SU1580159A1 - Измерительный микроскоп дл контрол качества оптических деталей и систем - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано в оптическом производстве дл  интерференционного технологического и аттестационного контрол  оптических деталей и систем, в том числе с асферическими поверхност ми, формирующих сферический волнлвой фронт. Цель изобретени  - повышение производительности и точности контрол  за счет того, что контроль осуществл етс  по интерферационной картине сферического волнового фронта, формируемой микроскопом. Измерительный микроскоп содержит микрооъбектив 1 и окул р, включающий коллективную линзу 2, плоскопараллельную пластину 3 со шкалой 4, нанесенной на ее заднюю поверхность, и глазную линзу 5. Пластинка 3 расположена между линзами 2 и 5 и передней фокальной плоскости глазной линзы 5 и установлена с вохможностью независимого поворота вокруг взаимно перпендикул рных пересекающих осей, одна из которых совмещена с плоскостью шкалы 4, а друга  - с оптической осью микроскопа. 2 ил.

Description

Фиг.1

ел

СО

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано в оптическом производстве дл  интерференционного технологического и аттестационного контрол  оптических деталей и систем, в том числе с асферическими поверхност ми, формирующих сферический волновой фронт.

Цель изобретени  - повышение про- изводительности и точности контрол  за счет того, что контроль осуществл етс  но интерференционной картине сферического волнового фронта, форт мируемой микроскопом.

На фиг. 1 приведена оптическа  схема измерительного микроскопа; на фиг. 2 - вид его пол  зрени .

Микроскоп содержит микрообъектив и окул р, включающий коллективную линзу 2, плоскопараллельную пластинку 3 со шкалой 4, нанесенной на ее заднюю поверхность, и глазную линзу (5. Плоскопараллельна  пластинка 3 установлена с возможностью поворота вокруг двух осей, одна из которых совмещена с плоскостью шкалы 4, а друга  совмещена с оптической осью 00 микроскопа.

В поле зрени  микроскопа наблюдаютс  п тно 6 рассе ни  контролируемой детали или системы и интерференционна  картина 7.

Микроскоп работает следующим образом .

Изображение S1 точечного монохроматического источника, сформированного контролируемой деталью или системой (не показаны), проектируетс  микрообъективом 1 и коллективной линзой 2 а плоскость шкалы 4 и затем рассматриваетс  с помощью глазной линзы 5. В поле зрени  микроскопа (фиг. 2) наблюдаетс  п тно 6 рассе ни . Интерференционна  картина бокового сдвига образуетс  при интерференции волновых фронтов, отраженных от граней пластинки 3. После отражени  от задней поверхности коллективной линзы 2 волновые фронты проход т глазную линзу 5. В поле зрени  микроскопа наблюдаетс  интерференционна  картина 7. В исходном положении пластинка 3 перпендикул рна оптической оси 00 микроскопа, боковой сдвиг между интерферирующими фронтами равен нулю.

Интерференционна  картина имеет вид концентрических колец, число которых зависит от толщины пластинки

5

0

5

Q

5

0

5

0

5

0

3,и не дает информации об искажени х волнового фронта. Конфигураци  интерференционной картины подобна конфигурации контролируемой детали или зрачка контролируемой системы. Дл  получени  информации об искажени х волнового фронта необходимо ввести боковой сдвиг между интерферирующими фронтами. Боковой сдвиг вводитс  поворотом пластинки 3 вокруг оси, совмещенной с плоскостью шкалы

4.Угол поворота пластинки 3 составл ет несколько градусов от исходного положени . Направление сдвига устанавливаетс  поворотом пластинки 3 вокруг оси 00, причем оба эти поворота ьзаимно независимы. При введении бокового сдвига в поле зрени  возникают интерференционные полосы. Если контролируема  деталь или система не вносит искажений волнового фронта, интерференционные полосы практически пр мые. При наличии погрешностей изготовлени  интерференционные полосы искажаютс .

Микроскоп позвол ет проводить контроль формы волнового фронта по интерференционной картине бокового сдвига благодар  тому, что между волновыми фронтами, отраженными от поверхностей пластинки 3, установленной между линзами 2 и 5 окул ра, вводитс  боковой сдвиг, величина кото- рого определ етс  углом поворота пластинки 3 вокруг оси, совмещенной с задней поверхностью пластинки 3, а направление сдвига устанавливаетс  поворотом пластинки 3 вокруг оптической оси микроскопа.

Claims (1)

1. Формула изобретени  Измерительный микроскоп дл  контрол  качества оптических деталей и систем, содержащий микрообъектив и окул р, включающий коллективную и глазную линзы и расположенную между линзами в передней фокальной плоскости глазной линзы плоскопараллельную пластинку с нанесенной на нее шкалой, отличающийс  тем, что, с целью повышени  производительности , и точности контрол , плоскопараллельна  пластинка установлена с возможностью поворота вокруг дьух взаимно перпендикул рных пересекающихс  осей, одна из которых совмещена с плоскостью шкалы, а друга  - с оптической осью микроскопа.

   Фиг. 2