SU1626138A1 - Device for measuring characteristics of materials - Google Patents

Device for measuring characteristics of materials Download PDF

Info

Publication number
SU1626138A1
SU1626138A1 SU894663735A SU4663735A SU1626138A1 SU 1626138 A1 SU1626138 A1 SU 1626138A1 SU 894663735 A SU894663735 A SU 894663735A SU 4663735 A SU4663735 A SU 4663735A SU 1626138 A1 SU1626138 A1 SU 1626138A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
metal rods
rods
segment
rectangular waveguide
axis
Prior art date
Application number
SU894663735A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Дмитрий Александрович Усанов
Андрей Андреевич Лицов
Владимир Борисович Феклистов
Владимир Дмитриевич Тупикин
Анатолий Юрьевич Вагарин
Original Assignee
Предприятие П/Я Х-5734
Научно-исследовательский институт механики и физики при Саратовском государственном университете
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Х-5734, Научно-исследовательский институт механики и физики при Саратовском государственном университете filed Critical Предприятие П/Я Х-5734
Priority to SU894663735A priority Critical patent/SU1626138A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1626138A1 publication Critical patent/SU1626138A1/en

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно- измерительной СВЧ-технике и может быть использовано в технологических процессах электронной промышленности при контроле электрофизических параметров цилиндрических образцов (ЦО) из полупроводниковых , диэлектрических материалов или их структур. Цель изобретени  - повышение локальности измерений ЦО. Устр-во содержит отрезок 1 пр моугольного волновода , в котором расположены источник 2 СВЧ-колебаний, детектор 3 СВЧ-колебаний, два соосных металлических стержн  4 и 5, выполненных с возможностью перемещени  вдоль своей оси, с отверсти ми 6 и 7 дл  размещени  ЦО, а также регистрирующий прибор 10. Дл  повышени  локальности измерений используетс  подвижный ко- роткозамыкающий поршень 8 с пазом 9. Выполнение его с возможностью перемещени  на рассто ние от стержней 4 и 5 обеспечивает эффективное взаимодействие СВЧ-пол  в отрезке 1 преимущественно с частью ЦО в достаточно малом зазоре, а не с част ми стержней 4 и 5. Следствием этого  вл етс  сильна  зависимость амплитуды сто чей волны и, следовательно, показаний прибора 10 от параметров ЦО. 4 ил.The invention relates to the control and measuring microwave technology and can be used in technological processes of the electronics industry in monitoring the electrical parameters of cylindrical samples (CO) of semiconductor, dielectric materials or their structures. The purpose of the invention is to increase the localization of measurements of the central heating station. The device contains a segment 1 of a rectangular waveguide, in which the source of 2 microwave oscillations is located, a detector of 3 microwave oscillations, two coaxial metal rods 4 and 5, which are movable along its axis, with holes 6 and 7 to accommodate the central heating as well as the registering device 10. To increase the measurement locality, a movable short-circuit piston 8 with a groove 9 is used. Performing it with the possibility of moving from the rods 4 and 5 ensures effective interaction of the microwave field in section 1 advantage But with a part of the central location in a sufficiently small gap, and not with parts of the rods 4 and 5. The consequence of this is a strong dependence of the amplitude of the standing wave and, consequently, the readings of the device 10 on the parameters of the central heating. 4 il.

Description

Фиг. 2FIG. 2

& /&} & / &}

/-Г77 // -77 /

Фиг.ЗFig.Z

Риг. t Rig. t

Claims (1)

