SU1620672A1 - Electric-arc evaporator of getter vacuum pump - Google Patents

Electric-arc evaporator of getter vacuum pump Download PDF

Info

Publication number
SU1620672A1
SU1620672A1 SU894633849A SU4633849A SU1620672A1 SU 1620672 A1 SU1620672 A1 SU 1620672A1 SU 894633849 A SU894633849 A SU 894633849A SU 4633849 A SU4633849 A SU 4633849A SU 1620672 A1 SU1620672 A1 SU 1620672A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
cathode
getter
holder
electric arc
magnetic system
Prior art date
Application number
SU894633849A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Дмитрий Алексеевич Карпов
Сергей Сергеевич Турченко
Original Assignee
Предприятие П/Я А-7904
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-7904 filed Critical Предприятие П/Я А-7904
Priority to SU894633849A priority Critical patent/SU1620672A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1620672A1 publication Critical patent/SU1620672A1/en

Links

Landscapes

  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к вакуумной технике, а именно к электродуговым испарител м геттерных насосов. Цель изобретени  - повышение надежности геттерно- го насоса за счет уменьшени  тепловой нагрузки на магнитную систему его электродугового испарител . При создании источником питани  3 разности потенциалов между катодом 1 и анодом 8 и инициировани  дугового разр да происходит испарение материала катода 1 (геттера) и осаждение его на поверхности анода 8. Осажденные слои геттера  вл ютс  сорбентом дл  молекул откачиваемого газа, поступающего в насос . Потенциал катода подводитс  через держатель 2 с расположенной в его полости магнитной системой 4 и упругие шайбы 6, наход щиес  вблизи торцов катода и служащие также дл  компенсации изменени  зазора 5 между держателем 2 и катодом 1 вследствие различи  коэффициентов теплового расширени  материалов катода 1, держател  2 и шайб 6. Упругие шайбы 6 имеют радиальные прорези, расположенные по окружности и способствующие ускорению откачки кольцевого зазора 5 и увеличению термического сопротивлени  между катодом 1 и держателем 2. Электродуговой испаритель данной конструкции позвол ет повысить надежность работы геттерного насоса за счет улучшени  условий работы магнитной системы. 4 ил. О (ЛThe invention relates to vacuum technology, namely to electric arc evaporators of getter pumps. The purpose of the invention is to increase the reliability of a getter pump by reducing the heat load on the magnetic system of its electric arc evaporator. When the power source 3 creates the potential difference between cathode 1 and anode 8 and initiates the arc discharge, the cathode 1 (getter) material is evaporated and deposited on the surface of the anode 8. The precipitated getter layers are a sorbent for the pumped gas molecules entering the pump. The potential of the cathode is supplied through the holder 2 with the magnetic system 4 and elastic washers 6 located in its cavity, which are located near the ends of the cathode and also serve to compensate for the change in the gap 5 between the holder 2 and the cathode 1 due to differences in the thermal expansion coefficients of the cathode 1, holder 2 and washers 6. Elastic washers 6 have radial slits located around the circumference and help accelerate the pumping of the annular gap 5 and increase the thermal resistance between cathode 1 and holder 2. Electric arc Evaporator this design allows to increase the reliability of the getter pump by improving the working conditions of the magnetic system. 4 il. O (L

Description

АBUT

Фиг, 2FIG 2

А-АAa

6-66-6

Фиг.ЗFig.Z

Фиг АFIG A

Claims (1)

Формула изобретенияClaim Электродуговой испаритель геттерного вакуумного насоса, содержащий цилиндрический катод с осевым отверстием, установленный на держателе, служащем токоподводом, и расположенную внутри нее магнитную систему стабилизации разряда, отличающийся тем, что, с целью снижения тепловой нагрузки на магнитную си35 стему, катод отделен от подложки кольцевым вакуумным зазором, образованным прорезными упругими шайбами, установленными у торцов катода и служащими токопроводами.An electric arc evaporator of a getter vacuum pump containing a cylindrical cathode with an axial hole mounted on a holder that serves as a current lead and a magnetic discharge stabilization system located inside it, characterized in that, in order to reduce the thermal load on the magnetic system, the cathode is separated from the substrate by a ring vacuum the gap formed by slotted elastic washers installed at the ends of the cathode and serving as current conductors. 6-δ6-δ Фиг. 4FIG. 4
SU894633849A 1989-01-09 1989-01-09 Electric-arc evaporator of getter vacuum pump SU1620672A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894633849A SU1620672A1 (en) 1989-01-09 1989-01-09 Electric-arc evaporator of getter vacuum pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU894633849A SU1620672A1 (en) 1989-01-09 1989-01-09 Electric-arc evaporator of getter vacuum pump

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1620672A1 true SU1620672A1 (en) 1991-01-15

Family

ID=21421194

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU894633849A SU1620672A1 (en) 1989-01-09 1989-01-09 Electric-arc evaporator of getter vacuum pump

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1620672A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101936278A (en) * 2010-09-13 2011-01-05 储继国 Electric arc titanium pump and vacuum air pump group comprising same

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1345719, кл. F 04 В 37/02, 1987. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101936278A (en) * 2010-09-13 2011-01-05 储继国 Electric arc titanium pump and vacuum air pump group comprising same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR890004172B1 (en) Vacuum sputtering device
US4169031A (en) Magnetron sputter cathode assembly
US4525264A (en) Cylindrical post magnetron sputtering system
EP0051635A1 (en) Sputter target and glow discharge coating apparatus.
KR850008359A (en) Magnetron Sputtering Device with Flat and Concave Targets
US3088657A (en) Glow discharge vacuum pump apparatus
SU1620672A1 (en) Electric-arc evaporator of getter vacuum pump
JPS62296332A (en) Ion source
US4506160A (en) Ion source apparatus
US3391303A (en) Electronic vacuum pump including a sputter electrode
GB1270496A (en) Ion source for slow-ion sputtering
US3255377A (en) Reverse magnetron with cathode support structure
WO2003015127A1 (en) Low-pressure gas discharge lamps
US4891525A (en) SKM ion source
US3239133A (en) Pump
JPH08102278A (en) Device and method for generating ion beam
US4687417A (en) High voltage feedthrough for ion pump
US6021737A (en) Ion plating apparatus that prevents wasteful consumption of evaporation material
US2336769A (en) X-ray tube
SU1123313A1 (en) Electric-arc evaporator
JP3120368B2 (en) Vacuum deposition equipment
KR940009316B1 (en) Magnetron cathode of electric range
JP2000340150A (en) Electron beam gun with grounded shield
SU1423788A1 (en) Adsorption vacuum pump
SU693988A1 (en) Electric-arc evaporator