SU1572773A1 - Инструмент дл односторонней контактной микросварки - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к инструментам, используемым в технологии производства издели  электронной техники, а именно к инструментам дл  микросварки проволочных выводов к контактным площадкам интегральных схем. Цель изобретени  - уменьшение габаритов инструмента, улучшение его эксплуатационных характеристик, технологичности. Он состоит из двух электродов, разделенных изол тором. Последний выполнен в виде сло  из нитрида алюмини  на поверхности первого электрода, а второй электрод - в виде смол из нитрида титана или нитрида молибдена на поверхности изол тора. Инструмент позвол ет достичь двукратного повышени  износостойкости и уменьшени  габаритов. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.

Description

Изобретение относитс  к инструментам , используемым в технологии производства изделий электронной техники , а именно к инструментам дл  микросварки проволочных выводов к контактным площадкам интегральных схем.

Цель изобретени  - уменьшение габаритов инструмента, улучшение его эксплуатационных характеристик и технологичности .

На фиг. 1 - 3 представлен инструмент , продольное сечение, на фиг.4 - то же, изометри .

Инструмент дл  односторонней контактной микросварки содержит первый электрод 1, изол тор 2, выполненный в виде частичного покрыти  на первом электроде, и второй электрод 3, выполненный как покрытие на изол торе. Первый электрод может быть выполнен

в виде цилиндра с конусной рабочей частью (фиг. 1) с центральным капилл ром 4 (фиг. 2) или полуцилиндра с конусной рабочей частью (фиг. 3). Соответственно выполнены изол тор и второй электрод: в виде боковых покрытий 2, боковых покрытий 3 изол - .торов (фиг. 1 и 2) или в виде покрыти  поверхности осевой плоскости полуцилиндра и покрыти  изол тора (фиг. 3) .

Технологи  изготовлени  инстру- , мента.

Заготовки из твердого сплава типа ВК, изготовленные методом порошковой металлургии, имеют исходную длину 15- 20 мм и диаметральный размер (сечение не круглое, а приблизительно округленное ) 3,5-4 мм. На бесцентрошлифоваль- ном станке заготовки довод т до диаметра 3 мм. Диаметр может быть уменьсд ч ю 1 со.

10

15

20

даен до 2 мм. Тогда с целью уменьшени  отходов твердого сплава заготовки изготавливаютс  и поставл ютс  диаметром 2,2-2,5 мм. Затем на продольно-шлифовальном станке заготовку затачивают под конус. Тем самым создаетс  центральный электрод инструмента. Затем Партию электродов подвергают обработке в вакуумной установке с трем  Ионно-плазменными и одним газовым Источниками ионов методом конденсации с ионной бомбардировкой продуктов Плазмы. Предварительно промытые за- отовки - центральные электроды - Помещают в вакуумную камеру в гнезда Карусели, котора  обеспечивает равномерное перемещение заготовок. В камере создают вакуум рт.ст., После чего включают источник ионов аргона при ускор ющем напр жении 4 кВ на врем  5-7 мин. Тем самым обеспечиваетс  ионно-газова  очистка поверхности заготовки. Затем источник ионов аргона выключают, подают на ка- 25 русель потенциал 1,5-2 кВ и включают источник ионов титановой плазмы на 2-4 мин. Происходит дополнительна  очистка поверхностей заготовок высокоэнергетическими ионами титана. Затем потенциал на заготовках (на ка- русили) снимают до 100-150 В и работой источника титановой плазмы в течение 2-3 мин осуществл ют нанесение сло  титана толщиной 400-600 А, после этого в камеру подают азот и обеспечивают давление 1 рт.ст. Работой источника титановой плазмы в течение 2-4 мин обеспечивают нанесение сло  нитрида титана 400-600 А.

Отключают источник Ti-плазмы, снимают потенциал с карусели, включают источник А1-плазмы на врем  1,5-2 4.v В течение этого времени образуетс 

15727734

A1N толщиной 3-5 мкм. Отключают источник А1-плазмы, включают источник Ti-плазмы или молибденовой Мо-плазмы на 1,5-2 ч и образуют тем самым поверх изол тора наружный электрод - покрытие из TiN (или MoN) толщиной 3-5 мкм. Из установки вынимают покрытие заготовки и механической обработкой торца со стороны конуса довод т до готового состо ни .

Готовый к эксплуатации инструмент имеет диаметральный размер, равный диаметральному размеру центрального электрода 3 мм плюс 22 мкм, характеризуетс  более высокой эксплуатационной надежностью, обеспеченной прочным соединением электродов и изол тора друг с другом,и технологичностью .

30

35

40

Claims (3)

1.Инструмент дл  односторонней контактной микросварки, содержащий два электрода, св занные изол тором, отличающийс  тем, что,

с целью уменьшени  габаритов инструмента , улучшени  его эксплуатационных характеристик и технологичности, изол тор выполнен в виде сло  из нитрида алюмини  A1N на поверхности первого электрода, а второй электрод - в виде сло  из нитрида титана TiN или нитрида молибдена MoN на поверхности изол тора.

2.Инструмент по п. 1, отличающийс  тем, что первый электрод выполнен в виде цилиндра с конической рабочей частью.

3.Инструмент по пп. 1 и 2, о т- лич ающийс  тем, что первый электрод выполнен в виде полуцилиндра , а изол тор и второй электрод рас5

0

5

0

Формула изобретени 

1.Инструмент дл  односторонней контактной микросварки, содержащий два электрода, св занные изол тором, отличающийс  тем, что,

с целью уменьшени  габаритов инструмента , улучшени  его эксплуатационных характеристик и технологичности, изол тор выполнен в виде сло  из нитрида алюмини  A1N на поверхности первого электрода, а второй электрод - в виде сло  из нитрида титана TiN или нитрида молибдена MoN на поверхности изол тора.

2.Инструмент по п. 1, отличающийс  тем, что первый электрод выполнен в виде цилиндра с конической рабочей частью.

3.Инструмент по пп. 1 и 2, о т- лич ающийс  тем, что первый электрод выполнен в виде полуцилиндра , а изол тор и второй электрод рас

изол ционный слой из нитрида алюмини  ,, положены на осевой плоскости.

Фиг.1

/

. J

Фиг. 2

ФигЛ