SU1583994A1

SU1583994A1 - Устройство дл измерени давлени в электровакуумном приборе

Info

Publication number: SU1583994A1
Application number: SU884475470A
Authority: SU
Inventors: Владимир Александрович Коротченко; Вадим Эвальдович Скворцов
Original assignee: Рязанский Радиотехнический Институт
Priority date: 1988-06-21
Filing date: 1988-06-21
Publication date: 1990-08-07

Abstract

Изобретение относитс к вакуумметрии и может быть использовано при измерении давлени в электровакуумных приборах. Целью изобретени вл етс повышение чувствительности измерений путем увеличени помехозащищенности. Устройство содержит источник 1 накала катода, источник 3 ускор ющего напр жени , клемму 4, управл емый блок 5 компенсации фонового тока, клемму 6, управл емый запоминающий вольтметр 7, источник 8 смещени катода, клемму 9, управл емый интегратор 10 электронного тока, компараторы 11 и 12, интегратор 13 ионного тока. Устройство позвол ет увеличить чувствительность при измерении давлени в приборах и, как следствие, повысить производительность. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относится к вакуумметрии и может быть использовано при измерении давления в элекровакуумных приборах

Целью изобретения является повышение чувствительности измерений путем увеличения помехозащищенности.

На чертеже представлена блок-схема устройства.

Устройство содержит источник 1 накала катода 2, источник 3 ускоряющего напряжения,* соединенный с клеммой 4 для подключения управляющего электрода прибора, управляемый блок 5 компенсации фонового тока, вход которого соединен с клеммой 6 для подключения анода прибора, управляемый запоминающий вольтметр 7 и источник 8 смещения катода, первый вывод которого соединен с клеммой 9 для подключения катода. Второй вывод источника 8 смещения катода соединен с измерительным входом управляемого интегратора 10 электронного тока, выход которого соединен с входами первого компаратора 11 и второго компаратора 12. Выход первого компаратора 11 соединен с управляющим входом управляемого запоминающего вольтметра 7, измери-, тельный вход которого соединен с выходом управляемого интегратора 13 ионного тока, измерительный вход которого соединен с клеммой 6 для подключения анода прибора. Управляющие входы интеграторов 10 и 13 ионного и электронного токов и управляемого блока 5 компенсации фонового тока соединены с выходом второго компаратора 12, вход которого соединен с выходом управляемого интегратора 10 электронного тока.

Управляемый блок 5 компенсации фонового тока включен в цепь обратной связи управляемого интегратора 13 ионного тока.

Устройство работает следующим образом.

На электроды прибора подают ускоряющее напряжение от источника 3 и напряжение смещения катода от источника 8. Появляющийся при этом в цепи анода фоновый ток автоматически компенсируется при помощи блока 5 компенсации фонового тока. Включают источник 1 накала катода. Как только в некоторый момент времени электронный ток превысит значение порога срабатывания второго компаратора 12, на выходе компаратора 12 вырабатывается сигнал, включающий интегратор 10 электронного тока и интегратор 13 ионного тока и память блока 5 компенсации. Порог срабатывания второго компаратора 12 выбирается на несколько порядков ниже номинального значения электронного тока, поэтому ионный ток в первоначальный момент времени практически отсутствует, и в блоке 5 компенсации фиксируется только значение фонового тока. По мере накопления зарядов интгра5 торами 10 и 13 напряжение на их выходах растет. После того, как в следующий момент времени выходное напряжение интегратора 10 электронного тока превысит порог срабатывания первого компаратора 11, 10 на его выходе формируется импульс, включающий память вольтметра 7, регистрирующего накопленный интегратором 13 ионного тока заряд.

Таким образом, мерой давления в устройстве является заряд ионов, полученный в 15 результате прохождения через прибор фиксированного электронного заряда.

Устройство позволяет увеличить чувствительность при измерении давления в приборах и, как следствие, повысить произво2Q дительность.

Claims

Формула изобретения

1. Устройство для измерения давления в электровакуумном приборе, содержащее ис-

25 точник накала катода, источник ускоряющего напряжения, соединенный с клеммой для подключения управляющего электрода прибора, управляемый блок компенсации фонового тока, вход которого -соединен с клеммой для подключения анода прибора, управляемый запоминающий вольтметр и источник смещения, первый вывод которого соединен с клеммой для подключения катода, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности измерений, второй вывод источника смещения соединен с измерительным входом 55 управляемого интегратора электронного тока, выход которого соединен с входами первого и второго компараторов, при этом выход первого компаратора соединен с управляющим входом управляемого запоминающего 40 вольтметра, измерительный вход которого соединен с выходом управляемого интегратора ионного тока, измерительный вход которого соединен с клеммой для подключения анода прибора, а управляющие входы интеграторов ионного и электронного токов и 45 управляемого блока компенсации фонового тока соединены с выходом второго компаратора, вход которого соединен с выходом управляемого интегратора электронного тока.
2. Устройство по π. 1, отличающееся тем, что в цепь обратной связи управляемого интегратора ионного тока включен управляемый блок компенсации фонового тока.