb manufacture
TH15178A (en) Buttoned gaskets
KR19990002947A (en) Vertical Diffusion Furnace with Quartz Insulation
JPH02230725A (en) Sic tube
JPS6127624A (en) Reaction apparatus
JPS5721049A (en) Manufacturing method of circular fluorescent lamp
DK0454698T3 (en) Spindle gasket for a shut-off fixture