SU1547365A1 - Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана - Google Patents

Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана

Info

Publication number
SU1547365A1
SU1547365A1 SU4372982/21A SU4372982A SU1547365A1 SU 1547365 A1 SU1547365 A1 SU 1547365A1 SU 4372982/21 A SU4372982/21 A SU 4372982/21A SU 4372982 A SU4372982 A SU 4372982A SU 1547365 A1 SU1547365 A1 SU 1547365A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
titanium compounds
protective coatings
vacuum based
drawing protective
titanium
Prior art date
Application number
SU4372982/21A
Other languages
English (en)
Inventor
Ж.А. Мрочек
И.А. Романчук
И.Н. Жоглик
С.Ф. Комлик
М.М. Семенкевич
Original Assignee
Физико-технический институт АН БССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Физико-технический институт АН БССР filed Critical Физико-технический институт АН БССР
Priority to SU4372982/21A priority Critical patent/SU1547365A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1547365A1 publication Critical patent/SU1547365A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана, включающий ионно-плазменное распыление титана в реакционной среде при давлении в реакционной камере 5·10- 10Па и осаждение соединений титана на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет увеличения их коррозионной стойкости, в качестве реакционной среды используют тетраэтоксисилан, который вводят в металлическую плазму.
SU4372982/21A 1988-02-01 1988-02-01 Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана SU1547365A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4372982/21A SU1547365A1 (ru) 1988-02-01 1988-02-01 Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4372982/21A SU1547365A1 (ru) 1988-02-01 1988-02-01 Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1547365A1 true SU1547365A1 (ru) 2013-12-27

Family

ID=60527328

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4372982/21A SU1547365A1 (ru) 1988-02-01 1988-02-01 Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1547365A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU554846B2 (en) Disordered carbon and boron coatings
AU562107B2 (en) Coating of ti, zr and hf compounds by cathodic sputtering in a pulsed reactive gas
RU94046003A (ru) Модифицированный материал, модифицированный антимикробный материал, способ получения модифицированного материала, способ формирования антимикробного покрытия на устройстве и медицинское устройство, которое предполагается использовать в контакте с электролитом на основе спирта или воды, имеющее на своей поверхности антимикробное покрытие
AU565327B2 (en) Cathodic sputtering in a reactive gas
AU6525196A (en) Methods for deposition of molybdenum sulphide
MX9206475A (es) Metodo para recubrir un substrato de metal, para proporcionarle proteccion contra la corrosion
DE4391109D2 (de) Verfahren zum Beschichten eines Substrats mit einem eine Glanzwirkung hervorrufenden Material
EP0303161A3 (en) Method for coating objects by means of vacuum sputtering supported by magnetic fields
GB8506049D0 (en) Coating metal surfaces
DE69901833D1 (de) Verfahren zur herstellung von uv-strahlen schützenden beschichtungen durch plasmaverstärkte dampfabscheidung
SU1547365A1 (ru) Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана
DE59708015D1 (de) Verfahren zur herstellung eines stoffverbunds
FR2566806B1 (fr) Procede de realisation de revetements de carbures de bore et revetements obtenus
JPS56111560A (en) Die parts for die cast molding
JPS5517705A (en) Gasket for super high-vacuum
Lanagan et al. Surface engineering of titanium with glow discharge plasma
Collignon Applications and Industrial Equipment for Anti-Wear Coatings
EP0032709A3 (en) Apparatus and method for the (patterned) coating of a substrate by cathodic sputtering and use thereof
ATE237115T1 (de) Veränderung von metalloberflächen
Gabriel PVD Techniques: Deposition of Hard Alloy Coatings for the Purposes of Protection Against Wear and Corrosion
IT1261819B (it) Impianto a doppia camera ed elettrodo mobile per la deposizione di film sottili, per tecniche pe-cvd.
Michel et al. New Method for Physical Vapour Deposition of Metals, Alloys and Compounds Such as Nitrides and Carbides
SU1552676A3 (ru) Способ металлизации поверхности полимерных материалов в вакууме
Dong et al. Corrosion behavior of TiN, CrN and(TiAl) N coating
Glock et al. Production of Coatings of Refractory Carbides and Nitrides on Steels in Reactive Plasma