SU1620672A1 - Electric-arc evaporator of getter vacuum pump - Google Patents
Electric-arc evaporator of getter vacuum pump Download PDFInfo
- Publication number
- SU1620672A1 SU1620672A1 SU894633849A SU4633849A SU1620672A1 SU 1620672 A1 SU1620672 A1 SU 1620672A1 SU 894633849 A SU894633849 A SU 894633849A SU 4633849 A SU4633849 A SU 4633849A SU 1620672 A1 SU1620672 A1 SU 1620672A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cathode
- getter
- holder
- electric arc
- magnetic system
- Prior art date
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к вакуумной технике, а именно к электродуговым испарител м геттерных насосов. Цель изобретени - повышение надежности геттерно- го насоса за счет уменьшени тепловой нагрузки на магнитную систему его электродугового испарител . При создании источником питани 3 разности потенциалов между катодом 1 и анодом 8 и инициировани дугового разр да происходит испарение материала катода 1 (геттера) и осаждение его на поверхности анода 8. Осажденные слои геттера вл ютс сорбентом дл молекул откачиваемого газа, поступающего в насос . Потенциал катода подводитс через держатель 2 с расположенной в его полости магнитной системой 4 и упругие шайбы 6, наход щиес вблизи торцов катода и служащие также дл компенсации изменени зазора 5 между держателем 2 и катодом 1 вследствие различи коэффициентов теплового расширени материалов катода 1, держател 2 и шайб 6. Упругие шайбы 6 имеют радиальные прорези, расположенные по окружности и способствующие ускорению откачки кольцевого зазора 5 и увеличению термического сопротивлени между катодом 1 и держателем 2. Электродуговой испаритель данной конструкции позвол ет повысить надежность работы геттерного насоса за счет улучшени условий работы магнитной системы. 4 ил. О (ЛThe invention relates to vacuum technology, namely to electric arc evaporators of getter pumps. The purpose of the invention is to increase the reliability of a getter pump by reducing the heat load on the magnetic system of its electric arc evaporator. When the power source 3 creates the potential difference between cathode 1 and anode 8 and initiates the arc discharge, the cathode 1 (getter) material is evaporated and deposited on the surface of the anode 8. The precipitated getter layers are a sorbent for the pumped gas molecules entering the pump. The potential of the cathode is supplied through the holder 2 with the magnetic system 4 and elastic washers 6 located in its cavity, which are located near the ends of the cathode and also serve to compensate for the change in the gap 5 between the holder 2 and the cathode 1 due to differences in the thermal expansion coefficients of the cathode 1, holder 2 and washers 6. Elastic washers 6 have radial slits located around the circumference and help accelerate the pumping of the annular gap 5 and increase the thermal resistance between cathode 1 and holder 2. Electric arc Evaporator this design allows to increase the reliability of the getter pump by improving the working conditions of the magnetic system. 4 il. O (L
Description
АBUT
Фиг, 2FIG 2
А-АAa
6-66-6
Фиг.ЗFig.Z
Фиг АFIG A
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894633849A SU1620672A1 (en) | 1989-01-09 | 1989-01-09 | Electric-arc evaporator of getter vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU894633849A SU1620672A1 (en) | 1989-01-09 | 1989-01-09 | Electric-arc evaporator of getter vacuum pump |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1620672A1 true SU1620672A1 (en) | 1991-01-15 |
Family
ID=21421194
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU894633849A SU1620672A1 (en) | 1989-01-09 | 1989-01-09 | Electric-arc evaporator of getter vacuum pump |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1620672A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101936278A (en) * | 2010-09-13 | 2011-01-05 | 储继国 | Electric arc titanium pump and vacuum air pump group comprising same |
-
1989
- 1989-01-09 SU SU894633849A patent/SU1620672A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1345719, кл. F 04 В 37/02, 1987. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101936278A (en) * | 2010-09-13 | 2011-01-05 | 储继国 | Electric arc titanium pump and vacuum air pump group comprising same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR890004172B1 (en) | Vacuum sputtering device | |
US4169031A (en) | Magnetron sputter cathode assembly | |
US4525264A (en) | Cylindrical post magnetron sputtering system | |
EP0051635A1 (en) | Sputter target and glow discharge coating apparatus. | |
KR850008359A (en) | Magnetron Sputtering Device with Flat and Concave Targets | |
US3088657A (en) | Glow discharge vacuum pump apparatus | |
SU1620672A1 (en) | Electric-arc evaporator of getter vacuum pump | |
JPS62296332A (en) | Ion source | |
US4506160A (en) | Ion source apparatus | |
US3391303A (en) | Electronic vacuum pump including a sputter electrode | |
GB1270496A (en) | Ion source for slow-ion sputtering | |
US3255377A (en) | Reverse magnetron with cathode support structure | |
WO2003015127A1 (en) | Low-pressure gas discharge lamps | |
US4891525A (en) | SKM ion source | |
US3239133A (en) | Pump | |
JPH08102278A (en) | Device and method for generating ion beam | |
US4687417A (en) | High voltage feedthrough for ion pump | |
US6021737A (en) | Ion plating apparatus that prevents wasteful consumption of evaporation material | |
US2336769A (en) | X-ray tube | |
SU1123313A1 (en) | Electric-arc evaporator | |
JP3120368B2 (en) | Vacuum deposition equipment | |
KR940009316B1 (en) | Magnetron cathode of electric range | |
JP2000340150A (en) | Electron beam gun with grounded shield | |
SU1423788A1 (en) | Adsorption vacuum pump | |
SU693988A1 (en) | Electric-arc evaporator |