SU1634903A1 - Seal - Google Patents
Seal Download PDFInfo
- Publication number
- SU1634903A1 SU1634903A1 SU894637023A SU4637023A SU1634903A1 SU 1634903 A1 SU1634903 A1 SU 1634903A1 SU 894637023 A SU894637023 A SU 894637023A SU 4637023 A SU4637023 A SU 4637023A SU 1634903 A1 SU1634903 A1 SU 1634903A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- nipples
- washer
- sleeve
- nut
- seal
- Prior art date
Links
Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
Изобретение может быть использовано в уплотнени х, используемых в газовых системах при физико-тер- мической обработке. Цель изобрете- ни - повышение надежности уплотне ни ь Ниппели I, 2 охвачены накидной гайкой 4 и втулкой 5. На торцовой поверхности ниппелей I, 2 выполнены тороидальные выступы 6, 7. Центри рующее кольцо 6 установлено между торцовыми поверхност ми гайки 4 и втулки 5 и имеет поперечный паз 9 дл прохода уплотнительной металлической шайбы 3. Кольцо 8 установлено с зазором относительно внутренней поверхности гайки 4 и с охватом наружных поверхностей ниппелей 1, 2. Шайба 3 размешена между выступами 5. При сборке шайбу 3 устанавливают пе размещением ее сверху через паз 9 1 ил.The invention can be used in seals used in gas systems for physical and thermal processing. The purpose of the invention is to increase the reliability of the seal. Nipples I, 2 are covered with a cap nut 4 and a sleeve 5. Toroidal projections 6, 7 are made on the end surface of the nipples I, 2. The centering ring 6 is installed between the end surfaces of the nut 4 and sleeve 5 and has a transverse groove 9 for the passage of the sealing metal washer 3. The ring 8 is installed with a gap relative to the inner surface of the nut 4 and with the outer surfaces of the nipples 1, 2. The washer 3 is placed between the lugs 5. When assembling the washer 3, they are placed ne its top via a slot 9 January yl.
Description
Изобретение относится к технологии микроэлектроники, в частности к уплотнениям, используемым в газовых системах при физико—термической обработке, в процессе диффузии, эпитаксии, вакуумного нанесения.The invention relates to the technology of microelectronics, in particular to seals used in gas systems during physical and heat treatment, in the process of diffusion, epitaxy, vacuum deposition.
Цель изобретения — повышение надежности уплотнения.The purpose of the invention is to increase the reliability of the seal.
На чертеже представлено уплотнение, разрез.The drawing shows a seal, section.
Уплотнение содержит ниппели 1 и 2, между которыми расположена уплотнительная металлическая шайба 3. Ниппели 1 и 2 с шайбой 3 установлены внутри накидной гайки 4 и втулки 5. На торцовой поверхности ниппелей выполнены тороидальные выступы 6 и 7. Между торцовыми поверхностями накидной гайки 4 и втулки 5 установлено центрирующее кольцо 8, расположенное с зазором относительно внутренней поверхности накидной гайки и с охватом наружных поверхностей ниппелей. В центрирующем кольце 8 выполнен поперечный паз 9 для прохода шайбы 3. Уплотнительная шайба 3 размещена между тороидальными выступами ниппелей 1 и 2.The seal contains nipples 1 and 2, between which there is a sealing metal washer 3. Nipples 1 and 2 with washer 3 are installed inside the union nut 4 and the sleeve 5. On the end surface of the nipples are made toroidal protrusions 6 and 7. Between the end surfaces of the union nut 4 and the sleeve 5, a centering ring 8 is installed, located with a gap relative to the inner surface of the union nut and covering the outer surfaces of the nipples. In the centering ring 8 there is a transverse groove 9 for the passage of the washer 3. A sealing washer 3 is placed between the toroidal protrusions of the nipples 1 and 2.
