SU518622A1 - Интерферометр дл контрол формы плоских полированных поверхностей - Google Patents

Интерферометр дл контрол формы плоских полированных поверхностей

Info

Publication number
SU518622A1
SU518622A1 SU1989330A SU1989330A SU518622A1 SU 518622 A1 SU518622 A1 SU 518622A1 SU 1989330 A SU1989330 A SU 1989330A SU 1989330 A SU1989330 A SU 1989330A SU 518622 A1 SU518622 A1 SU 518622A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
interferometer
controlling
shape
polished surfaces
flat polished
Prior art date
Application number
SU1989330A
Other languages
English (en)
Inventor
Вадим Гаврилович Зубаков
Жорик Бегларович Манукян
Original Assignee
Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики filed Critical Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority to SU1989330A priority Critical patent/SU518622A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU518622A1 publication Critical patent/SU518622A1/ru

Links

Description

(:i4} 111(ТБРФ1; ОД ЕТР ДЛЯ КОМГГОЛЯ ФОГДИ
юлиг:ч;)вл11пь х, rioBf-;i-X irx:Ti-:H
лсх:к11х систекту iO, матовое стекло 11, две иризмы 12, 13 Дове в пупу 14; Нить источника 1 света проецируют двух кокшонентным конденсором 2, 3 в плоскость диа( S с увеличением п ть. В паралпепьном пучке згстанавлргаают свотофильтр 4, свет от диафрагмы 5, наход щейс  в фокальной плоскости внеосево1-чэ парабоплоида 7, попадает на плоское зеркало в, ьиеосевой парабрллоид 7 и далее параллельным пучком падает на клиновидную эталош1ую пластину 8, нижн   поверхность которой  вл етс  образцовой. Интерференционные пучки (от образцовой поверхности плас тины 8 и конт 1олируемой поверхности Детали 15) возвращаютс  назад на параболлоид 7 и, вследствие небольшого смешени  входной диафрагмы 5 с оптической оси п фаболпоида (смешаютс  прйблиантельно на ЗО несколько в CTOpe.iy)j попада   п центральную часть сф.рического зеркала 9, образукуг на ого поверхности изображение 5дИафрш мы 5 снова наблюдательной системой 10 переноситс  в следуюхцую плоскость, дава  иаображениб 5, Вблизи этой плоскос.ти находитс  глаз наблюдател , Сферическа  отражающа  поверхность зер кала 9 выполн ет роль оптического элемента (коллектива), пригибающего все отражаю ;:111ос  от него наклонные лучи к оптической . Это иамногю упрошает и ускор ет поиск оБТоколлимационного блика от контропируеhioJi поверхности детали 15 при настройке прибора В отличие от известного интерферометра f2J , наклон детали 15 даже на угол а несколько градусов не вносит никаких аатруднений в поиск блика и его выведение на ось. Если же перед выходным зрач ком З системы поставить матовое стекло 1 с отверстием посередине (как у автоколли- мациоиной трубки Забелина), то начальное попожениё контрол1фуемой поверхности может быть произвольным, т.к. на матовом cTesc e всегда будет виден блик, указывающий направление и величину угла рассогласовр .ми  сравниваемых поверхностей. а фиг. 1 показан ход лучей при произ- аильной установке контролируемой детали. При указанном рассогласовании ( вольности) эталонной пластины 8 и контре 22 лируемой детали 15, блик 5 иахопитг:;  в стороне от оси и виден на матовом стекло 11. Наклон   юстировочныкш винтами столика контролируемую деталь 15, вывод т блик 5 на ойтическую ось ОО. Это поло жение обеспечивает согласование поверхностей эталошюй пластины 8 и детали 15, Т«е« по вл етс  интерференционна  картина первых пор дков, котора  и оцениваетс  оператором. С целью повышени  точности измерени  между компонентами проекционной системы 10 помешены две призкгы Дове , дел щие поле зрени  на две половины. При установке этих призм в положение, когда их главные сечени  и отражающие грани перпендикул рны друг другу, а визирные оси парШ1лельнь1 сруг друт И оптической оси cBCTfeMWi наблюдаетс  наложение друг на  руга обоих частей пол  зрени . Это дает возможность удвоить зйачёние прогиба полос . ....-. ,. Форму л а из об р е тоен II   Интерферометр дл  контрол  формы плоских полированных поверхностей, содержащий расположенные лрследовлтолыю источник света, конденсор, диаф|эагму, плоское зеркало, вогнутое зеркало, клииовпдную .эталонную пластину, линзовую двухкрглпрнснтную наблюдательную систе ту, о т л и ч аю -ш и и с   те.м, что, с целью упрои.еии  настройки и повыщенИ  точлости контрол , он снабжен noiiCKOBOft системой,- выполнелной в виде сферического аерквЛхТ расположенного мезкду вогну ттым зеркачом н наблюдательной системой так, что вершиииа  точка совмещена с автоколлимационнь:м изображением диафрагк, а .чожду 7 :ini3oвыми компонентами наблюдательной системы помещены две Дове так, что их главные сечени  и отражающие гр4Ш 1/перпендикул рны друг другу, 1 оси виаировпчи  параллельны друг другу и оптичс-ской оси системьи Источники информации, прин тые во внимани  при экспортизе: 1.Захарьевский А. И. Интррф.эрометры, Оборюнгиз, 1956 г. 2.Техническое описание иНтер - Ч- -гра . ( /..5 Фиг. 1 Фиг Z
SU1989330A 1974-01-22 1974-01-22 Интерферометр дл контрол формы плоских полированных поверхностей SU518622A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1989330A SU518622A1 (ru) 1974-01-22 1974-01-22 Интерферометр дл контрол формы плоских полированных поверхностей

