SU1596213A1 - Датчик температуры - Google Patents
Датчик температуры Download PDFInfo
- Publication number
- SU1596213A1 SU1596213A1 SU874331401A SU4331401A SU1596213A1 SU 1596213 A1 SU1596213 A1 SU 1596213A1 SU 874331401 A SU874331401 A SU 874331401A SU 4331401 A SU4331401 A SU 4331401A SU 1596213 A1 SU1596213 A1 SU 1596213A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- layer
- temperature
- strain
- thickness
- sensitive
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и позвол ет повысить точность измерений за счет улучшени стабильности выходной характеристики датчика и увеличени его чувствительности. Датчик содержит двухслойный термочувствительный элемент, один слой которого выполнен в виде тензорезисторов. Толщины слоев выбраны определенным образом из приведенного соотношени . Датчик снабжен также дополнительными тензорезисторами, толщина и база которых меньше толщины и базы первых тензорезисторов. Все тензорезисторы включены в полный мост. При изменении температуры вследствие разного коэффициента термического расширени материалов слоев термочувствительного элемента происходит изгиб последнего и на выходе моста возникает электрический сигнал, пропорциональный температуре. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.
Description
Изобретение относитс к измерительной технике и может найти применение при тонких медико-биологических исследовани х, диагностике и контроле температуры различных технологических процессов.
Целью изобретени вл етс повышение точности измерений температуры за счет увеличени стабильности выходной характеристики датчика и его чувствительности .
На фиг. 1 (а,б и в) показан предлагаемый датчик в трех проекци х; на фиг. 2 - схема соединени тензорезисторов тензочувствительньгх слоев термочувствительного элемента датчика
Датчик температуры содержит двухслойный термочувствительный элемент, вьшолненньй в виде скрепленных между
собой слоев 1 и 2 материалов с различными коэффициентами термического расширени . Слой 1 термочувствительного элемента толщиной h, и шириной b, выполнен из алюмини , а слой 2 - из двух вольфрамрениевых тензорезисторов 3 и 4 толщиной h -2 и базой 1 . 1 1ирина активной полоски тензорезисторов 3 и 4 равна h j .
Толщины слоев 1 и 2 термочувствительного элемента выбраны из соотношени
1.
ti
lE,-b, где Е и 1 1 модули упругости ривалов слоев; fi суммарна ных полосок тензорезисторов 3 и 4.
Дл получени максимальной чувствительности и линейности выходной характеристик датчика он снабжен дополнительными тензорезисторами 5 и 6 толщиной hj и базой 1з при этом Ь.Ь., а IjClj. Тензорезисторы 5 и 6 также выполнены из вольфрамрениевого сплава и размещены на слое 1.противоположно тензорезисторам 3 и 4, Все тензорезисторы включены в полный мост Уитсона.
Датчик температуры работает еледующим образом.
При изменении температуры вследствие значительно большего козффициента термического расширени у алюмини чем у вольфрамрени происходит изгиб термочувствительного элемента. В результате происходит разбаланс моста и на выходе последнего возникает сигнал , пропорциональный изменению температуры .
Claims (2)
1. Датчик температуры, содержащий двзгкслойнь й термочувствительный элемент , один слой которого выполнен тензочувствительным и включен в схему измерительного моста, о т л и ч а ю- щ и и с тем, что, с целью повышени точности измерений, тензочувствительный слой термочувствительного элемента выполнен в виде двух тензорезисторов , при этом толщины слоев выбраны из соотношени
h,(E,.Jb./R,.h,,
где h, - первого сло термочувствительного элемента; h XJ -толщина тензорезисторов;
Е , К - модули упругости материалов первого сло и тензорезис- i торов соответственноJ
rt
bjj - сз ммарна ширина рабочей ,- части тензорезисторов;
Ь, - ширина первого сло термочувствительного элемента.
2. Датчик по п. 1, отличающийс тем, что он снабжен дополнительным тензочувствительным слоем, размещенным на первом слое термочувствительного элемента со стороны, противоположной его тензочувствйтельному слою, и выполненным из двух тензорезисторов , база и толщина которых меньше базы и толщины тензорезисторов первого тензочувствительного сло , при этом Тензорезисторы каждого тензочувствительного сло включены в противоположные плечи измерительного моста.
j«
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874331401A SU1596213A1 (ru) | 1987-11-23 | 1987-11-23 | Датчик температуры |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874331401A SU1596213A1 (ru) | 1987-11-23 | 1987-11-23 | Датчик температуры |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1596213A1 true SU1596213A1 (ru) | 1990-09-30 |
Family
ID=21337557
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874331401A SU1596213A1 (ru) | 1987-11-23 | 1987-11-23 | Датчик температуры |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1596213A1 (ru) |
-
1987
- 1987-11-23 SU SU874331401A patent/SU1596213A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1045005, кл. G 01 К 5/62, 1982.Патент Cl'lA № 3403558, • кл. 73-362, oп^'•блик. 1968. . * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4064744A (en) | Strain sensorextensiometer | |
JP3203560B2 (ja) | 圧電抵抗シリコン圧力センサ設計 | |
EP0803054B1 (en) | A temperature compensation method in pressure sensors | |
AU613072B2 (en) | Dual sided pressure sensor | |
SU1596213A1 (ru) | Датчик температуры | |
US3444499A (en) | Strain gauge | |
JPS6222272B2 (ru) | ||
JPH0455542B2 (ru) | ||
US3279256A (en) | Thermal measuring apparatus | |
JPS6147371B2 (ru) | ||
US3460378A (en) | Strain gauge measuring techniques | |
SU1726980A1 (ru) | Полупроводниковый тензорезистор | |
SU1068747A1 (ru) | Полупроводниковый датчик давлени | |
JPS5833136A (ja) | 温度センサ | |
SU1589088A1 (ru) | Полупроводниковый датчик | |
SU1627870A1 (ru) | Датчик давлени | |
RU2028583C1 (ru) | Датчик давления | |
SU1136010A1 (ru) | Пьезооптический измеритель деформаций | |
SU1247693A1 (ru) | Полупроводниковое измерительное устройство | |
RU2031393C1 (ru) | Способ определения деформаций конструкций при испытаниях в условиях знакопеременных температурных напряжений и датчик для определения деформаций | |
JPH0786617A (ja) | 半導体圧力センサ | |
SU1580190A1 (ru) | Интегральный преобразователь давлени | |
US4703657A (en) | Gas pressure sensor | |
SU885842A1 (ru) | Тензометрический преобразователь | |
SU1404850A1 (ru) | Полупроводниковый тензопреобразователь |