Снабжение уплотнения центрирующим кольцом 8 и размещение его между накидной гайкой и наружной поверхностью ниппелей и шайбы позволяют удерживать шайбу в определенном положении, что исключает разгерметизацию уплотнения, В результате значительно повышается его надежность. Выполнение центрирующего кольца с поперечным пазом позволяет при сборке уплот” нения устанавливать шайбу между ниппелями перемещением ее сверху через 10 паз центрирующего кольца, что исключает западание шайбы.Supply of the seal with the centering ring 8 and its placement between the union nut and the outer surface of the nipples and washers allows the washer to be held in a certain position, which eliminates the seal’s depressurization. As a result, its reliability is significantly increased. Performing a centering ring with a transverse groove allows the washer to be installed between the nipples when assembling the seal by moving it from above through the 10 groove of the centering ring, which prevents the washer from dropping.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894637023A SU1634903A1 (en) | 1989-01-12 | 1989-01-12 | Seal |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894637023A SU1634903A1 (en) | 1989-01-12 | 1989-01-12 | Seal |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1634903A1 true SU1634903A1 (en) | 1991-03-15 |
Family
ID=21422602
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894637023A SU1634903A1 (en) | 1989-01-12 | 1989-01-12 | Seal |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1634903A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU212291U1 (en) * | 2021-11-23 | 2022-07-14 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | VACUUM SEAL CONNECTION |
-
1989
- 1989-01-12 SU SU894637023A patent/SU1634903A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Каталог NoCa-877 фирмы Galon Company, Vacuum Products, 1977, с. 4, 5. I * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU212291U1 (en) * | 2021-11-23 | 2022-07-14 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | VACUUM SEAL CONNECTION |
RU212291U9 (en) * | 2021-11-23 | 2022-10-06 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | VACUUM SEAL CONNECTION |
RU222148U1 (en) * | 2023-06-09 | 2023-12-13 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | DEVICE FOR INSTALLING AND FIXING THE CONTROLLED DEVICE AT THE VACUUM CONNECTION AREA |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3861784D1 (en) | VALVE AND CONTAINER WITH A VALVE. | |
KR960015715A (en) | Apparatus and method for controlling edge deposition on semiconductor substrates | |
DE3887558D1 (en) | Wellhead seal. | |
SU1634903A1 (en) | Seal | |
DE3762280D1 (en) | POETRY. | |
SE8500419L (en) | PROCEDURE FOR MANUFACTURING ELECTRODES | |
FR2623014B1 (en) | METHOD FOR THE SELECTIVE DEPOSITION OF A REFRACTORY METAL SILICIDE ON SILICON AREAS | |
AR000137A1 (en) | Device for contacting a liquid with gas and application of said device | |
KR200169709Y1 (en) | Chamber assembly for etching apparatus | |
KR840009176A (en) | Reverse Vertical Flow Chemical Vapor Deposition Reactor Chamber | |
JPS57121234A (en) | Plasma processing and device thereof | |
SU1616677A1 (en) | Device for suction and injection of liquid or gas | |
JPS57124445A (en) | Semiconductor substrate | |
JPS57162240A (en) | Manufacture of circular fluorescent lamp | |
JPS5539150A (en) | Encapsulating method of fluorescent lamp | |
JPS57152141A (en) | Inspecting device for semiconductor substrate | |
KR960025954A (en) | Asbestos treatment method of asbestos rod and asbestos plate and fixture for sealing cathode ray tube using same | |
TH15178EX (en) | Buttoned gasket | |
JPS5489561A (en) | Burner for bulb manufacture | |
TH15178A (en) | Buttoned gaskets | |
KR19990002947A (en) | Vertical Diffusion Furnace with Quartz Insulation | |
JPH02230725A (en) | Sic tube | |
JPS6127624A (en) | Reaction apparatus | |
JPS5721049A (en) | Manufacturing method of circular fluorescent lamp | |
DK0454698T3 (en) | Spindle gasket for a shut-off fixture |