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1989330A SU518622A1 (ru) 1974-01-22 1974-01-22 Интерферометр дл контрол формы плоских полированных поверхностей

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU518622A1 true SU518622A1 (ru) 1976-06-25

Family

ID=20573630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1989330A SU518622A1 (ru) 1974-01-22 1974-01-22 Интерферометр дл контрол формы плоских полированных поверхностей

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU518622A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7440114B2 (en) * 2005-12-12 2008-10-21 Coherix, Inc. Off-axis paraboloid interferometric mirror with off focus illumination

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7440114B2 (en) * 2005-12-12 2008-10-21 Coherix, Inc. Off-axis paraboloid interferometric mirror with off focus illumination

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3600098A (en) Optical alignment method and apparatus
US2701501A (en) Apparatus for testing of centering, coaxiality, alignment
US4180323A (en) Alignment system and ophthalmic instrument incorporating the same
US4306778A (en) Eye refractmeters using infrared rays
US4322137A (en) Fundus observation and photographing optical system
GB394285A (en) Improvements in supplementary devices for optical observation instruments
US2604002A (en) Optical infinity sight
US2563780A (en) Optical aligning device
US3405994A (en) Variable incidence type slit lamp mechanism
SU518622A1 (ru) Интерферометр дл контрол формы плоских полированных поверхностей
US2402216A (en) Means for securing improvements in
US2305775A (en) Scale reading apparatus for rotatable mirror devices
US2554798A (en) Range finder-view finder unit
US2360822A (en) Stadiametric range finder and viewer
US3588250A (en) Telemetric telescope for direct firing arms
US2588974A (en) Optical aligner
GB918213A (en) Improvements relating to infra-red periscopes
US2049222A (en) Sight-testing apparatus
US2360298A (en) Optical system
SU1132906A1 (ru) Эндоскоп
SU871015A1 (ru) Устройство дл контрол центрировки оптических систем
US2393782A (en) Ocular
SU115930A1 (ru) Прибор дл контрол центрировки линз
SU857704A1 (ru) Проекционное устройство дл контрол параллельности оптических осей бинокул рного прибора и поворота изображени вокруг этих осей
US1475698A (en) Apparatus for the objective measurement of the refractive value of the principal point of the eye