SU1595100A1

SU1595100A1 - Sortion component of vacuum pump

Info

Publication number: SU1595100A1
Application number: SU884408639A
Authority: SU
Inventors: Л.С. Гуревич; В.В. Петровский; А.В. Пустовойт
Original assignee: Предприятие П/Я А-7904
Priority date: 1988-04-11
Filing date: 1988-04-11
Publication date: 1991-05-15

Abstract

Изобретение относитс к вакуумной технике и позвол ет улучшить откачные характеристики сорбциониого элемента. На подложке (П) при помощи св зующего материала , включающего термопластичный клей (К) и металлический порошок (МП), за- крепл9етс адсорбент (А), При этом коэффициент термического расширени (КТР) МП превышает КТР П. но меньше КТР К. Это обеспечивает равномерность усадки сло К и МП в процессе охлаждени , а также возникновение транспортных микротрещин между гранулами А и К, рблегчающих доступ молекул газа к блокированным К порам А. 1 ил,The invention relates to vacuum technology and allows for improved pumping characteristics of a sorption element. An adsorbent (A) is fixed on the substrate (P) with a binder material, including thermoplastic glue (K) and metal powder (MP). At the same time, the thermal expansion coefficient (KTR) of the MP exceeds the KTR of P. but less than the KTP of K. This ensures uniform shrinkage of the K and MP layers during the cooling process, as well as the occurrence of transporting microcracks between granules A and K, which facilitate the access of gas molecules to the blocked K pores A. 1 silt,

Description

Изобретение относитс к вакуумной технике, а именно к элементам конструкции адсорбционных вакуумных насосов.The invention relates to vacuum technology, namely to the design elements of adsorption vacuum pumps.

Цель изобретени - улучшение откач- ных характеристик сорбционно о элемента.The purpose of the invention is to improve the pumping characteristics by sorption of an element.

На чертеже представлена схема сорб- ционного элемента.The drawing shows the scheme of the sorption element.

Сорбционный элемент вакуумного насоса содержит подложку 1 и закрепленный на ней при помощи сло св зующего материала адсорбент 2.The sorption element of the vacuum pump contains a substrate 1 and an adsorbent 2 fixed to it with the aid of a layer of bonding material.

Св зующий материал выполнен в виде смеси термопластичного кле 3 и мелкодисперсного металлического порошка 4, причем коэффициент термического расширени металлического порошка 4 превышает {оэффициент термического расширени материала подложки 1, но меньше коэффициента термического расширени кле 3. Элемент работает следующим образом. При охлаждении подложки 1, например, жидким криоагентом п роисходит охлаждение кле 3 с металлическим порошком 4 и адсорбента 2. Понижение температуры ад- сообента 2 ведет к поглощению им молекулThe binder material is made in the form of a mixture of thermoplastic glue 3 and fine metal powder 4, and the thermal expansion coefficient of metal powder 4 exceeds the {thermal expansion coefficient of the substrate material 1, but less than the thermal expansion coefficient of adhesive 3. The element works as follows. When the substrate 1 is cooled, for example, with a liquid cryoagent, the glue 3 with the metal powder 4 and the adsorbent 2 cools down. A decrease in the temperature of the adsorbent 2 leads to its absorption

газа из окружающего элемент объема. Соотношение , коэффициентов термического расширени подложки 1, кле 3 и металлического порошка 4 приводит к тому, что слой св зующего материала при охлаждении сжимаетс дост тл-жо .вномерно без возникновени больших термических напр жений , которые могли бы привести к возникновению в его объеме трещин, сжимающих эффективнун) теплопроводность сло.ч. В то же врем на границе кле с гранулами адсорбента 2 возникают наибольшие напр жени , которые привад т к частичному отслаиванию кле 3 и образованию микротрещин, через которые откачиваемый газ может поступать кранее блокированным порам. В результате наиболее полно используютс поглотительные способности aAcop6eHta.gas from the surrounding element volume. The ratio of the thermal expansion coefficients of the substrate 1, the glue 3 and the metal powder 4 leads to the fact that the layer of binder material during cooling shrinks sufficiently even without the occurrence of large thermal stresses, which could cause cracks in its volume, compressive effektunun) thermal conductivity of a sl.ch. At the same time, at the boundary of the adhesive with the granules of the adsorbent 2, the greatest stresses occur, which lead to partial peeling of the adhesive 3 and the formation of microcracks, through which the evacuated gas can flow to the pre-blocked pores. As a result, the aAcop6eHta absorption capacity is most fully utilized.

Claims

The use of a thermoplastic adhesive ensures good recoverability of the binder material and the elimination of microcracks when the element is heated. The invention The sorption element of the vacuum pump, containing the substrate and attached to it with the help of

The material is an adsorbent, characterized in that, in order to improve the pumping performance, the bonding material is made in the form of a mixture of thermoplastic adhesive and fine metal powder, the thermal expansion coefficient of the latter exceeds the thermal expansion coefficient of the substrate material, but less than the thermal expansion coefficient of the adhesive.