Формула изобретенияClaim Устройство для измерения параметров материалов, содержащее датчик, выполненный в виде отрезка прямоугольного волновода, один конец которого соединен с выходом источника СВЧ-колебаний, регистрирующий прибор, связанный с отрезком прямоугольного волновода, на противоположных широких стенках которого расположены два соосных металлических стержня, отличающееся тем, что, с целью повышения локальности измерений цилиндрических образцов, вдоль оси металлических стержней выполнено отверстие для размещения цилиндрического образца, на расстоянии I от металлических стержней на другом конце отрезка прямоугольного волновода установлен введенный короткозамыкающий поршень, в котором выполнен паз в виде части поверхности цилиндра, ось которого параллельна оси металлических стержней и расположена на расстоянии Ι-r от них, высота р^вна расстоянию между металлическими стержнями, а радиус R и расстояние I выбираются из соотношений 5 где а. b - размеры широкой и узкой стенок отрезка прямоугольного волновода;A device for measuring the parameters of materials, containing a sensor made in the form of a segment of a rectangular waveguide, one end of which is connected to the output of a microwave source, a recording device connected to a segment of a rectangular waveguide, on the opposite wide walls of which are two coaxial metal rods, characterized in that, in order to increase the locality of measurements of cylindrical samples, a hole was made along the axis of the metal rods to place the cylindrical sample at a distance I from the metal rods at the other end of the segment of the rectangular waveguide, an inserted short-circuit piston is installed, in which a groove is made in the form of a part of the surface of the cylinder, the axis of which is parallel to the axis of the metal rods and located at a distance Ι-r from them, the height p ^ is the distance between the metal rods , and the radius R and the distance I are selected from the relations 5 where a. b - dimensions of the wide and narrow walls of a segment of a rectangular waveguide; Ю г - радиус металлических стержней.Yu g - the radius of the metal rods. ось Волн ободаRim Wave axis Ж] у й I , ^***W] y th I, ^ *** 6 Ф2г г*—*· у 1 6 F2g g * - * · y 1 L2ZZZZZZpZZZZZZZZZ2^^S^^SL2ZZZZZZpZZZZZZZZZ2 ^^ S ^^ S 1 1eleven Ф2 гF2 g I *— в центр лазаI * - to the center of the manhole Фиг. 2FIG. 2 Фиг.ЗFig.Z Фиг. 4FIG. 4
SU894663735A 1989-03-16 1989-03-16 Device for measuring characteristics of materials SU1626138A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894663735A SU1626138A1 (en) 1989-03-16 1989-03-16 Device for measuring characteristics of materials

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894663735A SU1626138A1 (en) 1989-03-16 1989-03-16 Device for measuring characteristics of materials

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1626138A1 true SU1626138A1 (en) 1991-02-07

Family

ID=21434763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894663735A SU1626138A1 (en) 1989-03-16 1989-03-16 Device for measuring characteristics of materials

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1626138A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР N; 788039, кл. G 01 R 27/26, 1980. Авторское свидетельство СССР № 1493939, кл. G 01 N 22/00, 1987. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3946308A (en) Dielectric apparatus and method utilizing resonance for humidity measurement
US3691454A (en) Microwave cavity gas analyzer
US3501692A (en) Apparatus for determining the moisture content of solids and liquids
Kraszewski Microwave instrumentation for moisture content measurement
SU1626138A1 (en) Device for measuring characteristics of materials
US2489092A (en) High-frequency surface testing instrument
SU1737327A1 (en) Device for measuring parameters of dielectrics at superhigh frequencies
SU398896A1 (en) DEVICE FOR MEASUREMENT OF ELECTRIC
SU578603A1 (en) Thref-electrode sensor
SU819662A1 (en) Device for detepmination material thermal properties
SU813211A1 (en) Dielectric flaw detector
SU995029A1 (en) Device for contact-free measuring of semiconductor parameters
SU1453298A1 (en) Device for measuring humidity of loose materials
US3422350A (en) Waveguide section sliding wall carrying detector probe
US3437922A (en) Microwave dimensional measuring apparatus and method
RU2655028C1 (en) Waveguide device for liquid parameter measurements
RU2132051C1 (en) Device measuring water content
SU1493939A1 (en) Device for measuring parameters of materials
SU622001A1 (en) Stuck-on eddy-current transducer
SU1195229A1 (en) Apparatus for determining dielectric permeability of solutions
SU1132261A1 (en) Method of volume charge measuring
SU819751A1 (en) Device for measuring strength of pulse electric field
SU1352407A1 (en) Transducer for checking parameters of specimens made of dielectric and ferrite
SU397858A1 (en) SENSOR FOR NONCONTACT MEASUREMENT OF CURRENT CARRIER CONCENTRATION IN SEMICONDUCTORS
SU561897A1 (en) High-frequency variable-conductance sensor