SU1634903A1

SU1634903A1 - Seal

Info

Publication number: SU1634903A1
Application number: SU894637023A
Authority: SU
Inventors: Анатолий Тихонович Буравцев; Станислав Кузьмич Ермашов; Владимир Николаевич Симкин
Original assignee: Предприятие П/Я В-8495
Priority date: 1989-01-12
Filing date: 1989-01-12
Publication date: 1991-03-15

Abstract

Изобретение может быть использовано в уплотнени х, используемых в газовых системах при физико-тер- мической обработке. Цель изобрете- ни - повышение надежности уплотне ни ь Ниппели I, 2 охвачены накидной гайкой 4 и втулкой 5. На торцовой поверхности ниппелей I, 2 выполнены тороидальные выступы 6, 7. Центри рующее кольцо 6 установлено между торцовыми поверхност ми гайки 4 и втулки 5 и имеет поперечный паз 9 дл прохода уплотнительной металлической шайбы 3. Кольцо 8 установлено с зазором относительно внутренней поверхности гайки 4 и с охватом наружных поверхностей ниппелей 1, 2. Шайба 3 размешена между выступами 5. При сборке шайбу 3 устанавливают пе размещением ее сверху через паз 9 1 ил.The invention can be used in seals used in gas systems for physical and thermal processing. The purpose of the invention is to increase the reliability of the seal. Nipples I, 2 are covered with a cap nut 4 and a sleeve 5. Toroidal projections 6, 7 are made on the end surface of the nipples I, 2. The centering ring 6 is installed between the end surfaces of the nut 4 and sleeve 5 and has a transverse groove 9 for the passage of the sealing metal washer 3. The ring 8 is installed with a gap relative to the inner surface of the nut 4 and with the outer surfaces of the nipples 1, 2. The washer 3 is placed between the lugs 5. When assembling the washer 3, they are placed ne its top via a slot 9 January yl.

Description

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, в частности к уплотнениям, используемым в газовых системах при физико—термической обработке, в процессе диффузии, эпитаксии, вакуумного нанесения.The invention relates to the technology of microelectronics, in particular to seals used in gas systems during physical and heat treatment, in the process of diffusion, epitaxy, vacuum deposition.

Цель изобретения — повышение надежности уплотнения.The purpose of the invention is to increase the reliability of the seal.

На чертеже представлено уплотнение, разрез.The drawing shows a seal, section.

Уплотнение содержит ниппели 1 и 2, между которыми расположена уплотнительная металлическая шайба 3. Ниппели 1 и 2 с шайбой 3 установлены внутри накидной гайки 4 и втулки 5. На торцовой поверхности ниппелей выполнены тороидальные выступы 6 и 7. Между торцовыми поверхностями накидной гайки 4 и втулки 5 установлено центрирующее кольцо 8, расположенное с зазором относительно внутренней поверхности накидной гайки и с охватом наружных поверхностей ниппелей. В центрирующем кольце 8 выполнен поперечный паз 9 для прохода шайбы 3. Уплотнительная шайба 3 размещена между тороидальными выступами ниппелей 1 и 2.The seal contains nipples 1 and 2, between which there is a sealing metal washer 3. Nipples 1 and 2 with washer 3 are installed inside the union nut 4 and the sleeve 5. On the end surface of the nipples are made toroidal protrusions 6 and 7. Between the end surfaces of the union nut 4 and the sleeve 5, a centering ring 8 is installed, located with a gap relative to the inner surface of the union nut and covering the outer surfaces of the nipples. In the centering ring 8 there is a transverse groove 9 for the passage of the washer 3. A sealing washer 3 is placed between the toroidal protrusions of the nipples 1 and 2.

Снабжение уплотнения центрирующим кольцом 8 и размещение его между накидной гайкой и наружной поверхностью ниппелей и шайбы позволяют удерживать шайбу в определенном положении, что исключает разгерметизацию уплотнения, В результате значительно повышается его надежность. Выполнение центрирующего кольца с поперечным пазом позволяет при сборке уплот” нения устанавливать шайбу между ниппелями перемещением ее сверху через 10 паз центрирующего кольца, что исключает западание шайбы.Supply of the seal with the centering ring 8 and its placement between the union nut and the outer surface of the nipples and washers allows the washer to be held in a certain position, which eliminates the seal’s depressurization. As a result, its reliability is significantly increased. Performing a centering ring with a transverse groove allows the washer to be installed between the nipples when assembling the seal by moving it from above through the 10 groove of the centering ring, which prevents the washer from dropping.

Claims

Claim

15 Sealing, mainly for physical and thermal equipment, containing nipples covered by a union nut and a sleeve, moreover, on the end surface of the nipples there are toroidal protrusions, characterized in that, in order to increase reliability, it is equipped with a sealing metal washer and a centering ring with a transverse

25 groove for the passage of the specified washer, while the centering ring is installed between the end surfaces of the union nut and the sleeve with a clearance relative to the inner surface

30 of the union nut and covering the outer surfaces of the nipples, and the sealing washer is located between the toroidal protrusions of the nipples.